本發(fā)明公開了一種夾具結(jié)構(gòu)、定位工裝及檢測(cè)設(shè)備，夾具結(jié)構(gòu)包括：卡塊，卡塊用于卡接待測(cè)產(chǎn)品的端面，且卡塊的側(cè)壁上設(shè)置有傾斜面；推動(dòng)塊，推動(dòng)塊與傾斜面抵接；第一驅(qū)動(dòng)件，第一驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)推動(dòng)塊向靠近卡塊的方向移動(dòng)，以推動(dòng)推動(dòng)塊相對(duì)于傾斜面滑移，從...

本發(fā)明公開了一種承載裝置。將用于吸附工件的承載盤設(shè)置成中心區(qū)和邊緣區(qū)，并通過在承載盤的周側(cè)設(shè)置外部輔助氣路，并使外部輔助氣路中的一組氣路連通至中心區(qū)，以及一組氣路連通至邊緣區(qū)。通過上述公開的承載裝置，工作人員可根據(jù)工件的尺寸和類型，通過...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)和由其構(gòu)成的檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)包括包括第一照明子系統(tǒng)、第二照明子系統(tǒng)、合束元件、第一掩模版、第二掩模版、準(zhǔn)直鏡組、物鏡、第一分束鏡、第二分束鏡、移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一探測(cè)子系統(tǒng)和...

一種光學(xué)裝置及光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)，其中，光學(xué)裝置包括第一鏡筒以及布置于鏡筒內(nèi)的第一光學(xué)元件、第二光學(xué)元件、第一鏡座和第二鏡座，第一光學(xué)元件與第一鏡筒連接，第二光學(xué)元件設(shè)置于第一鏡座，第一鏡座設(shè)置于第二鏡座；第二鏡座與第一鏡筒連接，以隔離第一鏡...

本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種濾波結(jié)構(gòu)、光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)及光學(xué)檢測(cè)方法，濾波結(jié)構(gòu)包括：第一濾波組件，所述第一濾波組件用于對(duì)待檢測(cè)對(duì)象中周期排布的結(jié)構(gòu)單元的次級(jí)衍射信號(hào)進(jìn)行濾波；其中，所述第一濾波組件包括平行設(shè)置的多個(gè)擋光元件，所述...

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光聲探測(cè)裝置，用于通過模式切換裝置在同一探測(cè)裝置中實(shí)現(xiàn)反射探測(cè)模式和差分探測(cè)模式的切換，也即在同一探測(cè)裝置中實(shí)現(xiàn)了兩種測(cè)量模式。本發(fā)明實(shí)施例中的光聲探測(cè)裝置，包括：反射模式探測(cè)裝置，用于接收探測(cè)光束在待測(cè)對(duì)象的反射...

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種濾波結(jié)構(gòu)、光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)及光學(xué)檢測(cè)方法，用于提升獲取待檢測(cè)對(duì)象中缺陷信號(hào)的準(zhǔn)確性。本發(fā)明實(shí)施例中的濾波結(jié)構(gòu)，包括：第一濾波結(jié)構(gòu)，用于對(duì)待檢測(cè)對(duì)象中周期排布的結(jié)構(gòu)單元的主衍射信號(hào)進(jìn)行濾波；和第二濾波結(jié)構(gòu)，用于對(duì)待檢測(cè)對(duì)...

一種光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，用于檢測(cè)待測(cè)物表面的特征部和基準(zhǔn)部之間的測(cè)量高度差，方法包括：獲取待測(cè)物的檢測(cè)圖像；獲取檢測(cè)圖像的第一感興趣區(qū)域和第二感興趣區(qū)域，第一感興趣區(qū)域包括特征部的圖像信息，第二感興趣區(qū)域包括基準(zhǔn)部的圖像...

本發(fā)明涉及光路系統(tǒng)的防護(hù)，提供了一種光路系統(tǒng)及光學(xué)量測(cè)設(shè)備。光路系統(tǒng)，包括：光源模塊和/或光探測(cè)模塊；光束處理裝置，所述光束處理裝置用于對(duì)通過的光束進(jìn)行處理；安裝基體，所述安裝基體具有安裝腔，至少一個(gè)所述光束處理裝置設(shè)置在所述安裝腔內(nèi)，...

本申請(qǐng)實(shí)施例公開了一種圖像檢測(cè)方法、圖像檢測(cè)裝置以及存儲(chǔ)介質(zhì)，用于圖像檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)中，獲取預(yù)設(shè)物體表面任意兩個(gè)待測(cè)區(qū)域的第一灰度圖像和第二灰度圖像；獲取第一灰度圖像與第二灰度圖像之間的灰度差值圖像；將灰度差值圖像進(jìn)行中值濾波，得...

本發(fā)明公開了一種用于X射線檢測(cè)設(shè)備的開關(guān)裝置及X射線檢測(cè)設(shè)備，該開關(guān)裝置包括：管道組件，管道組件包括設(shè)置于兩端的進(jìn)光口和出光口；X射線屏蔽件，X射線屏蔽件套設(shè)于管道組件內(nèi)，X射線屏蔽件的中心處設(shè)置有貫穿X射線屏蔽件的通孔；擋片組件，擋片...

一種光學(xué)檢測(cè)方法及系統(tǒng)、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，用于對(duì)待測(cè)物的特征點(diǎn)的高度進(jìn)行檢測(cè)，方法包括：根據(jù)待測(cè)物的特征點(diǎn)的預(yù)估高度獲取探測(cè)器靶面的感興趣區(qū)域；利用探測(cè)器對(duì)待測(cè)物進(jìn)行成像，獲取特征點(diǎn)在探測(cè)器靶面的感興趣區(qū)域的成像光斑的位置；根據(jù)感興趣區(qū)域...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體量測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種3D?NAND量測(cè)系統(tǒng)及方法，在現(xiàn)有的CD?SAXS量測(cè)光路中，基于Talbot效應(yīng)或分?jǐn)?shù)Talbot效應(yīng)設(shè)計(jì)用于增強(qiáng)記憶孔結(jié)構(gòu)散射信號(hào)的相位光柵和用于增強(qiáng)深槽結(jié)構(gòu)散射信號(hào)的相位光柵，并根據(jù)量測(cè)...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體量測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種量測(cè)3D?NAND中深槽蝕刻結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)及方法，旨在于對(duì)傳統(tǒng)CD?SAXS量測(cè)單元進(jìn)行改進(jìn)，在探測(cè)光入射至被測(cè)樣品之前的光路上設(shè)計(jì)了相位光柵，基于Talbot效應(yīng)和分?jǐn)?shù)Talbot效應(yīng)，相位光柵與...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種勻光棒的裝調(diào)裝置及應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測(cè)的照明光路，其中，裝調(diào)裝置包括非對(duì)稱設(shè)計(jì)的上夾持件和下夾持件，下夾持件通過容納槽底部的弧狀凸起點(diǎn)對(duì)勻光棒下表面進(jìn)行支撐，勻光棒的上表面通過壓簧進(jìn)行支撐，壓簧的中...

一種轉(zhuǎn)換關(guān)系獲取方法、檢測(cè)方法和相關(guān)設(shè)備，所述轉(zhuǎn)換關(guān)系獲取方法包括：提供探測(cè)部件，探測(cè)部件能夠繞預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；提供標(biāo)定物，標(biāo)定物具有特征點(diǎn)；在探測(cè)部件繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)之前，通過探測(cè)部件對(duì)標(biāo)定物進(jìn)行檢測(cè)，獲取特征點(diǎn)在第一坐標(biāo)系下的第一...

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種校準(zhǔn)系統(tǒng)及校準(zhǔn)方法，校準(zhǔn)系統(tǒng)包括檢測(cè)裝置、分束器、第一光學(xué)元件、第二光學(xué)元件、第三光學(xué)元件、第一相機(jī)和第二相機(jī)，第二光學(xué)元件與測(cè)量物鏡用于獲取測(cè)量光束，并根據(jù)測(cè)量光束將校準(zhǔn)標(biāo)記成像至第一相機(jī)以形成第一圖像；第三光學(xué)...

本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例提供一種光學(xué)測(cè)量方法、裝置、系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，測(cè)量方法包括：參數(shù)確定步驟，根據(jù)待測(cè)物的尺寸參數(shù)確定參數(shù)信息；其中，參數(shù)信息包括目標(biāo)干涉模式和目標(biāo)光闌直徑；干涉模式選自測(cè)量倍率互不相同的多種干涉模式；測(cè)量結(jié)果獲取步驟，...

本發(fā)明公開了一種涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種圖像處理方法、裝置、設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，通過接收待測(cè)物的待測(cè)圖像；將所述待測(cè)圖像與預(yù)存儲(chǔ)的模板圖像進(jìn)行模板匹配，確定所述待測(cè)圖像中的初始匹配區(qū)域及對(duì)應(yīng)的匹配關(guān)聯(lián)度；將所述匹配關(guān)聯(lián)...

本發(fā)明公開了一種吸盤、承載裝置及吸附方法，其中吸盤包括本體，本體具有吸附面、氣道和排氣孔，吸附面上設(shè)有至少兩種橫截面積不同的抽氣孔，橫截面積較大的抽氣孔相較橫截面積較小的抽氣孔更靠近于吸附面的中心，抽氣孔通過氣道與排氣孔連通，抽氣孔用于...