本申請提供一種檢測系統及檢測方法，檢測系統包括第一明場檢測光路、第二明場檢測光路、暗場檢測光路、第一平臺和第二平臺；在暗場檢測光路用于對處于暗場位的第i個待測物進行暗場檢測的同時，目標光路用于對處于目標位的第i+1個待測物進行明場檢測；...

一種寬帶光譜測量裝置以及檢測設備，寬帶光譜測量裝置包括：第一入射狹縫、第一分光組件、第一光譜模塊以及第二光譜模塊；第一入射狹縫被配置為輸入待測光束，待測光束為復色光束；第一分光組件被配置為將待測光束進行分光，得到第一光束與第二光束；第一...

本申請公開一種缺陷檢測方法、裝置、設備和存儲介質，方法包括，通過掃描設備掃描待測樣品，得到待測樣品的圖像數據；在掃描待測樣品的過程中，并行的調用目標處理進程檢測掃描得到的每一幀圖像數據；目標處理進程為多個處理進程中與圖像數據所屬計算單元...

一種圖像扭曲修復方法、檢測方法與設備、終端設備以及介質，圖像扭曲修復方法，包括：獲取參考圖像與待修復圖像；計算參考圖像與待修復圖像在水平方向和垂直方向上分別對應的梯度圖；計算參考圖像與待修復圖像的像素灰度差值圖；根據各梯度圖與像素灰度差...

本申請公開了一種橢偏測量系統及測量方法，可應用于光學技術領域，其中系統包括：光路產生組件、鋸齒光闌、分離組件和光路接收組件；光路產生組件用于產生照射光束；待測樣品用于反射照射光束，并產生信號光束；鋸齒光闌設于照射光束對應的照射光路中，用...

一種用于檢測設備的控制系統、檢測方法及存儲介質，其中控制系統包括：主功能模塊，包括主應用程序，主功能模塊用于執行主應用程序時實現檢測設備的基礎檢測功能；至少一個輔助功能模塊，輔助功能模塊包括輔助應用程序，輔助功能模塊用于執行輔助應用程序...

本申請公開了一種橢偏測量系統及測量方法，可應用于光學技術領域，其中系統包括：照射組件和收光組件；照射組件設于待測樣品的第一平面側的第一斜上方，用于產生偏振衍射光束，并將偏振衍射光束斜射向待測樣品；待測樣品用于反射偏振衍射光束，并產生信號...

本申請實施例公開了一種圖像檢測方法、圖像檢測裝置以及存儲介質，用于圖像檢測技術領域。本申請實施例中，獲取待測物表面上多個子區域的區域圖像；確定多張區域圖像中同一像素位置的灰度值；基于灰度值之間的灰度差值大小，確定子區域對應的參考圖中像素...

本發明實施例提供了一種玻璃圖片的檢測方法，用于提升對玻璃的檢測效率，以及對玻璃中缺陷檢測的準確率。本發明實施例方法包括：獲取待檢測的玻璃以及所述玻璃的類型；將所述待檢測的玻璃劃分為多個待檢測區域；針對所述玻璃的類型，為所述多個待檢測區域...

本申請公開了一種晶圓對位方法、晶圓對位裝置及可讀存儲介質，可用于半導體技術領域，該方法包括：獲取待對位晶圓的行掃圖像；在行掃圖像中識別晶粒位置，并確定晶粒的偏轉角度；基于偏轉角度將待對位晶圓旋正；獲取旋正后的待對位晶圓對應的旋正圖像；基...

本發明實施例提供了一種薄膜厚度的測量方法及光學測量系統，用于提升待測薄膜厚度測量的準確性。本發明實施例方法包括：在所述第二位置正向偏離所述第一位置目標距離時，利用所述探測組件和所述處理器獲得第一測量信號；在所述第二位置反向偏離所述第一位...

本發明實施例提供了一種顯微鏡物鏡及檢測系統，用于提供基于266nm至520nm波段的大視場大數據值孔徑的顯微鏡物鏡，用于提高對半導體缺陷的檢測速度和分辨率。本發明實施例中的顯微鏡物鏡包括：由物方到像方依次共軸設置的至少一組負光焦度透鏡組...

本申請實施例公開了一種圖像對位方法、計算機設備及計算機存儲介質。將子區域作為模板圖像，將子區域的每條邊分別外擴預設尺寸得到的圖像作為對位圖像，根據模板匹配算法將模板圖像與對位圖像進行模板匹配，獲得多個對位像素點以及每個對位像素點對應的相...

本發明實施例提供了一種檢測方法及檢測裝置，用于提高缺陷的檢測成功率。本發明實施例方法包括：獲取待檢測對象的各個待檢測點沿檢測方向上的高度差；獲取執行相鄰檢測的第一待檢測點和第二待檢測點在控制裝置檢測方向上的高度差Δh；獲取控制裝置待檢測...

本申請公開一種垂向位移測量裝置和光學成像系統，包括光柵投影模塊、光柵探測模塊和處理器，光柵探測模塊包括探測光柵和光電探測器，光柵投影模塊形成投影光柵圖形并向被測物體進行投影，投影光柵圖形經被測物體反射至探測光柵后，透過探測光柵而形成探測...

一種缺陷檢測方法及系統、存儲介質，其中方法包括：獲取待檢測對象的初始檢測圖像；獲取與初始檢測圖像相適配的參考圖像，參考圖像的圖像質量與初始檢測圖像的圖像質量之間具有第一質量偏差；基于參考圖像調整初始檢測圖像的圖像質量以獲取檢測圖像，參考...

本發明公開一種輸送裝置及檢測設備，包括支座與輸送機構，其中，輸送機構形成依次連接的輸入段、導向傳送段和輸出段，輸入段用于向導向傳送段輸送產品，導向傳送段用于將產品導向傳送至輸出段；導向傳送段包括第一輸送模組和第二輸送模組，第二輸送模組相...

一種偏差檢測方法、校正方法、光學檢測設備及存儲介質，偏差檢測方法包括：獲取待測件在承載模塊上的第一檢測圖像，以及獲取待測件在承載模塊旋轉預設角度后的第二檢測圖像；根據第一檢測圖像和第二檢測圖像處理得到承載模塊旋轉的實際角度；根據預設角度...

本申請公開一種檢測周期性單元格寬度的方法、裝置、設備和存儲介質，方法包括，在待測圖像中確定出參考區域，并根據參考區域確定檢測窗口；參考區域的高度和待測圖像的高度相同，參考區域的寬度小于待測圖像的寬度，檢測窗口和參考區域具有相同尺寸；用檢...

本申請公開一種信號校正方法、光學檢測設備和存儲介質，方法包括，獲取待測信號；對待測信號進行第一變換，得到對應的信號頻率相位關系；根據預設的頻率相位誤差關系對信號頻率相位關系進行逐頻率點的相位補償，得到補償信號；對補償信號進行第二變換，得...