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        深圳中科飛測科技股份有限公司專利技術

        深圳中科飛測科技股份有限公司共有979項專利

        • 本申請公開了一種檢測設備,包括:檢測臺;轉盤,轉動連接于檢測臺,轉盤具有多個承載位;上料機構,位于轉盤的上方,上料機構包括第一輸送組件和第一機械手,第一機械手滑動連接于第一輸送組件,第一機械手用于向承載位輸送待檢測工件;固定機構,位于轉...
        • 一種調節裝置以及光機系統,調節裝置包括:偏轉調節機構和轉動調節機構。偏轉調節機構用于裝配待調節件,偏轉調節機構用于繞第一軸線和/或第二軸線轉動以改變待調節件的角度,第一軸線和第二軸線在空間上相交。轉動調節機構包括轉動調節座,轉動調節座上...
        • 本發明提供一種光學設備及其工作方法,光學設備包括:物鏡和中繼鏡組,中繼鏡組用于使濾波面與物鏡的光瞳面共軛,光瞳面為物鏡靠近中繼鏡組一側的焦平面,中繼鏡組的光軸與物鏡的光軸具有非零夾角,濾波面與到達濾波器的入射光中心軸不垂直,物鏡位于樣品...
        • 本發明實施例提供的一種光學檢測系統,包括:光源、調整模塊、第一檢測模塊、第二檢測模塊和采集模塊。所述光源用于產生或引入測量用光。所述調整模塊用于調整光線。所述第一檢測模塊和所述第二檢測模塊用于對光線進行擴束整形。并且第二檢測模塊的擴束整...
        • 一種圖像處理方法及系統、設備和存儲介質,圖像處理方法包括:獲取待測件的原始圖像;將原始圖像分割為多個第一子圖像;根據所述第一子圖像的像素點的光強表征值,對相對應的所述第一子圖像進行圖像處理,得到第二子圖像。本發明先分割原始圖像,有利于提...
        • 一種檢測方法、檢測系統、設備及存儲介質,檢測方法包括:通過入射光在所述待測點表面形成入射光斑,所述入射光經待測點后形成信號光;通過探測器采集處于入射光斑中不同第一相對位置的同一待測點的信號光;根據每個第一相對位置的信號光獲取一個待測值,...
        • 本申請涉及一種圖像檢測方法及檢測裝置、存儲介質,其中的圖像檢測方法包括被測對象的待測圖像和目標參考圖像的獲取過程,以及對待測圖像和目標參考圖像進行比較處理而得到否存在可疑圖像特征的比較結果的過程。技術方案在獲取待測圖像、獲取目標參考圖像...
        • 一種檢測方法、檢測系統、設備及存儲介質,方法包括:通過入射光在待測點表面形成入射光斑,所述入射光經待測點后形成信號光;通過探測器采集處于所述入射光斑中不同第一相對位置的同一所述待測點的信號光;根據每個第一相對位置的來自待測點的信號光獲取...
        • 一種圖像處理方法及系統、設備和存儲介質,方法包括:獲取待測物在邊緣位置處的待測圖像;根據待測圖像獲取梯度角度圖,包括各第一點的位置與梯度角度值的對應關系;基于梯度角度值獲得目標特征值,以獲得表征第二點的位置與目標特征值對應關系的目標特征...
        • 一種檢測方法及系統、設備和存儲介質,所述方法包括:獲取待處理圖像,所述待處理圖像包括待測目標的目標圖像;基于所述待處理圖像獲取梯度函數,所述梯度函數包括多個采樣點的梯度值和位置之間的對應關系,所述多個采樣點沿第二方向排列,所述第二方向與...
        • 一種檢測方法及檢測系統、設備和存儲介質,所述方法包括:所述待處理圖像包括待測目標的目標圖像,所述待處理圖像包括子圖像;對所述待處理圖像執行邊緣提取處理,所述邊緣提取處理包括:對所述子圖像進行邊緣提取,在所述第二方向上獲取所述待測目標的初...
        • 一種圖像處理方法及系統、設備和存儲介質,方法包括:獲取待分析圖像,所述待分析圖像含有待測物的邊緣輪廓的圖像;對所述待分析圖像進行邊緣提取,獲取所述待測物的邊緣輪廓。本發明通過先獲取待測物的待分析圖像,以便結合待分析圖像的特征,對待分析圖...
        • 本技術實施例公開了一種微分干涉顯微檢測設備,包括反射式微分干涉成像系統和照明系統,所述反射式微分干涉成像系統包括相機、物鏡模塊、管鏡模塊、分束棱鏡、半透半反鏡和偏振片,所述偏振片位于所述照明系統的出光側與所述半透半反鏡之間,所述物鏡模塊...
        • 本發明提供一種物體表面輪廓采集方法,包括:將預設第一厚度的標準件置入上探頭和下探頭之間的檢測區域,確定所述上探頭和下探頭的距離;所述上探頭和下探頭光軸重合且出光方向相對;將待測物體置于所述檢測區域,所述上探頭和所述下探頭分別對所述待測物...
        • 一種物鏡以及光學系統,所述物鏡包括鏡組,所述鏡組用于使不同波長的平行光束匯聚于一個焦點,和/或,所述鏡組用于使來自鏡組焦點的光束平行出射,所述鏡組包括反射鏡組,所述反射鏡組具有至少一個第一反射面;至少一個衍射面,用于對所述光束進行散射并...
        • 本申請提供一種檢測設備,包括承載組件、檢測組件及底座,所述承載組件設于所述底座,所述檢測組件沿第一方向移動地設置于所述底座上,所述檢測組件包括多個檢測探頭,所述多個檢測探頭沿垂直于所述第一方向的第二方向排布成至少一排,所述多個檢測探頭的...
        • 本發明提供一種物體內表面輪廓采集裝置,包括:探頭平臺,置于被檢測物的內腔中相對于所述被檢測物移動;旋轉件,設置在所述探頭平臺上,在預設的旋轉平面旋轉;共焦探頭,設置在所述旋轉件上,且出光方向指向所述被檢測物的內腔的腔壁;控制器,用于控制...
        • 本申請實施例公開了一種晶圓升降裝置、晶圓傳片設備及晶圓檢測設備,晶圓升降裝置包括機架、升降驅動機構、升降導向機構與承載機構,其中,升降驅動機構設置于機架,升降導向機構設置于機架,承載機構包括載臺與多個頂針,載臺與升降驅動機構以及升降導向...
        • 本申請實施例公開了一種光纖擾模器與光傳輸系統,光纖擾模器包括治具與多個擠壓組件,其中,治具限定有供光纖通過的光纖通道。多個擠壓組件沿光纖通道的延伸方向依次布置于治具,且各個擠壓組件沿垂直于光纖通道的方向被配置為活動調節狀態,以用于擠壓光...
        • 本申請公開一種傳送裝置以及檢測系統,包括至少一個傳送模組,所述傳送模組包括沿傳送方向分布的多個輪系,每個所述輪系包括傳送軸和帶動所述傳送軸轉動的第一磁力齒輪,所述傳送軸包括相對分布的第一端和第二端;至少一個所述傳送模組包括第一傳送單元,...
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