本申請公開了一種位置校正方法。位置校正方法用于校正工件的位置，工件形成有第一標記及第二標記，位置校正方法包括：利用第一成像裝置以第一視場拍攝第一圖像，且利用第二成像裝置以第二視場拍攝第二圖像，其中，第一視場小于第二視場；判斷第一圖像內是...

本申請提供一種聚焦方法、聚焦裝置、聚焦設備和非易失性計算機可讀存儲介質。聚焦方法包括通過第一傳感器接收待測件反射的第一光源發射的光線以生成光信號，并根據光信號確定待測件和聚焦設備的距離值；根據距離值調節待測件和聚焦設備之間的距離，以使得...

本發明實施例公開一種測量模型組的獲取方法、測量方法及相關設備，本發明實施例通過對樣本信號向量進行分類后，利用不同的樣本信號向量組，生成不同的結構信息的測量模型，可以提高測量模型對結構信息的計算準確度。另外，還通過在確定待測信號向量的分類...

本發明提供的光斑監控方法、系統、暗場缺陷檢測設備和存儲介質，通過獲取光斑圖像，進而檢測光斑圖像上多列檢測點的光強表征量，其中，同一列的各個檢測點沿所述光斑的寬度方向排布，各列檢測點沿所述光斑的長度方向排布；根據各個檢測點的位置及其光強表...

本發明提供一種檢測方法，包括：獲取待測物旋轉中心的基準位置信息；獲取處于第一參考位置的第一參考點的第一位置信息；使所述待測物繞所述旋轉軸旋轉第一預設角度，旋轉第一預設角度之后，所述第一參考點處于第二參考位置；獲取第二參考位置處的第一參考...

本申請公開了一種半導體處理設備。半導體處理設備包括殼體、處理裝置及固定件。殼體承載在承載面上并設有收容腔，殼體包括相鄰的第一側及第二側，第一側為朝向承載面的一側。處理裝置用于處理半導體元件，處理裝置收容在收容腔內并承載在承載面，處理裝置...

本申請的檢測系統包括承載裝置和探測裝置。承載裝置用于承載待檢測件，承載裝置設有貫穿孔，待檢測件包括相背的第一待檢面和第二待檢面；探測裝置包括第一檢測單元和第二檢測單元，第一檢測單元和第二檢測單元設置在承載裝置的相背兩側，第一檢測單元與第...

本申請提供一種連接模組、連接組件、及檢測設備。連接模組包括連接座及連接頭。連接座設置有通孔，連接座的側壁設置有與通孔連通的凹槽。凹槽至少包括連通的第一子槽與第二子槽。第一子槽的延伸方向與第二子槽的延伸方向相交。連接頭設置有貫穿孔。連接頭...

本申請公開了一種半導體設備。半導體設備包括殼體、多個第一支撐件、抽拉件及第二支撐件。殼體包括基板，基板包括安裝面。第一支撐件設置在殼體，以支撐殼體，第一支撐件與所述安裝面之間的距離可調節。抽拉件可移動地設置在安裝面。及第二支撐件與抽拉件...

本申請提供一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備和非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括輸入樣本圖像至第一分類模型，以輸出所述樣本圖像的類型；在所述樣本圖像的類型為缺陷圖像時，輸入所述樣本圖像至第二分類模型進行訓練，以使得所述第二分類模型收...

本申請公開了一種輪廓的確定方法。本申請實施方式的輪廓的確定方法用于確定圖像中目標圖形的圖形輪廓，輪廓的確定方法包括：依據目標圖形的形狀信息及初始位置信息，獲取目標圖形的初始輪廓；分別以初始輪廓上的多個預設點中的每一個為中心，選定多個計算...

本申請公開了一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備及及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括：采集工件的信息，以獲取多個重復區域的多張第一圖像；對多張所述第一圖像中重復區域的相同位置的像素的像素值進行排序；獲取預定序列位置處的像素值，以作為...

本申請公開了一種承載裝置及半導體處理設備。承載裝置包括承載件、壓緊件及氣路。承載件開設有腔體，腔體包括承載面，承載面開設有氣槽。壓緊件用于壓迫工件的第一區域于承載面，工件的第二區域與腔體對應并與腔體的底面間隔，第一區域環繞第二區域。腔體...

一種晶圓檢測裝置，包括驅動件、用于承載晶圓傳送盒的固定臺和用于收發檢測信號的檢測件，固定臺上設有缺口位，檢測件沿前后方向布置在晶圓傳送盒的開口側，驅動件連接檢測件或固定臺，以沿上下方向驅使檢測件與固定臺發生相對運動。利用缺口位與檢測件之...

本實用新型公開一種吸盤和檢測裝置，吸盤包括吸附側，用于吸附待吸附物，所述吸附側還設有至少一組光學組件，一組所述光學組件包括至少兩個光學組件，所述吸附側包括與待吸附物匹配的匹配區域，每組所述光學組件分布于對應所述匹配區域的外邊緣。本方案中...

本實用新型公開了一種承載裝置及檢測設備，所述承載裝置，包括支撐組件(3)和滑臺(7)，所述滑臺(7)通過滑移機構(5)安裝于所述支撐組件(3)；所述滑臺(7)與所述支撐組件(3)之間設有位置檢測機構(6)以及驅動所述滑臺(7)移動的驅動...

本申請公開了一種轉接件，轉接件用于檢測設備，轉接件包括本體、自本體延伸的定位部及連接部，本體上設置有結合部，結合部用于安裝本體在第一待連接件上；定位部與本體形成臺階；連接部設置在定位部的遠離本體的一側，連接部用于與第二待連接件連接，轉接...

本申請公開了一種定位結構及檢測治具。定位結構包括承載件及定位件。承載件上設置有第一擋壁及第二擋壁，第一擋壁與第二擋壁間隔設置。定位件包括定位本體、第一擋塊及第二擋塊，定位本體設置有第一定位面、第二定位面、及定位空間，第一定位面及/或第二...

本發明公開了一種發光裝置、檢測方法、檢測設備，該發光裝置包括：檢測光源，所述檢測光源用于提供入射光束；至少一組入射組件，所述入射組件包括擴束組件和匯聚組件，所述擴束組件用于將所述入射光束在第一方向上展開，形成檢測光束；所述匯聚組件用于使...

本實用新型提供了一種混光組件、照明裝置和光學檢測設備，包括：第一光傳輸模組，所述第一光傳輸模組包括多個第一光傳輸器件；混光模組，所述混光模組與所述多個第一光傳輸器件連接；第二光傳輸模組，所述第二光傳輸模組與所述混光模組連接。由于不同的第...