本發明涉及光聲測量技術領域，具體提供一種光聲檢測系統及激光光斑校準方法，在現有膜厚光聲測量裝置中增設顯微鏡等光學器件對光路不同位置處的光斑特征參數進行數據采集，根據光斑影像獲取泵浦光和探測光的光斑抖動幅值和抖動頻率，通過主動調節光束調節...

本申請公開了一種掃描電子顯微鏡系統及消磁調試方法，所述掃描電子顯微鏡系統包括：掃描電子顯微鏡主體、主動消磁系統以及位于樣品腔體內的樣品臺；所述掃描電子顯微鏡主體與所述樣品腔體的上蓋固定連接，使得所述樣品腔體內部形成密閉空間；在所述樣品腔...

本申請公開了一種掃描電子顯微鏡，包括：掃描電子顯微鏡主體以及位于樣品腔體內的樣品臺；所述掃描電子顯微鏡主體與所述樣品腔體的上蓋固定連接，使得所述樣品腔體內部形成密閉空間；在所述樣品腔體的上蓋上設有閉環的凹槽；其中，所述凹槽位于所述樣品腔...

本發明涉及半導體測量技術領域，尤其涉及一種晶圓測量方法及夾持裝置，晶圓測量方法包括：夾持裝置夾持晶圓的邊緣，以使晶圓以第一狀態固定在工位上，處于第一狀態的晶圓的厚度方向平行于水平方向，測量晶圓的面型，以及測量晶圓表面上的第一預設位置與夾...

本申請提供一種待測目標角度調整方法、裝置、設備及介質，從晶圓確定待測目標和待測目標的起始點，在待測目標中基于起始點確定待測點；在待測目標中，確定3個數據檢測點的三維坐標，待測點位于3個數據檢測點圍成的三角形區域中；通過三角函數關系基于第...

本申請涉及精密量測技術領域，具體公開了一種燈絲觀測方法、裝置及電子設備，該方法包括：通過光學成像模塊獲取包括燈絲的輪廓信息的燈絲光學圖像；通過X光成像模塊獲取反映燈絲結構的燈絲二維X光圖像和燈絲三維X光圖像；基于燈絲光學圖像、燈絲二維X...

本申請提供一種晶圓缺陷檢索方法及裝置、存儲介質，該方法包括：獲取待檢索晶圓圖像及相關文本信息，待檢索晶圓圖像包括缺陷特征，待檢索晶圓圖像的相關文本信息包括圖像描述文本；將待檢索晶圓圖像及相關文本信息輸入預先訓練得到的多模態特征提取模型，...

本申請提供一種待測目標角度調整方法、裝置、設備及介質，從晶圓確定待測目標，以及待測目標的起始點，在待測目標中，基于起始點，確定待測點；在待測目標中，確定以待測點為中心的n個數據檢測點的三維坐標，n個數據檢測點用于構成包圍待測點的類圓形，...

本申請提供一種待測目標角度調整方法、裝置、設備及介質，從晶圓確定待測目標，以及待測目標的起始點，在待測目標中，基于起始點，確定待測點；在待測目標中，確定以待測點為中心的n個數據檢測點的三維坐標，n個數據檢測點用于構成包圍待測點的四邊形，...

本申請實施例公開了一種集光系統，包括透鏡組和鏡筒，透鏡組安裝于鏡筒；還包括用地實現空間濾波功能的掩模，設置于鏡筒內；鏡筒的內壁設有低散射層。同時，本申請實施例中公開了一種有圖形待檢測對象的缺陷檢測系統，采用前述的集光系統。由于內嵌空間濾...

本申請公開了一種自動配置檢測閾值參數的方法及相關產品，可應用于半導體技術領域，該方法包括：基于預設閾值參數對待測晶圓進行N輪全局缺陷檢測，并得到對應的N份全局缺陷檢出報告；所述N為大于或等于3的整數；基于所述N份全局缺陷檢出報告，對每一...

本發明公開了一種晶圓缺陷檢測裝置及方法。該裝置包括照明系統、運動平臺、探測系統和信號處理系統。照明系統向晶圓表面提供至少三個不同入射方向的照明光束并形成重合的線狀照明光斑；運動平臺驅動晶圓進行線掃描；探測系統包括多個光軸共面的探測通道，...

本申請公開了一種晶圓缺陷數據生成方法、晶圓檢測方法及存儲介質，該晶圓缺陷數據生成方法包括：獲取第一晶圓數據；第一晶圓數據包括無缺陷的樣品圖像；基于預訓練的缺陷生成模型對第一晶圓數據進行缺陷處理，得到第二晶圓數據，第二晶圓數據包括有缺陷的...

本申請提供的一種晶圓邊緣缺陷檢測光學系統及方法，通過設置于信號光被接收至成像單元的光路中的成像數值孔徑調節裝置根據待檢測晶圓邊緣上的感興趣區域調整成像數值孔徑，以實現成像景深的調整，該技術方案通過引入可調節的孔徑裝置，通過孔徑裝置控制成...

本申請實施例公開了一種集光系統，包括：前透鏡組、后透鏡組和鏡筒，前、后透鏡組分別安裝于鏡筒；掩模，用于實現空間濾波功能，設置于鏡筒內，位于前透鏡組的光瞳面。同時，本申請實施例中公開了一種有圖形待檢測對象的光學缺陷檢測系統，采用前述的集光...

本發明涉及半導體關鍵尺寸量測技術領域，具體提供一種應用于半導體關鍵尺寸量測的X射線量測系統，包括：兼容的CD?SAXS量測系統和XRR量測系統、共用樣品臺、樣品臺、XRR運算系統以及SAXS運算系統，其中，CD?SAXS量測系統和XRR...

本發明涉及光聲測量技術領域，具體提供一種測量設備和其中設備噪聲的頻率估計方法、去噪方法，該頻率估計方法包括：控制泵浦光和探測光照射第一待測樣品，泵浦光在第一待測樣品表面產生超聲波，探測光經第一待測樣品表面反射形成第一探測信號光；獲取由第...

本申請公開了一種圖像精準對位的方法、裝置、設備及可讀存儲介質，可應用于半導體技術領域，該方法包括：獲取待對位晶圓的實拍光學圖像；確定與實拍光學圖像對應的目標Kernel圖像；基于預設對位數據庫確定與目標Kernel圖像對應的目標對位模板...

本申請涉及光學檢測技術領域，具體涉及一種調節裝置和光學檢測設備，調節裝置中，安裝固定有光學元件的承載件可安裝在安裝基座的安裝孔中，安裝基座中的柔性臂具有鎖緊承載件的第一狀態和使承載件相對安裝基座旋轉的第二狀態，由于安裝基座具有與安裝孔連...

本申請提供的測量系統及測量方法，光源模塊同時出射的第一光束和第二光束分別經對應的分光鏡入射至主分光鏡，再經主分光鏡耦合至干涉模塊后照射至待測樣品的表面，形成的返回光再經干涉模塊進入主分光鏡，再通過分光設計，將不同波段的光成像到不同探測器...