一種晶圓檢測方法和裝置，方法包括：生成第一照明光；將第一照明光照射到晶圓的表面上形成第一光斑；在一個或多個探測通道（21、22、23、24）上探測晶圓的表面的散射光，一個或多個探測通道中的第一探測通道（21）的光軸在晶圓的表面的第一投影...

本申請公開一種結構參數反演方法、測量設備及計算機可讀存儲介質，通過將待測樣品初始的結構參數輸入預訓練的衍射強度預測模型，得到初始的結構參數對應的衍射強度空間分布，基于初始的結構參數對應的衍射強度空間分布生成待測樣品的模擬衍射圖像，并與實...

本發明公開了一種膜厚虛擬量測方法、模型訓練方法及存儲介質，其中膜厚虛擬量測方法包括獲取多個待測樣本在加工過程中產生的FDC過程數據；對FDC過程數據進行預處理得到三維張量數據；將三維張量數據輸入到虛擬量測網絡模型進行薄膜厚度預測，得到每...

本發明涉及半導體量測技術領域，尤其涉及一種成像系統以及成像方法，成像系統包括：分光元件、調焦元件、第一探測器以及第二探測器，所述分光元件用于將樣品的標記區域發出的信號光分光為第一成像光和第二成像光，并引導所述第一成像光進入所述第一探測器...

本發明涉及半導體量測技術領域，尤其涉及一種成像方法以及成像系統，成像系統包括：光源，光源用于發出照明光，照明光入射樣品的標記區域，并經標記區域反射形成信號光，標記區域包括M個不同的標記，M為大于等于4的偶數；分光組件，分光組件用于將信號...

本申請提供一種掃描電子顯微鏡工作距離的校準方法、掃描電子顯微系統和存儲介質，借助于安裝在系統樣品臺上的校準標樣，在校準過程中，通過控制樣品臺運動，使校準標樣的導電上表面與掃描電子顯微鏡的外極靴下表面發生至少一次電接觸，基于兩者之間發生電...

本申請提供一種檢測系統及其自動調焦方法、存儲介質，該系統包括光源組件、光學組件、成像組件和處理器，其中待測物體表面預設有用于焦面定位的特征結構；處理器被配置為粗調成像組件與待測物體的相對位置，并在多個位置采集干涉圖像，根據所采集的干涉圖...

一種開關防護裝置，包括支撐件、驅動件、滑臺件、推桿件、彈性件、連桿機構和開關機構；連桿機構包括兩組相互鉸接的第一連桿和第二連桿，開關機構包括兩個相對的擋板組件，滑臺件滑動設置于支撐件并鉸接第一連桿，推桿件貫穿滑臺件，且推桿件的第一端連接...

本發明公開了一種橢偏測量的修正方法、設備及存儲介質，其中方法包括：在入射臂透鏡的出瞳面位置采集光斑的能量強度分布；基于能量強度分布，自適應生成離散化的強度分布點陣，并計算各點歸一化權重；基于強度分布點陣、歸一化權重和透鏡數值孔徑參數，建...

本申請提供一種緩存裝置、檢測設備及檢測工藝，涉及半導體技術領域，緩存裝置包括倉體、倉蓋、進氣部和抽氣部，倉體在第一方向上的一側設有開口部，進氣部與倉體內部連通，倉體內部沿第二方向依次設置多層用于容置待處理部件的容置部，在第二方向上，第一...

一種光路裝置、光學檢測方法以及檢測設備，該光路裝置包括側向入射光路組件以及透鏡組件，該側向入射光路組件包括檢測光源以及擴束鏡組，檢測光源提供入射光束，擴束鏡組用于對入射光束在第一方向展開和整形形成平行的第一方向檢測光束以及對在第二方向展...

本申請公開一種基于深度學習可自動聚焦和像散校正的成像參數校正方法，成像參數校正方法包括：在當前成像參數集下采集一圖像作為基準圖像；對當前成像參數集中的一或多個成像參數施加正增量和負增量得到正擾動參數集和負擾動參數集，分別在正擾動參數集和...

本發明涉及超聲檢測技術領域，具體提供一種光聲測量過程中的刀口校準方法，移動刀口使其與信號光偏離，調整泵浦光和探測光在被測表面上的光斑間距，使探測光移動至泵浦光的半高寬位置，根據系統噪聲確定刀口標校方案，若系統噪聲小于預設的第一噪聲閾值，...

本發明公開了一種晶圓字符串檢測方法及檢測設備。該方法包括通過2D成像系統獲取待測晶圓上的每個字符串的二維信息圖像，根據二維信息圖像獲取每個字符串的第一坐標，并對每個字符串進行二維缺陷檢測，生成第一檢測結果；將第一坐標轉換為3D成像系統下...

本申請提供了一種產品的缺陷檢測方法、缺陷檢測系統及存儲介質，涉及的缺陷檢測方法包括獲取待檢測產品的光學圖像，對光學圖像進行分區得到待檢測產品的分區圖像，分區圖像至少包括相鄰的第一分區和第二分區且第一分區和第二分區具有相鄰邊界，對分區圖像...

本申請公開了一種AI推理方法、推理系統及存儲介質，其中方法包括獲取一個或多個圖像數據；獲取模型庫，模型庫中的各網絡模型分別具有對應的推理參數；根據圖像數據的數據復雜度以及硬件負載信息實時調整推理策略，得到標定策略；基于標定策略確定目標推...

本申請提供一種半導體量測系統和X射線束定位方法，該系統包括運動臺、X射線源和探測器新配置的校準組件，通過配置的固定于運動臺上的、具有特定幾何特征的校準標片，巧妙地利用運動臺自身固有的旋轉與平移自由度帶動校準標片進行精確的相對運動，并在此...

本申請公開了一種圖像角度確定方法及圖像角度確定裝置、存儲介質，通過獲取目標結構的圖像序列，并基于多個待測圖像進行超分辨率重建，得到表征目標結構真實形貌的目標圖像，在此基礎上對目標結構進行特征參數擬合并確定其與特定方向的角度測量結果。相比...

本發明涉及半導體量測技術領域，尤其涉及一種膜層測量方法及裝置，膜層測量方法包括：采用泵浦光照射待測樣品的測量位置；將探測光分束為第一探測光和第二探測光，采用第一探測光照射測量位置，采用第二探測光照射待測樣品的相鄰位置，相鄰位置與測量位置...

本發明涉及半導體量測技術領域，尤其涉及一種樣品運動平臺及其控制方法、檢測設備，樣品運動平臺包括：輔助運動平臺和樣品臺；樣品臺包括第一驅動機構以及承載臺，第一驅動機構用于輸出第一驅動力以帶動承載臺沿第一軸方向移動，以及用于輸出第二驅動力以...