本申請?zhí)峁┮环N芯片標記檢測系統(tǒng)及芯片標記檢測方法，本申請基于預設路徑控制承載晶圓的載物臺在平面內(nèi)移動，在移動過程中，通過位于晶圓第一側(cè)的第一光路，對晶圓中的定位標志進行光學檢測得到第一圖像，以及通過位于晶圓第二側(cè)的第二光路對晶圓中的芯片...

本申請涉及光學檢測技術(shù)領域，具體涉及一種光學檢測設備和光學檢測方法，照明模塊有多個環(huán)形光帶，環(huán)形光帶包括多段環(huán)繞被測物間隔布置的發(fā)光區(qū)，照明模塊具有多種照明模式，不同照明模式下產(chǎn)生檢測光的發(fā)光區(qū)的數(shù)量、位置和/或朝向不同，控制器能夠控制...

本申請公開了一種測量裝置及增大翹曲測量范圍的方法，通過光源發(fā)射光束射向參考鏡與待測件，使得光束經(jīng)參考鏡反射形成的參考光以及光束經(jīng)待測件反射形成的測量光相互干涉形成第一像。多次調(diào)節(jié)偏移單元內(nèi)偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)角度，將第一像投影至成像單元，獲取多...

本公開提供了一種面輪廓度的檢測方法、檢測設備及存儲介質(zhì)，屬于檢測技術(shù)領域，檢測方法包括獲取待測產(chǎn)品的外形圖像和理論模型；根據(jù)外形圖像，確定待測產(chǎn)品的約束區(qū)域；對待測產(chǎn)品的曲面進行光學掃描，獲得三維點云數(shù)據(jù)，對三維點云數(shù)據(jù)進行篩選處理，得...

本申請公開了一種檢測系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)的控制方法及存儲介質(zhì)，屬于檢測技術(shù)領域。該檢測系統(tǒng)包括：圖像數(shù)據(jù)采集單元，用于采集圖像數(shù)據(jù)。光譜數(shù)據(jù)采集單元，用于采集光譜數(shù)據(jù)。處理單元，包括信號處理模塊和控制模塊；信號處理模塊用于接收驅(qū)動單元發(fā)送的第...

本申請公開一種膜層測量方法、計算機可讀存儲介質(zhì)，通過根據(jù)各層待測膜層的膜層厚度估計值和聲波傳播速度，預測泵浦光在待測薄膜表面產(chǎn)生的超聲波在待測薄膜內(nèi)傳播，被待測薄膜內(nèi)待測膜層的界面反射后返回待測薄膜表面的時間和超聲傳播路徑，得到預測返回...

本申請公開了一種采樣點的確定方法、測量方法、測量系統(tǒng)及存儲介質(zhì)，屬于光學測量技術(shù)領域。所述方法包括：確定目標設備的系統(tǒng)模型；基于所述系統(tǒng)模型確定系統(tǒng)誤差模型；基于所述系統(tǒng)誤差模型確定第一目標函數(shù)，所述第一目標函數(shù)用于對所述目標設備的系統(tǒng)...

一種光路裝置、光學檢測方法以及檢測設備，該光路裝置包括側(cè)向入射光路組件以及透鏡組件，該側(cè)向入射光路組件包括檢測光源以及擴束鏡組，檢測光源提供入射光束，擴束鏡組用于對入射光束在第一方向展開和整形形成平行的第一方向檢測光束以及對在第二方向展...

本申請實施例公開了一種動態(tài)空間濾波器，包括：多個具有預定形狀的掩模，用于實現(xiàn)特定的空間濾波功能；X軸運動機構(gòu)，掩模聯(lián)接于X軸運動機構(gòu)的運動輸出端；X軸運動機構(gòu)用于驅(qū)動掩模在X軸位移；Y軸運動機構(gòu)，X軸運動機構(gòu)的運動輸出端承載于Y軸運動機...

本申請實施例提供一種光闌及其制備方法，該光闌包括依次設置的金屬膜層、硅基底、硬掩膜層以及光闌孔，其中，硅基底具有第一面和相對的第二面，第一面具有第一孔結(jié)構(gòu)，第二面具有第二孔結(jié)構(gòu)，第二孔結(jié)構(gòu)在第二面上的長度由帶電粒子束的束斑直徑確定；金屬...

本申請?zhí)峁┑木A面型測量設備及方法，第一干涉儀獲取測量腔空腔狀態(tài)下的第一空腔干涉圖像并確定第一空腔檢測結(jié)果，第一干涉儀獲取測量腔中固定有第一樣品狀態(tài)下的第一干涉圖像并確定第一干涉檢測結(jié)果，第一干涉儀獲取測量腔中固定有第二樣品狀態(tài)下的第三...

本申請實施例提供一種晶圓圖像匹配方法、裝置和計算機存儲介質(zhì)，該方法首先對獲取的待測與模板圖像進行下采樣，在低分辨率空間快速計算初始匹配位置以大幅縮減搜索范圍；進而利用預先訓練的神經(jīng)網(wǎng)絡對低分辨率待測圖像進行上采樣，重建出細節(jié)增強的高分辨...

本申請涉及光學檢測技術(shù)領域，具體涉及一種干涉測量方法和干涉測量系統(tǒng)。由于采用待測物和標準模塊同時進行干涉測量，在實現(xiàn)獲取待測物目標參數(shù)的數(shù)據(jù)同時，還能夠利用標準模塊的干涉測量數(shù)據(jù)監(jiān)控干涉儀系統(tǒng)的誤差，這樣在測量待測物時不需要反復進行標定...

本申請公開了一種物鏡調(diào)節(jié)方法及套刻測量方法，通過移動補償透鏡到不同位置，并測量補償透鏡在不同位置時，經(jīng)物鏡對第一晶圓的標記進行成像時像的清晰度。在滿足預設條件時停止移動補償透鏡，并獲取補償透鏡的位置，使得像的清晰度最大。獲取第一晶圓的厚...

本申請?zhí)峁┑陌祱鰴z測裝置，屬于半導體檢測技術(shù)領域，通過橢圓形環(huán)狀的出光口及特定光斑排布方式，在待測樣品表面形成高度均勻的橢圓形照明區(qū)域，有效消除了傳統(tǒng)環(huán)形照明可能存在的亮度不均或暗區(qū)問題，為后續(xù)成像提供了穩(wěn)定、一致的照明條件，顯著提升了...

本申請?zhí)峁┑墓饴暷ず窳繙y系統(tǒng)及方法，通過在量測系統(tǒng)中引入激光偏振調(diào)節(jié)器件或者晶圓旋轉(zhuǎn)組件，根據(jù)量測數(shù)據(jù)信噪比調(diào)節(jié)飛秒脈沖激光的偏振態(tài)或者晶圓角度，以消除飛秒脈沖激光的偏振方向與晶圓晶格取向失配對量測穩(wěn)定性的影響，提升了量測信號的信噪比。

本發(fā)明公開了一種用于晶圓表面缺陷檢測的成像裝置，其包括顯微物鏡和相機，顯微物鏡和相機的感光面均傾斜設置以致顯微物鏡的物面和感光面共軛；顯微物鏡包括沿光軸依次排列設置的第一物鏡組、光闌、第二物鏡組，第一物鏡組和第二物鏡組關于光闌對稱分布，...

本申請?zhí)峁┮环N晶圓缺陷檢測方法和裝置，屬于激光檢測的技術(shù)領域。該方法包括：生成照明光；將照明光照射到晶圓的表面形成光斑；在一個或多個探測通道上探測晶圓的表面的散射光，一個或多個探測通道中的第一探測通道的光軸在晶圓的表面的投影與照明光的路...

本申請公開了一種光學測量方法以及光學成像系統(tǒng)，涉及光學成像技術(shù)領域，光學測量方法包括：獲取第一圖像和第二圖像，第一圖像包括標準量子點樣品中量子點所產(chǎn)生的熒光信息，第二圖像包括待檢測晶圓中的套刻誤差信息；基于熒光信息，確定系統(tǒng)像差；基于系...

本申請?zhí)峁┑木A面型測量設備及測量方法，所述第一干涉儀獲取所述測量腔空腔狀態(tài)下的第一空腔干涉圖像，第一空腔干涉圖像確定第一空腔檢測結(jié)果，所述第一干涉儀和所述第二干涉儀同時出射光，所述第一干涉儀獲取所述測量腔中固定有所述第一樣品狀態(tài)下的第...