眼動脫敏和再加工治療儀是一種用于ＥＭＤＲ心理治療的輔助儀器，該治療儀包括單片機電路（１）、ＬＥＤ亮度調節器（２）、ＬＥＤ電路（３）、數碼計時器（４）、音響系統（５）、內置遙控模塊（６）；其中，單片機電路（１）的輸出端接數碼計時器（４），...

本發明公開了一種微電子機械系統用微構件的制備方法：先清洗器件襯底，然后，將其置于化學鑄溶液中，進行化學鑄鎳，最后，去除化學鑄催化底層表面上的負性光刻膠，得到微器件；本發明具有適用面廣，所用的器件襯底只要求表面光潔，易于將微構件剝離，采用...

硅各向異性腐蝕過程模擬的元胞自動機方法是硅各向異性腐蝕過程模擬技術，該方法滿足以下兩個條件：ａ、采用硅的晶格結構作為元胞自動機的晶格結構，通過在襯底表層引入更多硅的各向異性腐蝕過程中常出現的晶面，并且由襯底表層元胞腐蝕過程中出現的晶面影...

薄頂蓋射頻微電子機械系統開關封裝結構及其制造方法是通過薄封裝頂蓋和在頂蓋上的通孔連接設計，實現一種應用頻段高、射頻性能好、體積小和氣密性好的ＲＦ　　ＭＥＭＳ開關封裝方法，該封裝結構以薄高阻硅片為頂蓋（１），在頂蓋上刻有一空腔（１０），在...

一種單片集成微電子機械系統制備方法，其特征在于該方法利用鍵合工藝和干法刻蝕工藝相結合，包括如下工藝步驟：　　　?。幔茫停希与娐芳庸ぃ和ㄟ^有源區、接觸孔、通孔和壓焊塊的開孔來定義ＭＥＭＳ結構部分和劃片時去掉的部分，留下部分介質層和鈍化...

微電子機械系統正面結構釋放的保護方法是一種ＭＥＭＳ（微電子機械系統）后處理中正面結構釋放的正面保護方法，先在整個芯片正面淀積一層中間層（２）物質，然后利用光刻、腐蝕工藝制作出中間層（２）的圖形，確保芯片正面本身有鋁焊盤或鋁引線（４）的部...

本發明公開一種用于ＭＥＭＳ圓片級封裝的球形玻璃微腔的制備方法，包括以下步驟：首先將設有通孔的耐熱模具放置于與帶有通孔的耐熱模具相配合的箱體的開口處，再在箱體與耐熱模具的結合處涂上耐熱密封劑將兩者之間的間隙密封，打開箱體的閥門，使其內部與...

本發明公開一種圓片級ＭＥＭＳ微流道的制造方法，包括以下步驟：利用微加工工藝在雙面拋光Ｓｉ圓片上制造微流道圖形結構，將上述Ｓｉ圓片與相同尺寸的Ｐｙｒｅｘ７７４０玻璃圓片進行密封鍵合使微流道圖形結構密封形成密封真空腔體，將上述鍵合好的圓片在...

本發明提供了一種圓片級玻璃微腔的制造方法，包括以下步驟：第一步，利用Ｓｉ微加工工藝在Ｓｉ圓片上刻蝕形成特定圖案，第二步，將上述Ｓｉ圓片與Ｐｙｒｅｘ７７４０玻璃圓片在小于１Ｐａ的氣氛下進行鍵合，使Ｐｙｒｅｘ７７４０玻璃上的上述特定圖案形成...

用于風向傳感器封裝的微電子機械傳感器封裝結構，在該結構中，封裝管殼（１）中心上表面向下開挖出同心、邊長不等的第一方型槽（２５）和第二方型槽（２６），第二方型槽（２６）位于第一方型槽（２５）正下方；金屬焊點（２～９）平均分布于第一方型槽（...

低閾值直交流可分的微電子機械開關及其制造方法是通過兩個驅動電極的設計，實現一種低閾值電壓直交流可分的ＭＥＭＳ開關的結構設計，該微電子機械開關以襯底（７）為基底，在襯底（７）的中間設有一條共面波導的信號線（４），在襯底（７）的兩邊分別設有...

本發明公開了一種涉及微電子機械的薄膜微機械錨，包括錨體，在錨體上設有支撐提供面，該錨體設在襯底上，錨體由錨體內層和錨體外層組成，錨體內層設在襯底上，錨體外層包覆于錨體內層上。由于本發明的錨體由錨體內層薄膜和錨體外層薄膜組合而成，所以在厚...

擠壓流型氣力輸送裝置，屬于粉體物料的密相輸送技術領域，具體地說，它涉及到燃煤磁流體發電燃燒室輸送煤粉技術。本實用新型包括有料倉、壓倉、傳感器、計量儀表、輸送管等。由傳感器支持懸空了的壓倉，壓倉與料倉之間用兩個隔離閥和軟管連接，料倉上部通...

本發明涉及一種濕粘物料可控加料裝置，該裝置包括料倉、調速電機Ⅰ、減速器Ⅰ、倉底螺旋輸送機、調速電機Ⅱ、減速器Ⅱ和出料輸送螺旋。其中，料倉采用長方體或正方體的結構。倉底螺旋輸送機包括一排螺旋輸送機，沿寬度方向水平或傾斜布置在料倉底部，每個...

本實用新型公開了一種鏈式帶傳動裝置，它主要由鏈式帶與齒形帶輪兩者相互嚙合構成。本實用新型相對現有帶傳動裝置而言，傳遞載荷大，額定壽命長，壓軸力小，結構緊湊，生產工藝簡單，是一種特別適用于大功率傳動的裝置。在大功率傳動裝置中可望取代Ｄ、Ｅ...

生物質秸稈燃燒、氣化的加料裝置采用差速變螺距雙螺旋，實現生物質秸稈連續穩定加料，尤其適合條狀生物質燃料。該裝置主要包括料倉（５）、給料螺旋（８）、中間料斗（１１）、輸料螺旋（１４）；其中料倉（５）位于最上方，料倉（５）的下開口與給料螺旋...

本發明公開了一種氣力輸送氣固噴射器。由氣體噴嘴、接受室和混合管組成，氣體噴嘴設在接受室上且氣體噴嘴與接受室位于同一軸線上，混合管設在接受室的出口處，在接受室上設有落料管，接受室的內腔由文丘里管型內腔和收斂型圓錐臺空腔相連接構成，落料管位...

本發明公開了一種水果輸送翻轉機構，包括輸送鏈和水果支承滾子組件（８），該輸送鏈包括主動鏈輪、從動鏈輪和輸送鏈鏈條（７），水果支承滾子組件（８）設在輸送鏈鏈條（７）上，水果支承滾子組件（８）包括滾子軸（８２），在滾子軸（８２）上套設有水果...

粉體氣力輸送系統中的料罐出料量調節與控制方法，屬于潔凈煤發電及化工領域，解決潔凈煤發電及化工、冶金、醫藥和食品加工等過程中出料量調節控制問題。采用底部流化頂部出料的發料方式，把底部分割成若干個獨立風室，帶壓氣體通過流化風管進入風室，穿過...

本實用新型公開了一種卷煙逐支檢測分選裝置，包括：緩沖槽，其尾部設有下煙口和緩沖板；接煙盒，置于緩沖槽下煙口的下方，其側下部設有出煙口；煙倉；煙倉的底部設有與分選器對接的落煙口；分選器設置在煙倉的下部；在分選器的兩側分別設置檢測卷煙的檢測...