本發明涉及一種層壓系統，其具備：薄膜貼合切割裝置(1)，將從卷筒放出的薄膜(F)貼合于工件(W)，在不與工件(W)重疊的位置切割所述薄膜；層壓機(4)，接納從薄膜貼合切割裝置(1)送出的工件(W)，使貼合于工件(W)的薄膜(F)相對于工...

一個實施方式的流量控制裝置具有：保持部(101)，其保持流量調節閥的開度特性；輸入部(102)，其輸入從流量調節閥流出的流體的目標流量和達到目標流量為止的流量變化速度；檢測部(103)，其從對目標流量的控制開始以規定的采樣周期檢測從流量...

本發明的一實施方式所涉及的流量控制裝置具備：流量計，檢測由電機驅動而從流體機械排出的流體的流量；控制器，變更用于驅動電機的驅動輸入電壓的頻率。控制器保持有調整頻率表格，所述調整頻率表格記錄多個差分范圍與分別對應于多個差分范圍而決定的多個...

本發明的一實施方式所涉及的流量控制裝置具備：流量計，根據由無刷電機或交流電機的驅動而從流體機械排出的流體的流通反復生成脈沖信號，以所述脈沖信號的脈沖寬度與所述流體的流量成反比的方式形成所述脈沖信號；FV轉換部，對所述脈沖信號進行頻率/電...

以使軸部和擴徑部向上方側露出的方式對隔膜轂進行固定。使用具有空氣吸引部的機器人臂裝置，以使小徑凹部和大徑凹部向下方側露出的方式利用空氣吸引力對隔膜部件進行把持。對機器人臂裝置進行控制，使隔膜部件的軸線相對于隔膜轂的軸線傾斜，并且使隔膜部...

在本發明中，進行第1供給工序，使第1氣體作為通過使材料氣化而生成的第2氣體的載氣與第2氣體混合，將第1氣體與第2氣體的混合氣體供給至基板等處理對象(清洗去除)。接著，進行將加熱的第1氣體向處理對象供給的第2供給工序(蒸發干燥)。由此，能...

一個實施方式的溫度控制系統具有：制冷裝置，其將壓縮機、冷凝器、膨脹閥以及蒸發器以使制冷劑循環的方式依次連接；流體循環裝置，其使流體在所述蒸發器中進行熱交換之后將所述流體輸送至溫度控制對象，并使通過了所述溫度控制對象的所述流體在所述蒸發器...

[課題]實施方式的制冷劑狀態檢測裝置(40A)具備：溫度信息獲取部(41)，其在具有壓縮機、冷凝器、膨脹閥和蒸發器的制冷回路中獲取從上述冷凝器流出的制冷劑的溫度，并且獲取在上述冷凝器中冷卻上述制冷劑的冷卻用流體在冷卻上述制冷劑之前的溫度...

實施方式的蘑菇栽培用空調系統具備：空氣流通路(10)，其具有吸入空氣的吸入口和連接到用于栽培蘑菇的栽培室(100)的供給口；溫度控制部(20)，其對流通在空氣流通路(10)內的空氣的溫度進行溫度控制；和回流流路(30)，其使栽培室(10...

實施方式的氫冷卻裝置具有二元制冷單元(1)和氫冷卻用流體循環單元(2)，該二元制冷單元(1)具有高溫側制冷機(100)和低溫側制冷機(200)。二元制冷單元(1)通過低溫側制冷機(200)的低溫側蒸發器(204)對由氫冷卻用流體循環單元...

實施方式的閥門單元具備：第一供給側電磁切換閥，其對第一供給流路中的第一流體的流通和切斷進行切換；第一分支流路，其從第一供給流路的比所述第一供給側電磁切換閥靠上游側的部分分支；第一分支側電磁切換閥，其對第一分支流路中的第一流體的流通和切斷...

實施方式的流體調溫系統通過具備高溫側制冷機(100)、中溫側制冷機(200)以及低溫側制冷機(300)的多元式制冷裝置對流體進行冷卻。多元式制冷裝置的中溫側制冷機(200)具有中溫側第一蒸發器(204)和中溫側第二蒸發器(224)。高溫...

防止在移動鐵芯上升時隔膜凸臺從隔膜脫落。本發明的隔膜式電磁閥具備：主體部(10)，其具有隔膜落座面(12)，流路在該隔膜落座面(12)上開口；隔膜(23)，其以落座于所述主體部(10)的所述隔膜落座面(12)的方式設置；隔膜凸臺(22)...

在實施方式的隔膜中，從軸向一側封閉構成主閥體部的圓筒狀的周壁的底壁的外表面形成與閥座的接觸面。從周壁伸出的膜部的內周部分形成有從軸向一側向另一側凹陷并且沿周向延伸的槽，槽的剖面形狀為圓弧狀。在膜部中，內周部分的朝向軸向另一側的面和外周部...

提供溫度控制裝置，即使在調溫對象部位的數量增加的情況下，也能夠更適當地控制溫度。本發明是在具有制冷劑回路的調溫裝置中用于對調溫對象裝置中的調溫對象部位的溫度進行控制的溫度控制裝置，其中，溫度控制裝置的通信模塊構成為，將經由現場網絡周期性...

在由壓縮機(20)壓縮的氣相的混合制冷劑被第1冷凝器(21)冷凝一部分之后，混合制冷劑被第1氣液分離器(22)分離為氣相的第1流體部分(I)和通過冷凝而成為液相的第2流體部分(II)。氣相的第1流體部分(I)在被第2冷凝器(23)進一步...

本發明是一種檢查裝置，其具有：檢查臺，其支承第1開口和第2開口被密封用零件密封的狀態的三通閥裝置；連通部，其設置成貫穿檢查臺，在三通閥裝置支承于檢查臺的狀態下，該連通部與第3開口氣密地連通；包圍體，其覆蓋三通閥裝置而形成除連通部以外的密...

一種蜂窩板(1)，其具有：蜂窩芯(10)，其具有正面(10A)和背面(10B)；以及第1板材(11)，其設置于蜂窩芯(10)的正面(10A)，其中，在形成蜂窩芯(10)的多個芯條(100)的梯形狀部分(101、102)的第1板材(11)...

調溫系統具有：第1制冷機單元(10)；第2制冷機單元(40)；第1流體流通裝置(20)，其使由第1制冷機單元(10)冷卻的第1流體流通；第2流體流通裝置(60)，其使由第2制冷機單元(40)冷卻的第2流體流通；以及閥單元(80)，其使第...

液體調溫裝置(1)具有：制冷裝置(10)，其具有制冷回路(16)和注入回路(17)，該制冷回路(16)由壓縮機(11)、冷凝器(12)、第1膨脹閥(13)以及第1蒸發器(14)按照該順序以使熱介質循環的方式通過配管連接而成，該注入回路(...