本申請涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及承載裝置及檢測設(shè)備。承載裝置包括承載部和限位部，其中，承載部具有用于承載待測物的承載面。限位部與承載部連接并處于承載部的外圍，待測物放置在承載部上后，限位部能夠?qū)Υ郎y物進(jìn)行止擋，阻止待測物相對承載部滑...

一種電子槍，包括電子槍室、固定于電子槍室的上蓋法蘭、穿設(shè)于上蓋法蘭的活動座和形變套以及貫穿形變套并固定于活動座的發(fā)射組件，其中，形變套的一端與活動座密封固定、另一端與上蓋法蘭密封固定，發(fā)射組件包括位于電子槍室內(nèi)部的發(fā)射源，上蓋法蘭的內(nèi)部...

本申請?zhí)峁┑墓鈱W(xué)檢測系統(tǒng)及檢測方法，包括共用一物鏡的照明光路和成像光路，沿照明光路傳輸?shù)恼彰鞴馐?jīng)物鏡照射待測晶圓并經(jīng)待測晶圓反射形成成像光束，該成像光束經(jīng)物鏡沿成像光路傳輸以用于成像，照明光束以與物鏡的光軸的不平行或不重合入射并在物鏡...

本申請?zhí)峁┑墓饴暷ず窳繙y系統(tǒng)及方法，通過在量測系統(tǒng)中引入激光偏振調(diào)節(jié)器件或者晶圓旋轉(zhuǎn)組件，根據(jù)量測數(shù)據(jù)信噪比調(diào)節(jié)飛秒脈沖激光的偏振態(tài)或者晶圓角度，以消除飛秒脈沖激光的偏振方向與晶圓晶格取向失配對量測穩(wěn)定性的影響，提升了量測信號的信噪比。

本發(fā)明公開一種光學(xué)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、輔助裝置及光學(xué)設(shè)備，光學(xué)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括支座、角度調(diào)節(jié)組件、安裝平臺、第一安裝座與第二安裝座，其中，角度調(diào)節(jié)組件設(shè)置于支座，安裝平臺設(shè)置于角度調(diào)節(jié)組件，角度調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)安裝平臺的姿態(tài)；第一安裝座設(shè)置于安裝平臺...

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種問題機(jī)臺的矯正方法及相關(guān)裝置，用于將問題機(jī)臺的待矯正輸出數(shù)據(jù)，矯正至標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺的標(biāo)準(zhǔn)輸出，從而實(shí)現(xiàn)對問題機(jī)臺中待矯正輸出數(shù)據(jù)的矯正。本發(fā)明實(shí)施例方法包括：獲取問題機(jī)臺的待矯正輸出數(shù)據(jù)，其中，所述待矯正輸出數(shù)據(jù)包括檢測...

本發(fā)明涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光學(xué)檢測設(shè)備及其控制方法，光學(xué)檢測設(shè)備包括：缺陷檢測裝置，缺陷檢測裝置包括大缺陷回避系統(tǒng)和照明系統(tǒng)，照明系統(tǒng)用于發(fā)出高功率照明光掃描樣品，照明系統(tǒng)掃描至樣品上的大缺陷時，大缺陷回避系統(tǒng)用于向照明系...

一種光斑校準(zhǔn)方法、光學(xué)檢測系統(tǒng)以及存儲介質(zhì)，光斑校準(zhǔn)方法包括：獲取照明光束在照射區(qū)域所形成光斑的第一位置；調(diào)整照明光束的傳輸方向直至在光斑的第一位置滿足第一預(yù)設(shè)條件，將校準(zhǔn)件移入照射區(qū)域并處于成像焦面；獲取光斑在校準(zhǔn)件表面上的狀態(tài)信息，...

本發(fā)明涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種膜層測量方法及裝置，膜層測量方法包括：采用泵浦光和探測光照射待測樣品，探測光經(jīng)待測樣品反射形成探測信號光，其中，探測光或者泵浦光經(jīng)回射器引導(dǎo)照射待測樣品，回射器沿第一方向往返移動以對探測光或者泵浦...

本申請實(shí)施例公開了一種運(yùn)動平臺位置補(bǔ)償方法、運(yùn)動平臺位置補(bǔ)償設(shè)備以及計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，用于提供一種運(yùn)動平臺位置補(bǔ)償方法，以對位置測量系統(tǒng)測量的待檢測對象當(dāng)次移動的測量移動位置進(jìn)行位置補(bǔ)償。本申請實(shí)施例方法包括：通過驅(qū)動運(yùn)動平臺沿預(yù)設(shè)運(yùn)...

本發(fā)明涉及可調(diào)節(jié)光源組件。一種可調(diào)節(jié)光源組件，包括：光源模塊，用于產(chǎn)生照明光；光源連接座，光源模塊固定在光源連接座上；第一導(dǎo)向座，光源連接座沿第一設(shè)定方向活動裝配在第一導(dǎo)向座上，第一導(dǎo)向座與光源連接座之間設(shè)有用于調(diào)節(jié)光源連接座的位置的調(diào)...

本申請?zhí)峁┮环N檢測系統(tǒng)和光功率調(diào)整方法，檢測系統(tǒng)可以包括照明模塊和第一檢測設(shè)備，以及照明模塊和第一檢測設(shè)備之間的分光模塊和第一功率調(diào)整模塊，分光模塊用于周期性切換工作模式，工作模式為透光模式時，照明光束透過分光模塊和第一功率調(diào)整模塊進(jìn)入...

本發(fā)明涉及氣浮承載系統(tǒng)。一種氣浮承載系統(tǒng)，包括：氣浮組件，氣浮組件上設(shè)有正壓氣孔，正壓氣孔用于吹氣以實(shí)現(xiàn)被承載件的懸浮；正壓管路，正壓管路與正壓氣孔連通，正壓管路包括正壓閥門；負(fù)壓管路，負(fù)壓管路與正壓氣孔連通，負(fù)壓管路包括負(fù)壓閥門；以及...

本申請?zhí)峁┮环N檢測系統(tǒng)的控制方法，檢測系統(tǒng)包括照明模塊、第一檢測設(shè)備，以及照明模塊和第一檢測設(shè)備之間的分光模塊和第一功率調(diào)整模塊，照明模塊用于提供照明光束，第一檢測設(shè)備用于對第一待測表面進(jìn)行檢測得到第一檢測信號，分光模塊用于對照明光束進(jìn)...

一種電子探測器，包括光導(dǎo)和閃爍體；其中，光導(dǎo)具有前端部，前端部的表面包括四分之一球面結(jié)構(gòu)的第一表面和平面結(jié)構(gòu)的第二表面，閃爍體的表面包括相背的光出射面和電子入射面；光出射面貼附第二表面，以使閃爍體產(chǎn)生的光信號進(jìn)入前端部，第一表面反射光信...

一種光源控制方法、控制設(shè)備、光源系統(tǒng)以及存儲介質(zhì)，方法包括：若獲取LDLS光源的供電信號，則產(chǎn)生啟動信號并發(fā)送至LDLS光源，供電信號用于表示LDLS光源被正常供電，啟動信號用于觸發(fā)LDLS光源啟動；獲取LDLS光源反饋的狀態(tài)反饋信號，...

一種重復(fù)性缺陷的檢測方法、裝置、系統(tǒng)和可讀存儲介質(zhì)，該方法包括：獲取被加工件表面的缺陷以被加工件為位置基準(zhǔn)的第一位置信息；以被加工件表面的多個被加工區(qū)域中的一個為基準(zhǔn)區(qū)域，確定被加工件表面的缺陷以基準(zhǔn)區(qū)域?yàn)槲恢没鶞?zhǔn)的第二位置信息；根據(jù)所...

本申請公開一種圖像檢測方法、裝置、設(shè)備和存儲介質(zhì)，方法包括，根據(jù)待測圖像中像素及其鄰域的灰度值，獲得像素的多項(xiàng)灰度特征值；統(tǒng)計(jì)待測圖像中像素的灰度特征值，獲得指示待測圖像中不同數(shù)值類型像素的數(shù)量的像素分布信息；不同數(shù)值類型像素指有至少一...

本發(fā)明提供一種圖像檢測方法及裝置、存儲介質(zhì)、電子設(shè)備，該方法通過獲取待檢測圖像，該待檢測圖像具有周期性特征；利用周期性特征生成至少兩個周期尺寸，周期尺寸為周期性特征的像素寬度的整數(shù)倍；根據(jù)各個周期尺寸對待檢測圖像分別進(jìn)行預(yù)設(shè)特征的檢測，...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種應(yīng)用于半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測的X射線量測系統(tǒng)，包括：兼容的CD?SAXS量測系統(tǒng)和XRR量測系統(tǒng)、共用樣品臺、樣品臺、XRR運(yùn)算系統(tǒng)以及SAXS運(yùn)算系統(tǒng)，其中，CD?SAXS量測系統(tǒng)和XRR...