本申請涉及半導體領域，具體涉及一種檢測方法及系統。該方法及系統包括：對采集的溝槽圖像進行預處理；對預處理后的溝槽圖像進行特征處理，得到融合后的特征；對融合后的特征進行分割，得到溝槽分割圖像；對溝槽分割圖像的溝槽區域的灰度值進行統計分析，...

本發明涉及電子束掃描技術領域，尤其涉及一種掃描系統以及電子束控制方法，掃描系統包括：集成式電磁透鏡結構，所述集成式電磁透鏡結構包括相間隔的主體部和環形極靴部，所述環形極靴部與所述主體部電絕緣且磁路連續；所述環形極靴部包括多個偏轉組，各偏...

一種圖像分類模型的增量訓練方法和圖像分類方法，其中增量訓練方法用于對初始的圖像分類模型進行增量訓練，增量訓練包括多個訓練階段，每個訓練階段包括：獲取訓練圖像集，訓練圖像集包括歷史訓練圖像集和新增訓練圖像集；使用訓練圖像集對圖像分類模型進...

本申請提供一種聚焦方法及聚焦系統，該聚焦方法應用于聚焦系統，獲取待測目標對應的特征干涉光譜，特征干涉光譜包括多個參考干涉光譜，不同參考干涉光譜對應待測樣品偏離測量物鏡的前焦面的不同離焦量，參考干涉光譜用于標識各個波長對應的光譜強度；在待...

本申請實施例提供一種控制參數整定方法、檢測系統及其控制方法、存儲介質，通過在檢測到待測件固定于載物臺后獲取多軸運動機臺的初始控制參數，基于該參數完成至少一次移動過程，計算移動過程中靜態抖動誤差和動態跟隨誤差，再通過迭代調整控制參數直至誤...

本申請公開了一種模型訓練方法及程序產品，方法包括：確定第一指示信息，第一指示信息用于指示第一人工智能AI模型的結構的復雜度，第一指示信息包括用于訓練第一AI模型的第一訓練數據的一項或多項數據指標；根據第一指示信息，確定針對第一指示信息的...

本申請公開了一種檢測系統，屬于晶圓檢測領域。該檢測系統包括：第一光源組件用于產生第一檢測光束以形成第一檢測光斑用于明場檢測；第二光源組件用于產生第二檢測光束以形成第二檢測光斑用于暗場檢測；在明場檢測中，被測物在第一檢測光斑作用下產生法向...

本申請公開了一種用于兩組晶圓缺陷點坐標的匹配方法及相關產品，可應用于半導體技術領域，該方法包括：獲取第一索引數組和第二索引數組；第一索引數組對應第一晶圓的一組缺陷點測量結果，第二索引數組對應第一晶圓的另一組缺陷點測量結果；基于二分法從第...

本申請公開了一種光強檢測系統、光強檢測方法和存儲介質，屬于半導體檢測技術領域。該光強檢測系統包括：光電轉換模塊，用于將光信號轉換為電信號。放大電路組，放大電路組包括并行的放大倍率不同的多個放大電路，其用于根據自身對應的放大倍率對電信號進...

本發明涉及芯片量測技術領域，尤其涉及一種待測樣品的量測系統及方法，包括承載待測樣品的旋轉工件臺、向待測樣品發射X射線的X射線源，以及接受X射線信號的探測器；本發明通過共用一個X射線源以及X射線源與探測器配合的設置，實現T?SAXS量測和...

本發明公開了一種集成電路器件的結構量測方法、裝置、設備及存儲介質，其中方法包括：獲取待測樣品在預設波長范圍內的初始測量光譜信號；基于預設方式將預設波長范圍劃分為多個波長段；分析每個波長段的光譜變化頻率，確定每個波長段對應的采樣頻率；根據...

本發明公開了一種雙檢測通道下晶圓缺陷數據對齊方法、設備及存儲介質，其中方法包括：分別獲取兩個檢測通道下晶圓圖像的缺陷掩膜并取并集，得到綜合掩膜；對綜合掩膜進行區域連通性分析，得到連通域及連通域參數信息；基于連通域參數信息分別在兩個檢測通...

本發明實施例公開了一種光學聚焦裝置，用于提升待檢測對象的單點測試時間。本發明實施例中的光學聚焦裝置包括：第一照明光源，用于提供照明光束，以使得待檢測對象在照明光束的照射作用下產生信號光束；物鏡，用于接收信號光束并對待檢測對象進行成像放大...

本申請實施例提供了一種照明系統及檢測系統，用于提升待檢測對象的檢測視場的照明質量。本申請實施例中照明系統包括：呈現預設形狀的照明光源，用于通過臨界照明的方式成像至待檢測對象表面；與照明光源同軸設置的轉折棱鏡，用于偏折照明光源所發射的照明...

本申請公開一種基于深度學習的缺陷檢測系統、物鏡像差補償方法和缺陷檢測方法。若啟動像差補償模式，運用預先訓練好的神經網絡基于物鏡物面上的像差校準板的圖像，預測光調制器件的目標面型。由于目標面型是利用神經網絡預測出的，且神經網絡是基于系統在...

本發明公開光探測裝置及光學設備，包括相裝配的第一框架與光收集器、相裝配的第二框架與光探測器以及第一調控組件，其中，光收集器用于收集來自于待測對象的信號光；光探測器用于接收光收集器傳輸的信號光；第一調控組件與第一框架以及第二框架相連接，第...

本申請屬于半導體檢測技術領域，公開了一種光學元件切換裝置，其包括減振支架，用于安裝至預設載體上，減振支架具有用于安裝至預設載體上的減振組件；切換組件，安裝于減振支架，切換組件包括驅動件和用于布設一個或多個光學元件的座體，座體連接于驅動件...

本申請實施例公開了設備前端硬件的控制方法及控制系統，用于支持不同品牌不同硬件類型的EFEM硬件之間的自由組合、支持不同品牌不同硬件類型的EFEM硬件的快速切換，以提升控制系統對設備前端硬件的適應能力。本申請實施例方法包括：獲取半導體設備...

本發明實施例提供了一種具有中繼變倍的顯微成像系統，包括：由物方到像方分別同軸設置的顯微物鏡、中繼系統、光闌和變倍系統，其中：顯微物鏡的焦距范圍包括[3.5mm,10mm]，用于將待測對象的反射光和/或散射光進行準直出射；中繼系統，包括第...

一種顯微鏡物鏡及顯微光學系統、檢測裝置。物鏡包括：從物方至像方依次同光軸設置的彎月透鏡、球差透鏡組、色差透鏡組、畸變透鏡組、像差透鏡組。彎月透鏡用于將從物方發出的光束收集入物鏡，并對光束進行整形；球差透鏡組用于消除彎月透鏡產生的球差；色...