本申請(qǐng)公開(kāi)了一種圖像測(cè)量系統(tǒng)，包括輸入待測(cè)圖像的輸入裝置，以及集成有預(yù)處理單元、形貌擬合單元和角度計(jì)算單元的處理裝置；預(yù)處理單元用于通過(guò)并行濾波架構(gòu)對(duì)待測(cè)圖像分別進(jìn)行二維卷積濾波和滑動(dòng)窗口中值濾波，得到第一圖像；形貌擬合單元用于通過(guò)最小...

本申請(qǐng)公開(kāi)了掃描電子顯微鏡對(duì)中調(diào)節(jié)方法及相關(guān)裝置，通過(guò)調(diào)節(jié)第一偏擺線圈，使電子束經(jīng)過(guò)固定光闌后掃描待測(cè)物并形成第一圖像，在第一圖像中目標(biāo)電子束光斑位于視野中心的前提下，通過(guò)調(diào)節(jié)聚光鏡的機(jī)械位置，使經(jīng)過(guò)聚光鏡后的目標(biāo)電子束光斑保持在視野中...

一種旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器及光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，其中，旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器包括中空電機(jī)、轉(zhuǎn)接環(huán)、彈性緊固件和安放光學(xué)元件的安裝座，安裝座設(shè)有第一球面貼合部和第一法蘭部，轉(zhuǎn)接環(huán)設(shè)有第二球面貼合部和第二法蘭部，第一球面貼合部與第二球面貼合部相對(duì)并貼合連接，彈性緊固件連...

本技術(shù)提出一種兩段式緩存上料裝置，具體涉及傳輸設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,所述兩段式緩存上料裝置包括至少兩個(gè)依次排列設(shè)置的導(dǎo)向輸送段，每個(gè)導(dǎo)向輸送段包括四個(gè)并排排列的緩存輸送裝置，在進(jìn)行輸送工件時(shí)，兩個(gè)緩存輸送裝置中一個(gè)緩存輸送裝置根據(jù)另一個(gè)對(duì)應(yīng)的緩...

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N待測(cè)點(diǎn)的位置確定方法及光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)，該方法通過(guò)確定位于待測(cè)產(chǎn)品上的待測(cè)點(diǎn)的初始法向量，基于空間法向量、第一轉(zhuǎn)軸的第一初始角度和第二轉(zhuǎn)軸的第二初始角度，確定目標(biāo)法向量對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸的第一角度和第二轉(zhuǎn)軸的第二角度；根...

本申請(qǐng)公開(kāi)一種電子顯微鏡及其對(duì)中偏差校正方法、計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中的對(duì)中偏差校正方法包括：確定像散線圈的激勵(lì)電流，根據(jù)像散線圈的激勵(lì)電流以及像散線圈的激勵(lì)電流與像散對(duì)中補(bǔ)償電流之間的函數(shù)關(guān)系，獲得像散對(duì)中補(bǔ)償電流，其中，像散對(duì)中補(bǔ)償...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種探測(cè)系統(tǒng)性能檢測(cè)方法、裝置、探測(cè)系統(tǒng)及存儲(chǔ)介質(zhì)，屬于檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括：在阻擋電子束的情況下，獲取測(cè)量圖像的第一灰度數(shù)據(jù)；在電子束照射參考樣本的情況下，控制所述電子束的電子束流按照束流值序列中的多個(gè)束流值進(jìn)行改變...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種探測(cè)系統(tǒng)性能檢測(cè)方法、裝置、探測(cè)系統(tǒng)及存儲(chǔ)介質(zhì)，屬于檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括：在阻擋電子束的情況下，控制探測(cè)系統(tǒng)中光電倍增管的電壓按照電壓值序列中的多個(gè)電壓值進(jìn)行改變，并確定電壓值序列中每個(gè)電壓值分別對(duì)應(yīng)的測(cè)量圖像的第一...

本發(fā)明涉及一種聚焦偏移標(biāo)定方法、系統(tǒng)以及存儲(chǔ)介質(zhì)，該方法包括：以移相器步長(zhǎng)為單位獲取待檢測(cè)物上目標(biāo)位置的Linnik干涉信號(hào)圖像，Linnik干涉信號(hào)圖像包括Linnik曲線；獲取跟隨該步長(zhǎng)采集的序列離焦干涉圖像；計(jì)算序列離焦干涉圖像的...

本發(fā)明公開(kāi)一種膜層測(cè)量裝置和方法，該方法包括：采用泵浦光和探測(cè)光照射待測(cè)樣品，并以第一調(diào)制頻率對(duì)泵浦光進(jìn)行調(diào)制，且調(diào)節(jié)泵浦光的傳播方向以第三調(diào)制頻率變化和/或調(diào)節(jié)探測(cè)光的傳播方向以第四調(diào)制頻率變化，使得待測(cè)樣品表面的泵浦光光斑和探測(cè)光光...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種數(shù)據(jù)處理方法和相關(guān)裝置，涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。包括：獲取待處理數(shù)據(jù)；對(duì)待處理數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到多組聚類(lèi)塊匹配對(duì)；對(duì)聚類(lèi)塊匹配對(duì)進(jìn)行處理，得到多組特征點(diǎn)匹配對(duì)；將特征點(diǎn)匹配對(duì)中第一特征點(diǎn)的絕對(duì)坐標(biāo)，作為該特征點(diǎn)匹配對(duì)中第二...

公開(kāi)了一種誤差補(bǔ)償修正方法及光學(xué)量測(cè)設(shè)備，通過(guò)標(biāo)定件上的多個(gè)參照點(diǎn)的標(biāo)定過(guò)程得到參照局部坐標(biāo)系，每個(gè)參照點(diǎn)對(duì)應(yīng)一個(gè)實(shí)測(cè)轉(zhuǎn)換坐標(biāo)以及誤差向量；獲取待測(cè)物體上一個(gè)或多個(gè)待測(cè)點(diǎn)的實(shí)測(cè)坐標(biāo)，結(jié)合參照局部坐標(biāo)系，得到每個(gè)待測(cè)點(diǎn)的實(shí)測(cè)轉(zhuǎn)換坐標(biāo)；基于...

本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N光學(xué)系統(tǒng)及方法，通過(guò)設(shè)置于入射光照射至待檢測(cè)晶圓邊緣的光路中的照明數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)裝置，根據(jù)待檢測(cè)晶圓邊緣上的感興趣區(qū)域調(diào)整照明數(shù)值孔徑以實(shí)現(xiàn)分辨率的調(diào)整，該技術(shù)方案通過(guò)引入可調(diào)節(jié)的孔徑裝置，通過(guò)孔徑裝置控制照明數(shù)值孔徑，利...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種坐標(biāo)校準(zhǔn)方法及相關(guān)產(chǎn)品，可應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該坐標(biāo)校準(zhǔn)方法包括：確定待校準(zhǔn)待測(cè)物上的待校準(zhǔn)坐標(biāo)點(diǎn)；在原始坐標(biāo)集中確定與所述待校準(zhǔn)坐標(biāo)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的目標(biāo)鄰域點(diǎn)；基于標(biāo)定參數(shù)確定與所述目標(biāo)鄰域點(diǎn)對(duì)應(yīng)的目標(biāo)絕對(duì)坐標(biāo)；所述標(biāo)定參數(shù)...

本申請(qǐng)涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種照明調(diào)節(jié)裝置和光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，照明調(diào)節(jié)裝置包括照明引導(dǎo)件和調(diào)節(jié)組件，照明引導(dǎo)件利用通光路徑引導(dǎo)照明光束以?xún)A斜角度出射至待測(cè)物體，調(diào)節(jié)組件連接在設(shè)備主體與照明引導(dǎo)件之間，以帶動(dòng)照明引導(dǎo)件在第一調(diào)節(jié)路徑...

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種檢測(cè)裝置，用于提升小尺寸缺陷的相對(duì)亮度，從而提升小尺寸缺陷的檢測(cè)信噪比。本申請(qǐng)實(shí)施例中的檢測(cè)裝置，包括：至少一個(gè)檢測(cè)模塊，檢測(cè)模塊包括線型光源，線型光源的出射光線與待檢測(cè)對(duì)象的法線之間成第一角度，第一角度包括60°...

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N晶圓對(duì)準(zhǔn)方法和相關(guān)裝置，基于晶圓的中心位置和晶圓中缺口的預(yù)設(shè)朝向，確定缺口在晶圓中所處的目標(biāo)區(qū)域，對(duì)目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行圖像采集，得到目標(biāo)區(qū)域的目標(biāo)圖像，通過(guò)最小二乘法對(duì)目標(biāo)圖像中的缺口邊緣點(diǎn)集進(jìn)行曲線擬合，得到二次擬合曲線，基于...

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓承載機(jī)構(gòu)，包括：設(shè)置在第一水平面上且沿第一預(yù)設(shè)圓形的周向間隔排布的第一夾持組件和多個(gè)第一支撐塊，第一夾持組件的兩側(cè)設(shè)置有第一支撐塊，第一夾持組件朝向第一預(yù)設(shè)圓形圓心的一端可伸縮；設(shè)置在第二水...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種套刻標(biāo)記定位方法及套刻測(cè)量設(shè)備，通過(guò)第二定位算法，根據(jù)套刻標(biāo)記的初步中心位置，從檢測(cè)圖像中套刻標(biāo)記對(duì)應(yīng)的圖像區(qū)域中獲取一對(duì)或多對(duì)目標(biāo)子區(qū)域。根據(jù)每對(duì)目標(biāo)子區(qū)域的圖像特征進(jìn)行相關(guān)性的計(jì)算得到相關(guān)性的結(jié)果，根據(jù)所述相關(guān)性的結(jié)...

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N電子束著陸角度的修正方法、半導(dǎo)體量測(cè)系統(tǒng)和存儲(chǔ)介質(zhì)，該修正方法包括分別在待測(cè)樣品處于第一旋轉(zhuǎn)角度和相差180°的第二旋轉(zhuǎn)角度時(shí)，控制電子束按照第一預(yù)設(shè)方向掃描所述待測(cè)樣品上的第一測(cè)量特征，并根據(jù)掃描結(jié)果分別獲取該測(cè)量特征的...