本發明提供用于形成能夠形成所希望的抗蝕劑圖案的抗蝕劑下層膜的組合物、以及使用了該抗蝕劑下層膜形成用組合物的抗蝕劑圖案制造方法、半導體裝置的制造方法。本發明為一種抗蝕劑下層膜形成用組合物，其包含末端被化合物(A)封閉的聚合物及有機溶劑，所...

本發明提供一種能使殘影迅速地消失、能在高精細的液晶顯示裝置中顯示高顯示品質的液晶取向膜。一種液晶取向劑，其特征在于，所述液晶取向劑含有選自由聚酰亞胺前體、以及作為該聚酰亞胺前體的酰亞胺化物的聚酰亞胺構成的組中的至少一種聚合物(A)，所述...

在半導體裝置制造的光刻工藝中，在使用抗蝕劑下層膜形成用組合物而形成抗蝕劑下層膜時，在燒成時產生來源于上述聚合物樹脂、交聯劑、交聯催化劑等低分子化合物的升華成分(升華物)成為問題。本發明的解決手段是本發明的抗蝕劑下層膜形成用組合物用交聯催...

提供用于形成能夠形成所希望的抗蝕劑圖案的抗蝕劑下層膜的組合物、和使用了該抗蝕劑下層膜形成用組合物的抗蝕劑圖案制造方法、半導體裝置的制造方法。一種抗蝕劑下層膜形成用組合物，其包含溶解在溶劑中的、化合物(A)與化合物(B)與化合物(C)的反...

本發明提供一種用于得到即使減少利用光取向法的取向處理中的光照射量也會抑制液晶取向膜面內的液晶取向性的偏差(不均勻性)的液晶取向膜。一種液晶取向劑，其特征在于，所述液晶取向劑含有選自由聚酰亞胺前體、以及作為該聚酰亞胺前體的酰亞胺化物的聚酰...

本發明提供可高效形成具有圖案填充性和平坦化性的覆膜的高低差基板被覆用組合物。所述高低差基板被覆用組合物包含主劑化合物(A)、交聯劑和溶劑，該化合物(A)是含有下述式(A

本發明的課題是電化學地制造氨。本發明的氨的制造方法是，通過利用進行電解的制造裝置，在陰極中的分子催化劑和固體催化劑的存在下，提供來自電源的電子、來自質子源的質子、和來自供給氮氣的機構的氮分子，從而由氮分子制造氨的方法。關于分子催化劑和固...

本發明提供用于形成能夠形成所希望的抗蝕劑圖案的抗蝕劑下層膜的組合物、和使用了該抗蝕劑下層膜形成用組合物的抗蝕劑圖案制造方法、半導體裝置的制造方法。一種EUV抗蝕劑下層膜形成用組合物，其包含：下述式(1)：(在式(1)中，Y1表示至少1個...

本發明提供一種分散液，是包含無機氧化物粒子和氰尿酸鋅粒子的分散質粒子分散于液態介質中而得到的，所述無機氧化物粒子是無機氧化物粉體，所述無機氧化物粉體的比表面積為1～800m2/g且松裝體積密度為0.03～3.0g/cm3。。

一種層疊體，其特征在于，具備：半導體基板、支承基板、以及設于上述半導體基板與上述支承基板之間的粘接層和剝離層，上述剝離層是由包含有機樹脂、支鏈狀聚硅烷、和溶劑的剝離劑組合物得到的膜。劑組合物得到的膜。

本發明提供能夠形成所期望的抗蝕劑圖案的抗蝕劑下層膜形成用組合物、以及使用了該抗蝕劑下層膜形成用組合物的抗蝕劑圖案制造方法、半導體裝置的制造方法。該抗蝕劑下層膜形成用組合物包含反應產物、及有機溶劑，所述反應產物是(A)具有2個環氧基的含乙...

制造方法，是具有基板、在該基板上規定開口部的隔壁、和該隔壁內的有機功能膜的帶有機功能膜的基板的制造方法，該方法包括：用噴墨法在隔壁內涂布包含有機功能材料和含有低揮發性高粘度溶劑的溶劑的有機功能墨的工序；和通過減壓從涂布于隔壁內的有機功能...

本申請涉及單鏈寡核苷酸。本發明提供能高效地控制靶基因、并且能容易地制造的單鏈寡核苷酸。其為由式X

提供在半導體基板加工時具有針對濕蝕刻液的良好的掩模(保護)功能、低干蝕刻速度，進一步對高低差基板也被覆性和埋入性良好，埋入后的膜厚差小，能夠形成平坦的膜的保護膜形成用組合物和使用該組合物而制造的保護膜、抗蝕劑下層膜、帶有抗蝕劑圖案的基板...

提供應對可以獲得顯示高的純水接觸角，對上層膜的密合性高，不易剝離的疏水性的下層膜，且涂布性良好這樣的要求，并且，能夠發揮對抗蝕劑下層膜所使用的藥液也顯示充分的耐性等其它良好的特性的新的抗蝕劑下層膜形成用組合物。一種抗蝕劑下層膜形成用組合...

提供能夠發揮污染裝置的升華物量的減少、被覆膜的面內均勻涂布性的改善、并且對也被用于抗蝕劑下層膜的藥液也顯示充分的耐性等其它良好的特性的新的抗蝕劑下層膜形成用組合物。一種抗蝕劑下層膜形成用組合物，其包含溶劑、以及包含下述式(1)所示的單元...

本發明的課題是提供處于抵換關系的耐擦傷性、耐磨損性等耐久特性和滑動性都優異的硬涂層的形成材料。解決手段是一種固化性組合物，其包含：(a)活性能量射線固化性多官能單體；(b)在包含聚(氧基全氟亞烷基)基的分子鏈的末端具有活性能量射線聚合性...

本發明的課題是提供作為作為除草劑有用的雜環酰胺化合物的前體有用的1,3,4

提供在半導體裝置制造工序中用于將形成在基板上的異物除去的簡便的方法，并提供那樣的方法所使用的異物除去用涂膜形成用組合物。一種組合物，是包含聚合物和溶劑、能夠形成溶解于顯影液的涂膜的異物除去用涂膜形成用組合物，上述聚合物選自苯酚酚醛清漆、...

本發明提供一種液晶取向劑，其含有聚合物(P)，所述聚合物(P)包含選自由使用包含下述式(1)所示的二胺(1)的二胺成分而得到的聚酰亞胺前體以及聚酰亞胺構成的組中的至少一種。(Ar表示亞苯基，Q表示包含至少一個萘環的二價有機基團，Q與兩個...