一種照明模塊以及檢測裝置，照明模塊包括：光源，用于發出照明光；集光鏡，用于對所述照明光進行匯聚，實現第一次成像；第一匯聚鏡，用于對所述第一次成像后的光進行匯聚，實現第二次成像，并產生聚焦的出射光；物鏡，用于使所述出射光透過，產生照射至待...

本實用新型提供一種承載裝置及檢測設備。承載裝置包括承載組件、對準組件和升降組件。承載組件用于承載工件，承載組件包括第一支撐板和第二支撐板；對準組件包括移動對準件和旋轉對準件，移動對準件與旋轉對準件連接，旋轉對準件帶動移動對準件旋轉，承載...

一種承載裝置及檢測設備，其中，承載裝置包括支撐組件和旋轉組件，支撐組件具有用于支撐工件的支撐面，旋轉組件用于帶動工件繞支撐組件的幾何中心線作旋轉運動，以在工件到達預定位置時，完成旋轉對準；旋轉組件具有布置在或可控運動至與支撐面等高齊平的...

本實用新型公開了一種升降機構和檢測設備，所述升降機構包括：固定臺和運動平臺，所述固定臺與運動平臺上下間隔設置，所述運動平臺用于帶動所述固定臺移動；升降架組件，位于所述固定臺與運動平臺之間，包括支撐架及設于支撐架的多個支撐件，所述固定臺設...

本實用新型公開了一種承載裝置及檢測設備，所述承載裝置包括基板、吸附組件以及多個連接組件，所述連接組件設于所述基板與吸附組件之間，以支撐所述吸附組件；所述吸附組件包括支撐板和設于所述支撐板四周的吸附部件，所述支撐板的承載面設有以矩陣形式分...

本實用新型公開了一種取放裝置及檢測設備，所述取放裝置包括：移動組件，包括設有移動部件的移動底盤；升降組件，設于所述移動底盤；所述升降組件包括支撐架和設于所述支撐架的驅動機構、升降導向機構以及升降滑臺；所述支撐架連接于所述移動底盤，所述驅...

本實用新型公開了一種固定機構及檢測設備，本實用新型中工件被吸附時，支撐部也能夠同時與工件抵靠接觸，這樣真空吸附部對工件有沿支撐部軸向方向的拉力，而支撐部一直頂著工件，工件無法沿支撐部軸向方向運動，且由于上述拉力的作用，工件與支撐部之間的...

本實用新型公開一種支撐盤、機械手以及傳送裝置，支撐盤的一側為支撐側，所述支撐側的表面設有槽，所述槽在第一方向上的兩端分別為第一端和第二端，所述第二端為貫穿所述支撐側的外邊緣的缺口端；所述第二端沿第二方向的尺寸大于所述第一端沿第二方向的尺...

本實用新型公開了一種相機調節裝置，包括第一支架、第二支架、螺栓以及螺桿；所述第一支架和所述第二支架通過所述螺栓連接，所述第一支架用于支撐相機機身，所述第二支架用于支撐相機鏡頭；所述螺桿連在一個支架的螺紋孔中且一端伸出螺紋孔與另一支架相抵...

本實用新型提供了一種測量系統，包括：光發射模塊，用于產生第一泵浦光和探測光；時間差分模塊，包括第一分光元件和合光元件，所述第一分光元件用于將所述第一泵浦光分成多個光束，且任意兩個光束之間具有時間延遲；所述合光元件用于將具有時間延遲的多個...

本實用新型公開了一種光學檢測系統和檢測設備，檢測設備包括光學檢測系統，光學檢測系統包括探測器和光源，所述光源用于向待檢測表面提供暗場探測光，所述探測器用于采集所述暗場探測光在所述待檢測表面的散射光；在所述探測器的鏡頭的光軸與掃描方向構建...

本實用新型涉及一種檢測光源和檢測系統，包括：殼體，所述殼體具有：用以形成殼體的部分殼壁的安裝基面；出光面，設在所述殼體上，所述出光面朝向所述安裝基面凹陷形成一容納口，所述容納口用于部分容納待測物；多個光源，各所述光源設在所述安裝基面朝向...

本申請實施方式提供一種檢測設備，包括光源裝置、第一探測組件、及第二探測組件。光源裝置用于提供多路光線，不同光路的光線以不同的入射角到達工件，光線經工件反射或/和散射形成信號光。第一探測組件用于接收沿第一出射光路出射的信號光而獲取第一光信...

本申請提供一種抓取裝置及轉運系統。抓取裝置包括載臺、抓取件、及第一驅動件。載臺用于抓取工件。抓取件的一端連接于載臺，另一端凸出于載臺，并用于抓取凸出于工件的電路板。第一驅動件與抓取件連接，第一驅動件用于驅動抓取件相對載臺運動以調整抓取件...

本申請的檢測設備包括承載件、安裝件、光源組件和檢測組件。承載件包括相背的第一面和第二面；安裝件設置在承載件，安裝件的承載面用于放置待測件，承載面低于第一面；光源組件用于向待測件與第一面相背的背面發射光線；檢測組件用于接收待測件反射的光線...

本申請公開了一種檢測系統。檢測系統用于檢測工件，檢測系統包括安裝裝置、第一檢測裝置及第二檢測裝置，第一檢測裝置安裝于安裝裝置，第一檢測裝置對工件的待檢測面進行成像以得到二維圖像，并用于檢測待檢測面上的二維缺陷；第二檢測裝置安裝于安裝裝置...

本實用新型公開了一種光學檢測系統及檢測設備，所述光學檢測系統包括第一光源和第二光源，所述第一光源具有腔體，所述腔體具有半球形的發光面，所述第一光源的光線穿過所述腔體的內部空間射向待測物，所述腔體的腔壁上設有通孔，所述第二光源的光線穿過所...

本實用新型公開了一種定位工裝及檢測設備，該定位工裝包括工裝本體、第一定位塊、第二定位塊以及突出于工裝本體上表面的支撐凸部；使用時，第一定位塊、第二定位塊和支撐凸部能夠共同約束被定位工件，以約束被定位工件除沿垂直于第一表面向遠離工裝本體的...

本申請公開了一種半導體設備。半導體設備包括殼體、多個第一支撐件、抽拉件及第二支撐件。殼體包括基板，基板包括安裝面。第一支撐件設置在殼體，以支撐殼體，第一支撐件與所述安裝面之間的距離可調節。抽拉件可移動地設置在安裝面。及第二支撐件與抽拉件...

本申請提供一種承載裝置及處理設備。承載裝置包括第一夾持結構及能夠相對第一夾持結構移動的第二夾持結構，第一夾持結構包括第一夾持環及自第一夾持環的內側朝第一夾持環的中心延伸的第一夾持件，第一夾持件包括相接的承載面及第一斜面，承載面用于承載工...