本申請公開了一種檢測設備。檢測設備包括轉盤、檢測裝置、上料裝置、至少一個調整裝置、及下料裝置。上料裝置、調整裝置、及下料裝置沿轉盤轉動方向依次設置；檢測裝置用于檢測位于承載件內的工件是否滿足預定條件并輸出檢測結果；上料裝置用于將裝載有檢...

本申請公開了一種檢測設備。檢測設備包括轉盤及沿轉盤轉動方向依次設置的上料裝置、檢測裝置、至少一個調整裝置、及下料裝置。上料裝置用于將裝設有多個工件的承載件放置在轉盤上。檢測裝置用于檢測工件是否滿足預定條件并輸出檢測結果，滿足預定條件包括...

本實用新型提供了一種延遲器和檢測系統，至少包括反射面相對設置的第一回射器和第二回射器，所述第二回射器的頂部與所述第一回射器的頂部錯位排布；所述第一回射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第二回射器至少包括第三反射面和第四反射面；并且，...

本申請公開了一種光衰減裝置，光衰減裝置設置在光源和傳輸元件之間，光衰減裝置用于減少光源傳輸給傳輸元件的光線，光衰減裝置包括至少一個發散元件及切換結構，發散元件用于改變所述光源出射的照明光束的發散角度，以減少進入所述傳輸元件的光線；切換結...

本申請公開了一種鏡架，鏡架包括本體，本體形成有收容腔；本體還包括連接部，連接部設置收容腔的外側，連接部能夠用于與壓圈配合，以使壓圈能夠固定鏡片于收容腔；連接部還能夠用于與轉接件配合，以使轉接件固定安裝于本體，轉接件用于安裝鏡片。本申請實...

本申請公開了一種裝載臺，裝載臺用于承載提籃，提籃用于安裝晶圓的膠膜框架，裝載臺包括本機及多個第一檢測件，本體設置有多個檢測位，多個第一檢測件對應安裝在多個檢測位，在提籃搭載在裝載臺上時，第一檢測件能夠與提籃配合以檢測提籃的尺寸。本申請還...

本發明提供一種圖像匹配方法，包括獲取樣品的標準模板圖和所述樣品的測試圖，所述標準模板圖包括模板單位圖，所述測試圖包括測試單位圖；獲取所述標準模板圖的標準輪廓圖，所述標準輪廓圖標記出所述模板單位圖的邊界輪廓；獲取所述測試圖的測試輪廓圖，所...

本申請公開了一種檢測方法、檢測設備及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法，應用于檢測設備，檢測設備包括第一運動平臺和承載件，承載件設置在第一運動平臺，承載件用于承載并固定待測件，檢測方法包括所述待測件和所述承載件之間的作用力；及在作用力...

本申請公開了一種識別方法。識別方法用于識別特征圖案陣列的偏轉角度，每個特征圖案包括位置已知的特征點，識別方法包括：選取一個特征點作為第一基準點；搜索與第一基準點共線的一個或多個特征點作為擬合點；擬合第一基準點與擬合點，以得到沿第一方向延...

本發明提供的光斑校正方法、系統、集成電路檢測設備和存儲介質，通過獲取檢測光束通過光學元件后的光斑圖像；根據光斑圖像獲取光斑形變的量化指標，光斑形變包括旋轉、均勻性、平移和離焦中的至少一個；根據量化指標，調節光學元件的空間自由度，直至量化...

本申請公開了一種檢測設備的角度校正方法、設備及計算機可讀存儲介質，角度校正方法應用于檢測設備，檢測設備包括光源、承載裝置、調節組件以及相機，調節組件與承載裝置連接，校正方法包括：獲取相機的檢測圖像；確定檢測圖像上的光斑位置；根據光斑位置...

本申請公開了一種線路檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質，所述線路檢測方法應用于檢測設備，所述檢測設備獲取待測工件的原始圖像，再對所述原始圖像進行圖像處理，獲取檢測圖像，然后根據預設條件篩選所述檢測圖像的特征點，最后將篩選后的所述特...

本申請公開了一種檢測設備的校準方法、裝置、設備及可讀存儲介質，所述校準設備獲取不同檢測區域的檢測圖像；確定每個所述檢測區域的檢測圖像的像素點的像素值；根據所述像素值確定其對應的所述檢測區域的光學評價值；根據每個所述檢測區域的光學評價值確...

本申請公開了一種檢測設備的校準方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質，所述校準設備獲取不同檢測區域的檢測圖像；根據所述檢測圖像確定不同檢測區域的所述校準點的校準點尺寸；據所述校準點尺寸確定所述檢測設備的校準參數，所述校準參數包括相機的調整...

本申請公開了一種檢測方法。檢測方法用于檢測工件的位置偏差，工件形成有第一標記及第二標記，檢測方法包括：判斷第一標記的第一目標位置與第二標記的第二目標位置，是否在沿第一方向延伸的同一直線上，第一方向與工件的運動方向相同；若否，利用第一相機...

本申請公開了一種檢測方法。檢測方法用于檢測工件的位置偏差，工件形成有第一標記及第二標記，檢測方法包括：利用成像裝置對準第一標記的目標物理位置，采集包括第一標記的圖像為第一圖像；驅動成像裝置與工件中的至少一個運動，以使成像裝置對準第二標記...

本申請公開了一種工件表面形貌的掃描方法，包括從初始視場區開始，按照設定的順序對所有視場區進行聚焦掃描；其中，對于非初始視場區，首先獲取與當前待檢測非初始視場區相鄰的前一個視場區的實際聚焦面位置，然后根據已檢測的鄰近視場區的實際聚焦面位置...

本申請公開了一種檢測系統的調節方法。檢測系統包括多個探測裝置，及多個光線的出射面，每個探測裝置包括入光面，多個出射面射出的光線一一對應地進入多個入光面，每個探測裝置收集至少部分從入光面進入的光線以形成檢測信息；調節方法包括：依據多個探測...

本申請公開了一種位置校正方法。位置校正方法用于校正工件的位置，工件形成有第一標記及第二標記，位置校正方法包括：利用第一成像裝置以第一視場拍攝第一圖像，且利用第二成像裝置以第二視場拍攝第二圖像，其中，第一視場小于第二視場；判斷第一圖像內是...

本申請提供一種聚焦方法、聚焦裝置、聚焦設備和非易失性計算機可讀存儲介質。聚焦方法包括通過第一傳感器接收待測件反射的第一光源發射的光線以生成光信號，并根據光信號確定待測件和聚焦設備的距離值；根據距離值調節待測件和聚焦設備之間的距離，以使得...