一種勻光裝置、照明設備和光學檢測系統，包括沿光路依次設置的第一勻光元件、第二勻光元件和第三勻光元件；第一勻光元件用于對光束進行視場勻化，第二勻光元件用于將第一勻光元件的出射光分割為多束子光束，并分別對各子光束進行會聚，從而實現光瞳勻化，...

本申請提供一種檢測系統及檢測方法，檢測系統包括基礎光路、第一掃描光路、第二掃描光路、檢測光路、第一平臺、第二平臺和切換模塊；第一分光模塊用于將光源發出的光束分成向檢測光路入射的檢測光束，以及向第一掃描光路或第二掃描光路入射的掃描光束；切...

本申請提供一種檢測系統及檢測方法，檢測系統包括基礎光路、第一掃描光路、第二掃描光路、檢測光路、第一平臺、第二平臺和掃描光源；基礎光路包括檢測光源，檢測光源用于發出檢測光束；掃描光源用于發出掃描光束，在檢測光路用于通過檢測光束，對處于檢測...

一種位置標記方法、光學檢測裝置及存儲介質，其中位置標記方法包括：獲取檢測對象的至少一張待測圖像，并得到每張待測圖像的坐標范圍；獲取第一類目標的坐標，確定第一類目標的坐標所在的坐標范圍；根據已確定的坐標范圍選擇對應的待測圖像；從已選擇的待...

本申請提供一種圖像分類模型構建方法及裝置，訓練數據集可以包括多個訓練圖像，訓練圖像具有訓練標簽，基于訓練數據集可以構建圖像分類模型的各個分類節點，分類節點具有分流規則。在構建各個分類節點的過程中，若各個分類節點中的目標節點對應的缺陷圖像...

本申請實施例公開了一種光學檢測方法、光學檢測裝置以及存儲介質，用于光學成像技術領域。本申請實施例中，在控制明場探測器以及暗場探測器對待測物體表面進行相對運動掃描的過程中，獲取明場探測器的明場成像區域與待測物體表面的像方待測區域之間的第一...

本發明提供了一種芯片圖像的處理方法、系統、電子設備及存儲介質，該方法為：對第一圖像進行降噪處理，得到第二圖像，第一圖像為拍攝芯片得到的圖像；將第二圖像分別在多個指定色彩空間進行色彩過濾，以得到多張第三圖像；基于多張第三圖像，生成導線結果...

本申請公開一種圖像對位方法、電子設備和存儲介質，在圖像對位方法中進行圖像對位時，首先將被對位的第一基準圖像和第一待對位圖像縮小，根據縮小后的第二基準圖像和第二待對位圖像之間的相關性對縮小后的圖像進行對位，再根據縮小后的圖像的對位坐標對原...

本發明涉及光聲測量技術領域，具體提供一種光聲檢測系統及激光光斑校準方法，在現有膜厚光聲測量裝置中增設顯微鏡等光學器件對光路不同位置處的光斑特征參數進行數據采集，根據光斑影像獲取泵浦光和探測光的光斑抖動幅值和抖動頻率，通過主動調節光束調節...

本申請實施例公開了一種氣密性檢測系統，主要包括氣密腔、成像探頭和處理器，其中，被測物的一側端面遮蓋于氣密腔的開口處，氣密腔內填充有吸光氣體，吸光氣體用于吸收目標光譜波段的光波；成像探頭用于采集被測物的相對另一側端面反射的探測光波，并在探...

本申請實施例公開了圖像處理方法以及相關設備，用于識別光學檢測中偶發的模糊圖像。本申請圖像處理方法包括：獲取待測物的多張初始圖像，每張初始圖像由具有對應像素值的多個像素點組成；針對每張初始圖像，基于初始圖像中每個像素點對應的像素值，計算初...

本申請實施例公開了一種明暗場光學檢測裝置，用于同時進行明場檢測及暗場檢測，以提升明暗場檢測裝置的檢測效率。本申請實施例，包括：明場光源，用于發出明場光束并使所述明場光束到達第一光學組件；暗場光源，用于發出到達待測物的暗場光束；所述第一光...

一種缺陷檢測方法和缺陷檢測裝置、存儲介質，首先將待檢測圖像與參考圖像比較，根據第一缺陷判定條件選擇出待檢測圖像中的第一類缺陷像素，之后對于每個第一類缺陷像素，根據第二缺陷判定條件選擇出每個第一類缺陷像素的鄰域內的第二類缺陷像素，基于第一...

本申請公開一種對位檢測方法及對位檢測裝置、存儲介質，其中對位檢測方法包括：根據一次對位后的多張樣品圖像獲得模板圖像；篩選出模板圖像中對應梯度值位于第一區間內的第一像素點；第一區間根據模板圖像中像素點的梯度值確定；根據當前樣品圖像的差分對...

本發明公開一種升降承載裝置及檢測設備，升降承載裝置包括承載組件和升降驅動組件，升降驅動組件包括直線驅動件、第一直線件和第二直線件，第二直線件設置有至少三個運動導向部，至少三個承載件與至少三個運動導向部一一對應滑動連接。由于升降承載裝置可...

本發明提供一種基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，包括：通過高度測量探頭獲取面板表平面上一檢測視場范圍內的采樣點的第一高度信息；將所述采樣點按照對應的所述第一高度信息聚類得到所述檢測視場范圍內與高度分布相關的子區域，一子區域信息具有第二高...

本發明公開一種聯動升降機構及檢測設備，聯動升降機構包括支撐組件和升降驅動組件，升降驅動組件包括旋轉驅動件、第一旋轉件和第二旋轉件，第二旋轉件設置有至少三個升降導向部，至少三個支撐件與至少三個升降導向部一一對應滑動連接。由于聯動升降機構可...

一種等值圖生成方法、系統、終端設備以及存儲介質，涉及半導體檢測技術領域，方法包括：對待測件的多個預設測量點進行測量；初始化等值圖的尺寸和閾值區間；對預設參考坐標系的二維平面進行網格劃分，記錄所有網格點的網格點數據；根據所有測量點數據，并...

本申請涉及光學檢測技術領域，具體涉及一種調節裝置和光學檢測設備，調節裝置包括承載件、安裝基座和調節組件，承載件安裝固定光學元件，承載件位于安裝基座的安裝孔內，調節組件包括若干柔性臂，柔性臂環抱安裝孔且在安裝孔的軸向上設有偏向槽，柔性臂對...

本發明屬于膜厚測量技術領域，尤其涉及一種光聲測量裝置及其調節方法。方法包括：使探測光線和/或泵浦光線聚焦于刀口上，獲取探測光斑的實際尺寸和泵浦光斑的實際尺寸；通過聚焦鏡模塊和功率測量裝置調節探測光斑和/或泵浦光斑的光斑尺寸直至預設尺寸。...