本申請提供了一種檢測方法、檢測設備的對準方法以及檢測設備，該檢測方法包括以下步驟：首先，對待測物進行掃描檢測處理，獲取待測物表面缺陷的缺陷信息；然后，根據所述缺陷信息對缺陷進行篩選處理，獲取復檢缺陷；然后，對所述復檢缺陷進行復檢處理，獲...

本申請公開了一種檢測系統。檢測系統包括機臺、檢測裝置及多個承載裝置。機臺上設有軌道，軌道包括第一軌道、多個第二軌道及第三軌道。檢測裝置對應第二軌道設置，并用于對位于第二軌道上的工件進行檢測。承載裝置活動地安裝于軌道，承載裝置通過第一軌道...

本發明提供一種轉換關系的獲取方法、測量方法和測量系統，其中，轉換關系的獲取方法包括：提供檢測設備，所述檢測設備具有第一坐標系；提供待測物，所述待測物具有第二坐標系，所述待測物表面具有多個特征點，所述特征點在第二坐標系下具有特征坐標；將所...

本發明公開了一種固定裝置、固定方法及檢測設備，包括：固定盤，包括相對的盤面和背面，所述盤面包括承載區，所述承載區設有用于吸附待支撐物的真空吸附區域；多個支撐組件，所述支撐組件包括用于支撐待支撐物的支撐面，所述支撐面與所述背面之間的距離大...

本實用新型涉及一種檢測設備及檢測系統，其中，檢測設備包括檢測腔室、運動部和供氣系統，所述檢測腔室內設有用于對待測對象進行光學檢測的光學元件，所述運動部內設置用于承載所述待測對象的承載裝置；且所述檢測腔室和所述運動部分別與所述供氣系統通氣...

本實用新型公開一種三維檢測裝置和檢測設備，該三維檢測裝置包括線探頭和點探頭，所述線探頭和所述點探頭中的至少一個能夠處于檢測工作狀態；其中，所述線探頭處于檢測工作狀態下，能夠發出多點光斑至多個第一待測位置并檢測多個所述第一待測位置的高度；...

本實用新型公開了一種操作支架，包括支架主體和用于安裝顯示器的第一組件和用于安裝操作部件的第二組件，所述支架主體沿縱向延伸，所述第一組件的組數為兩組或兩組以上，每組所述第一組件上至少能夠安裝一臺顯示器，各組所述第一組件以及所述第二組件均連...

本申請公開了一種套刻標記及對準誤差的測量方法。套刻標記位于基底中，包括第一標識和第二標識；第一標識和第二標識分別位于基底不同的層，和/或，第一標識和第二標識在不同工藝過程中形成。第一標識和第二標識均包含特征結構，特征結構具有特征點。第一...

本發明公開了檢測系統及基于該檢測系統的檢測方法，檢測系統包括：檢測光生成單元、第一信號探測單元以及第二信號探測單元；檢測光生成單元向待測物發射第一檢測光和第二檢測光，其中，待測物包括相對設置的第一表面和第二表面，第一檢測光經第一表面散射...

本發明公開了檢測系統及方法，所述檢測系統包括：檢測光生成單元、信號探測單元以及處理單元；檢測光生成單元被配置向待測物發射第二檢測光，其中，所述待測物包括相對設置的第一表面和第二表面，所述第二檢測光自所述第一表面透過所述待測物并經所述第二...

本發明提供了一種橢圓偏振測量設備及其聚焦方法和測量方法，聚焦方法包括：使探測光的偏振態保持不變，使信號光的偏振態保持不變，通過光源模塊向待測物發射探測光，探測光經待測物形成信號光，通過檢測模塊獲取待測物的待測區域與橢圓偏振測量設備處于沿...

本發明提供了一種偏心檢測方法、檢測方法、處理方法及檢測設備，將旋轉軸與待測面的交點定為旋轉中心，且旋轉中心位于特征標識內，并且，在待測面建立的測量軸通過旋轉中心，該測量軸包括位于旋轉中心一側的定位軸，之后對特征標識邊緣多個測量點的位置坐...

本發明提供了一種發光裝置及其聚焦方法、檢測設備，包括光源模塊、多個第一透鏡組和合光組件，光源模塊出射多個光路不同的光束，不同光路的光束的波長范圍不同，并且，不同光路的光束可以合成一束寬光譜測量光，因此，可以采用寬光譜的測量光對待測樣品進...

本發明提供了一種發光裝置及其光斑調整方法、檢測設備，發光裝置包括光源模塊和光闌組件，光源模塊向待測樣品出射測量光，至少部分測量光透過光闌組件上的透光孔后照射到待測樣品表面形成光斑，由于光闌組件被配置為連續調節所述光斑的尺寸，因此，可以采...

本發明提供一種光學設備及其工作方法，其中，所述光學設備包括：供氣裝置，用于提供清潔氣體；分流單元，用于將所述清潔氣體分為第一清潔氣體和第二清潔氣體；第一過濾裝置，用于對所述第一清潔氣體進行第一過濾處理，所述第一過濾裝置包括酸堿過濾器，所...

本申請提供一種承載裝置、半導體處理設備及承載裝置的使用方法。承載裝置包括本體、承載件及至少一個支撐組件。本體設有通孔。承載件與通孔對應設置，承載件包括吸附單元，吸附單元用于將工件的第一區吸附在承載件的第一側，承載件能夠沿通孔的軸向升降；...

本實用新型公開半導體承載系統和半導體承載裝置，半導體承載系統包括承載體，承載體的材質是透氣的微孔材質，承載體的上表面是平面，用于接觸支撐半導體，承載體的上表面除微孔材質本身的微孔外不另設孔洞。半導體承載裝置包括半導體承載系統、升降系統和...

本實用新型公開了一種承載裝置，該裝置包括至少包括第一接合部件、第二接合部件和施力部件，第一接合部件和第二接合部件均包括接合部，用于固定待測物的邊緣部；施力部件用于對第一接合部件施加遠離第二接合部件的力，以帶動第一接合部遠離第二接合部件；...

本申請公開了一種基于壓電陶瓷的相機控制系統，包括相機驅動控制器、壓電陶瓷驅動器、相機拍攝控制器和相機，所述相機驅動控制器用于產生物距調節信號，所述物距調節信號被分為同步的第一路信號和第二路信號，所述第一路信號傳遞給所述壓電陶瓷驅動器，所...