本實(shí)用新型公開了一種固定機(jī)構(gòu)及具有該固定機(jī)構(gòu)的檢測機(jī)，該固定機(jī)構(gòu)用于固定待測產(chǎn)品，所述待測產(chǎn)品包括相對的第一面和第二面；所述固定機(jī)構(gòu)包括若干個固定組件，所述固定組件包括第一部件和第二部件，兩者之間具有磁性吸合力；所述第一部件用于支撐所述...

本實(shí)用新型公開了一種光學(xué)鏡片的支撐座，包括剛性的座本體，所述座本體具有用于容納光學(xué)鏡片的通孔部，還包括一個或多個支撐單元，所述支撐單元用于與所述光學(xué)鏡片的側(cè)壁固定連接；沿所述通孔部的徑向方向，所述座本體在所述支撐單元對應(yīng)位置的外側(cè)形成有...

一種吸附式載具，包括具有承載面的基體以及均勻分布在基體上的多個凸點(diǎn)和多個吸附孔；其中，凸點(diǎn)凸出承載面，吸附孔則貫穿承載面和/或凸點(diǎn)，吸附孔用于吸附包括晶圓在內(nèi)的待載工件，以使待載工件與凸點(diǎn)相抵。利用均勻分布的凸點(diǎn)對待載工件進(jìn)行支撐，不但...

本申請公開了一種半導(dǎo)體處理設(shè)備。半導(dǎo)體處理設(shè)備包括殼體、連接于殼體的第一裝載裝置和連接于殼體的第二裝載裝置。第一裝載裝置位于殼體外，第一裝載裝置用于裝載第一類晶圓盒并使第一類晶圓盒與殼體內(nèi)部連通。第二裝載裝置位于殼體外，并與殼體內(nèi)部連通...

本申請公開了一種安裝組件、光學(xué)系統(tǒng)及檢測設(shè)備。安裝組件包括主體結(jié)構(gòu)、第一調(diào)節(jié)件及第一限位件。主體結(jié)構(gòu)包括通過第一撓性部連接第一主體及第二主體。第一調(diào)節(jié)件穿設(shè)第一主體及第二主體，用于限定第一主體及第二主體在第一方向上的第一最大間距。第一限...

本申請公開了一種檢測設(shè)備，檢測設(shè)備包括檢測組件、兩個送檢通道及翻轉(zhuǎn)組件，工件包括相背的第一面及第二面，檢測組件用于對第一面及第二面進(jìn)行檢測；每個送檢通道用于運(yùn)輸工件至檢測組件，其中一個送檢通道上的工件的第一面朝向檢測組件，另一個送檢通道...

本申請公開了一種檢測設(shè)備，檢測設(shè)備包括設(shè)置在不同軌道上的中轉(zhuǎn)模組、轉(zhuǎn)運(yùn)模組、送檢模組、及下料模組；中轉(zhuǎn)模組能夠在軌道上沿第一方向運(yùn)動，并用于將上料區(qū)的工件中轉(zhuǎn)至轉(zhuǎn)運(yùn)模組；轉(zhuǎn)運(yùn)模組能夠在軌道上沿第二方向運(yùn)動，并用于將中轉(zhuǎn)模組上的工件轉(zhuǎn)運(yùn)至...

本申請公開了一種對缺陷的聚類方法。聚類方法包括：獲取多個缺陷在第一圖像中的第一位置信息；獲取第二圖像，第二圖像包括多個圖像單元；基于第一位置信息，將多個缺陷映射至第二圖像中以形成映射圖案；基于映射圖案所在的圖像單元的第二位置信息，對映射...

本申請實(shí)施例公開了一種光纖調(diào)節(jié)組件，便于滿足套刻測量對光源的入射方位的調(diào)整需求，包括：光纖安裝座、調(diào)節(jié)本體座、基座組件及第一方向調(diào)節(jié)組件、第二方向調(diào)節(jié)組件、第三方向調(diào)節(jié)組件、傾斜面調(diào)節(jié)組件和俯仰面調(diào)節(jié)組件中的至少一種調(diào)節(jié)組件；光纖安裝座...

本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測裝置，包括：承載臺，用于承載被檢測物；一個或一個以上的掃描相機(jī)，所述掃描相機(jī)的掃描視野至少部分覆蓋所述承載臺；運(yùn)動機(jī)構(gòu)，所述運(yùn)動機(jī)構(gòu)用于帶動所述被檢測物在承載平面相對所述掃描相機(jī)移動；光源組件，用于周期性地發(fā)出第一...

本發(fā)明提供一種基于TDI線陣相機(jī)的檢測方法，包括：使用第一積分級數(shù)控制TDI線陣相機(jī)拍攝第一圖像；使用第二積分級數(shù)控制TDI線陣相機(jī)拍攝第二圖像，所述第二積分級數(shù)大于所述第一積分級數(shù)；獲取所述第一圖像中的高反射率區(qū)域，對所述第一圖像中的...

本發(fā)明提供一種檢測設(shè)備及檢測方法，其中，檢測設(shè)備包括：合光元件，用于使所述泵浦光和第二檢測光在到達(dá)待測物之前具有公共路徑，經(jīng)過所述公共路徑的光束為組合光，所述組合光中心軸線的入射角為銳角；位置探測器，用于探測所述第一光束，并根據(jù)所述第一...

本申請?zhí)峁┮环N光學(xué)設(shè)備的對準(zhǔn)方法，該檢測設(shè)備包括光源和探測裝置，探測裝置包括第一探測器和鏡頭，該對準(zhǔn)方法包括：通過光源向待測對象發(fā)射檢測光，檢測光在待測對象表面形成檢測光斑，使檢測光斑經(jīng)待測對象表面形成第一信號光；第一探測器的感光面經(jīng)鏡...

一種光學(xué)設(shè)備的調(diào)節(jié)方法，光學(xué)設(shè)備包括對準(zhǔn)參考物和待對準(zhǔn)探測裝置，待對準(zhǔn)探測裝置包括待對準(zhǔn)探測器和鏡頭，待對準(zhǔn)探測器用于在待測物表面形成待對準(zhǔn)視場區(qū)；該調(diào)節(jié)方法包括：提供參考探測裝置，用于在待測物表面形成參考視場區(qū)；使對準(zhǔn)參考物處于參考視...

本申請公開了一種圖像處理方法、檢測方法及裝置，應(yīng)用于檢測設(shè)備，方法包括：顯示第一圖像，所述第一圖像為根據(jù)對待測物進(jìn)行檢測得到的原始圖像在空白圖像上對待測目標(biāo)的位置進(jìn)行標(biāo)記，得到具有標(biāo)記物的標(biāo)記圖，所述第一圖像具有一個或多個操作區(qū)，所述操...

本申請公開了一種檢測系統(tǒng)。檢測系統(tǒng)包括第一光源、第二光源及至少一個檢測通道；第一光源向待檢測的樣品入射第一光線，第一光線激發(fā)樣品發(fā)出特定波長范圍的第一信號光，以及經(jīng)由樣品反射或散射出第二信號光；第二光源向樣品入射第二光線，第二光線經(jīng)由樣...

本發(fā)明提供一種檢測設(shè)備，包括：待調(diào)元件，所述待調(diào)元件具有至少一個功能區(qū)，所述功能區(qū)用于與基準(zhǔn)位置對準(zhǔn)；用于使功能區(qū)與基準(zhǔn)位置對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)組件，一個所述調(diào)節(jié)組件用于使一個所述功能區(qū)與所述基準(zhǔn)位置對準(zhǔn)；所述調(diào)節(jié)組件包括：與所述基板可移動連接的...

本申請涉及一種圖像匹配方法及檢測裝置、存儲介質(zhì)，其中圖像匹配方法包括像素梯度計算、梯度方向量化、梯度擴(kuò)散、配置角度方向的響應(yīng)圖、通過像素匹配計算匹配值以及確定最終匹配點(diǎn)的過程。一方面，技術(shù)方案對待檢測圖像中像素點(diǎn)的梯度方向進(jìn)行角度量化和...

本申請公開了一種圖像生成方法。圖像生成方法包括：獲取像素在初始圖像中的初始位置；分別計算每一個像素對應(yīng)的遷移位移；分別將每一個像素從初始位置移動對應(yīng)的遷移位移，以移動至目標(biāo)位置；及依據(jù)移動至目標(biāo)位置的像素生成目標(biāo)圖像。本申請還公開了一種...

本申請?zhí)峁┮环N照明系統(tǒng)及掃描設(shè)備。照明系統(tǒng)包括第一光學(xué)組件及第二光學(xué)組件，第一光學(xué)組件包括聚光組件，聚光組件用于將物側(cè)的光線匯聚至工件形成第一光斑，第二光學(xué)組件用于改變反射光線的傳輸方向，以使反射光線投射至工件形成第二光斑，反射光線由工...