本申請提供一種承載裝置及半導體檢測設備。承載裝置包括基板，基板上設有氣孔、泄氣孔和排氣槽，所述氣孔用于為工件提供正壓和/或負壓，以承載所述工件，泄氣孔設置于基板的中心區域，用于排出基板的上表面與工件之間的部分氣體，至少部分排氣槽用于將基...

本申請公開了一種翹曲校正方法、承載裝置及承載系統，承載裝置獲取吸附件的吸附面與待測件之間的第一距離；當吸附件的吸附面與待測件之間的第一距離大于第一預設距離，且小于或等于第二預設距離時，確定吸附件為第一目標吸附件，第二預設距離大于第一預設...

本發明公開了一種檢測設備及檢測方法，該檢測設備包括檢測組件和驅動組件；本發明中設置有至少兩排檢測單元，所有檢測單元沿第一方向和第二方向排列形成矩陣結構，當檢測工作時，驅動組件能夠驅動待測物或檢測組件至少一者沿第一方向或第二方向至少一個方...

本申請公開了一種檢測裝置及檢測方法，包括第一光學系統和第二光學系統，所述第一光學系統用于對待測物進行第一檢測，得到所述待測物表面的待檢出對象分布信息；所述第二光學系統用于根據所述待檢出對象分布信息對所述待測物進行第二檢測，得到待檢出對象...

本申請實施方式的光路調節方法用于檢測設備，檢測設備包括泵浦光路及檢測光路，泵浦光束沿泵浦光路傳輸至工件，檢測光束沿檢測光路傳輸至工件，光路調節方法包括：設置檢測反射鏡的反射面于工件所在位置，且使檢測反射鏡垂直于檢測光束和泵浦光束所在的入...

本申請公開了一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括：初始化傳動件，以使得傳動件運動至第一原點位置；在掃描件第N次掃描待測件時，控制傳動件帶動掃描件自第一原點位置向第二原點位置掃描待測件，N為正整數；及...

本申請公開了一種承載裝置及承載系統，承載裝置包括承載本體、吸附件以及驅動裝置，承載本體的承載面一側設有多個容置槽，容置槽的底部設有通孔，驅動裝置貫穿通孔設置，吸附件的一端設有吸附面，吸附面與待測件吸附連接，吸附件的另一端收容于容置槽內，...

一種調整方法、調整裝置、調整設備和非易失性計算機可讀存儲介質。調整方法包括輸入待測圖像至檢測模型，以輸出所述待測圖像的置信度；根據所述置信度確定調整系數，所述調整系數和所述置信度負相關；根據所述調整系數和預設的損失函數計算損失值；及根據...

本申請提供一種坐標系建立方法、檢測裝置、檢測設備及計算機可讀存儲介質。坐標系建立方法包括：通過第一傳感器采集待測件的二維圖像、及通過第二傳感器采集待測件與第二傳感器之間的距離信息；根據二維圖像和距離信息確定待測件的第一坐標系和待測件的標...

本申請的檢測方法包括通過第一傳感器采集待測件的信息，以確定待測件的多個部位的第一坐標；根據第一坐標控制第二傳感器采集多個部位的深度信息；根據預設模板的基準深度、第一坐標和深度信息，計算第二坐標；及根據第二坐標控制第三傳感器采集多個部位的...

本申請提供一種半導體處理設備。半導體處理設備包括柜體、處理裝置、及密封裝置。柜體設有窗口。處理裝置設置在柜體內。密封裝置設置在柜體內并位于柜體與處理裝置之間。密封裝置包括密封件、驅動件、及遮擋件。密封件與窗口對應，驅動件與遮擋件均收容在...

一種預定位承載裝置及定位承載方法，其中，裝置包括承載件、校正件和定位件；校正件可拆卸連接承載件，且校正件設有用于匹配承載件的收納位；承載件可控地沿第一方向運動，以在被收納于收納位內時，使承載件的中心與校正件的中心重合；定位件至少三個并且...

本申請提供一種掃描裝置的調整方法、檢測設備及計算機可讀存儲介質。調整方法包括：獲取步驟：對工件掃描成像以獲取工件的第一圖像；處理步驟：對第一圖像進行處理，以獲取第一圖像中第一方向輪廓與掃描裝置的掃描方向之間的第一角度、及第一圖像中第二方...

本申請公開了一種調節方法及裝置、檢測設備、可讀存儲介質及檢測系統。調節方法包括：調節光束質量分析儀的高度，使照射至光束質量分析儀上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束質量分析儀上的檢測光斑的第二中心之間的距離小于或等于預設距離；根據第一中...

本申請提供一種照明系統及檢測設備。照明系統包括至少一個光源裝置。光源裝置包括導光件及整形件。導光件用于接收及傳導光線。整形件與導光件的出光面之間的距離的取值范圍為[15mm，20mm]，整形件用于接收來自導光件的光線并將經過整形件的光線...

本實用新型公開了一種承載裝置及檢測設備，所述承載裝置包括吸附支撐組件、升降機構組件和基板；所述升降機構組件位于所述吸附支撐組件的下方，所述吸附支撐組件設有若干豎向的通孔，所述升降機構組件設有用于穿過所述通孔以進行托舉的支撐桿，所述吸附支...

本申請公開了一種載物臺，載物臺包括承載件、第一定位件及第二定位件，承載件用于承載待檢測件，第一定位件與承載件滑動連接，第一定位件能夠相對于承載件沿第一方向滑動；第二定位件滑動安裝在承載件上，第二定位件能夠相對于第一定位件沿第二方向滑動，...

本申請提供一種零相位差位置尋找方法、掃描系統及存儲介質。該方法包括：調整掃描機構的干涉物鏡與待測物之間在預設方向上的相對位置，以使干涉物鏡從預設的零位位置到達預設的偏移位置，在預設方向上，偏移位置與零位位置之間具有偏移量；通過掃描機構采...

本申請公開了一種檢測方法、檢測系統及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括：獲取工件的待測區的不同位置的第一高度分布信息，工件放置在承載裝置上；根據第一高度分布信息獲取第二高度分布信息，第二高度分布信息的高度發生突變的節點數小于第一高...

本申請提供一種承載裝置及半導體處理設備。承載裝置包括本體、承載件及至少一個支撐組件。本體設有通孔。承載件與通孔對應設置，承載件包括吸附單元，吸附單元用于將工件的第一區吸附在承載件的第一側，承載件能夠沿通孔的軸向升降；每個支撐組件包括多個...