一種標記定位方法、標記定位裝置和存儲介質，該方法利用待測物體表面具有第一通用結構和第一標記，第一標記和第一通用結構之間具有固定的位置關系的特征，獲取包括第一通用結構的輪廓信息的模板圖像，在待測物體的檢測圖像上進行匹配，獲得檢測圖像上包含...

本發明公開了一種單晶半導體晶圓測量系統及方法，該系統包括第一光源系統、多自由度定位平臺、第一探測系統，第一光源系統發出第一X射線照射在多自由度定位平臺上的樣品的測量點上，第一探測系統探測第一X射線穿過樣品形成的散射圖像，其還包括：第二光...

本發明公開了一種晶圓二維翹曲程度測量裝置、方法及晶圓測量系統，該晶圓二維翹曲程度測量裝置包括第一運動平臺、圖像采集裝置、測距模塊和控制器，控制器根據圖像采集裝置定位的待測點控制第一運動平臺移動，直至待測點與測距模塊在晶圓表面的至少三個測...

本申請提供的大尺寸晶圓形貌測量裝置，光源出射的平行光束經分束后形成參考光和測試光，參考光經參考反射鏡反射后進入合束鏡，測試光經被測晶圓一側的表面反射后進入合束鏡，合束鏡對入射的參考光和測試光進行合束后再匯聚到探測器以生成干涉條紋圖像，控...

本申請實施例公開了一種硅片圖像的圖像增強方法、圖像處理設備以及計算機可讀存儲介質，用于提供一種硅片圖像的圖像增強方法，以可以提高硅片圖像的質量，減小圖像整體噪音及提高目標體清晰度。本申請實施例方法包括：獲得原始硅片圖像，將原始硅片圖像輸...

本發明公開了一種晶圓一維翹曲程度測量裝置、方法及晶圓測量系統，該晶圓一維翹曲程度測量裝置包括第一運動平臺、圖像采集裝置、測距模塊和控制器，控制器根據圖像采集裝置定位的待測點控制第一運動平臺移動，直至待測點與測距模塊在晶圓表面的兩個測量點...

本發明涉及一種多自由度運動系統及其操作方法，多自由度運動系統包括五自由度運動臺和預校準裝置，五自由度運動臺包括由下至上依次層疊設置的多個運動臺和鏤空結構，多個運動臺用于帶動晶圓沿X方向、Y方向和Z方向平動，以及繞X方向和Z方向轉動，鏤空...

本發明實施例提供了一種確定峰值的方法及相關裝置，用于提升獲取峰值數據的便捷性。本發明實施例方法包括：獲取待預測的時間幅值序列數據；將所述待預測的時間幅值序列數據執行卡爾曼濾波，以濾除所述待預測的時間幅值序列數據中的噪聲；利用尋峰算法在濾...

本申請實施例公開了一種圖像對位方法、計算機設備及計算機存儲介質。本申請實施例包括：計算機設備可確定目標圖像中每個像素對應的梯度，得到目標圖像對應的梯度圖像，根據梯度參考值對梯度圖像中每個像素進行灰度值二值化處理，得到二值化圖像，在二值化...

本發明提供了一種半導體晶圓缺陷檢測的方法、系統、電子設備及存儲介質，該方法為：獲取待檢測的半導體晶圓圖像；將半導體晶圓圖像輸入缺陷檢測模型進行特征提取，得到半導體晶圓圖像的特征向量；確定半導體晶圓圖像的特征向量與各個缺陷類別對應的歸一化...

本發明提供了一種半導體晶圓缺陷檢測的模型訓練方法、系統、電子設備及存儲介質，該方法為：基于訓練數據集確定各個缺陷類別被采樣到的概率，按照缺陷類別被采樣到的概率從訓練數據集中確定訓練數據流，并利用訓練數據流進行模型訓練以得到缺陷檢測模型，...

本發明實施例提供了一種缺陷檢測方法及相關裝置，用于根據缺陷相對于第一參考坐標系的第一位置坐標，快速獲取缺陷相對于第二參考坐標系的位置坐標。本發明實施例方法包括：獲取檢測對象中缺陷相對于第一參考坐標系的第一位置坐標，其中，第一參考坐標系設...

本發明提供了一種合成缺陷數據的方法、系統、電子設備及存儲介質，該方法為：利用特定噪聲生成缺陷掩碼；從紋理數據集中隨機選取紋理圖像；對缺陷掩碼和紋理圖像取交集，得到紋理局部圖像；基于缺陷掩碼、紋理局部圖像、無缺陷的半導體晶圓圖像，合成有缺...

本發明實施例提供了一種獲取檢測對象光學參數的方法，可以基于檢測對象的ncs光譜圖像自動生成該檢測對象的光學參數，從而提升了從ncs光譜圖像到光學參數輸出的便捷性。本發明實施例方法包括：獲取檢測對象的ncs光譜圖像，ncs光譜圖像表示檢測...

本發明涉及光學檢測技術領域，尤其涉及一種檢測光調制裝置以及照明系統，檢測光調制裝置用于設置在光源與衍射光學元件之間，光源發出的照明光依次經檢測光調制裝置和衍射光學元件調制后在待檢樣品上形成長條形光斑；其中，光源發出的照明光經檢測光調制裝...

本申請實施例公開了一種硅片位置補償方法、圖像處理設備以及計算機可讀存儲介質，用于提供一種硅片位置補償方法，以可以通過補償向量值將硅片的位置糾正到理想位置。本申請實施例方法包括：獲得原始硅片圖像，將所述原始硅片圖像輸入預先訓練的硅片位置補...

本發明實施例提供了一種確定峰值的方法及相關裝置，用于在時間幅值序列數據中，通過神經網絡模型的方式，確定時間幅值序列數據中的峰值，從而提升了確定峰值信號的便捷性。本發明實施例方法包括：獲取待預測的時間幅值序列數據；將所述待預測的時間幅值序...

本申請實施例公開了一種半導體量測檢測機臺的溫度控制方法、溫度控制設備以及計算機可讀存儲介質，用于在提高半導體量測檢測機臺的溫度控制的精確度的情況下，進行半導體量測檢測機臺的溫度控制。本申請實施例方法包括：將當前溫度和目標溫度輸入溫度PI...

本發明公開了一種級聯式X射線光源系統及小角X射線散射量測裝置，該級聯式X射線光源系統包括：多個發射X射線的光源模塊，多個光源模塊發出的X射線光路共軸，每個光源模塊均包括X射線光學器件，X射線光學器件設置于X射線光路所在軸線上，X射線光學...

本申請實施例公開了一種die圖像灰度矯正方法、計算機設備及計算機存儲介質。本申請實施例包括：分別根據目標die與參考die之間每一對相同行的像素的灰度值確定第一縮放系數，獲得m個第一縮放系數，分別根據目標die與參考die之間每一對相同...