本申請公開了一種晶圓檢測方法、檢測裝置及計算機可讀存儲介質，所述晶圓檢測方法應用于晶圓檢測裝置，所述晶圓檢測裝置包括轉動組件與至少一個檢測單元，所述晶圓檢測裝置控制所述轉動組件按照預設角度間隔轉動，以獲取所述轉動組件的轉動角度及所述檢測...

本申請提供了一種相機裝調裝置及相機裝調系統。相機裝調裝置包括基板；運動平臺設于基板上，運動平臺能夠相對基板沿第一方向運動；及設于運動平臺上的多個裝調機構，裝調機構包括第一安裝機構、第二安裝機構、第一調節機構和第二調節機構，第一安裝機構與...

本實用新型公開了一種光闌、基座和光闌組件，該光闌包括主體，所述主體上設置有通光孔，所述主體包括安裝部，所述安裝部具有第一環形面以與基座配置成軸孔配合結構，所述第一環形面與所述通光孔同軸設置；與現有技術光闌與基座通過螺紋連接相比，本實用新...

本實用新型涉及一種光功率調節器及激光檢測設備，其中，光功率調節器包括殼體以及設于殼體內的驅動部和調節部，調節部包括相位延遲件，驅動部用于驅動相位延遲件轉動；殼體具有入光口和出光口；殼體內還設有吸光部件，用于吸收調節部的反射光。該光功率調...

本實用新型公開一種檢測裝置，包括：照明組件和成像組件；前者包括第一照明組件和穹頂組件；后者包括成像鏡頭和探測器。第一照明組件和穹頂組件均用于對待測物照明。穹頂組件為球體一部分，球心位于成像組件的光軸上。第一照明組件位于球體的外圍，照明方...

本實用新型公開一種光學裝置及檢測設備，其中，該光學裝置包括光源發生部件和光路處理部件；還包括具有射入口和射出口的封閉殼體，所述光源發生部件設置于所述封閉殼體的外部，所述光路處理部件安裝在所述封閉殼體內，所述光源發生部件發出的光束經所述射...

本實用新型涉及一種檢測設備及檢測系統，其中，檢測設備包括檢測部和設于檢測部內的檢測腔室，檢測腔室內包括用于對待測對象進行光學檢測的光學元件；檢測部內填充有第一氣體，檢測腔室內填充有第二氣體，第一氣體的清潔度等于或低于第二氣體的清潔度。通...

本發明提供一種檢測設備，包括：第一照明組件，其被配置為向待測對象發射第一檢測光束，其經待測對象散射形成至少一束信號光，包括第一信號光，且其中心軸線與待測對象表面具有銳角夾角；第一信號收集組件，包括第一探測支路，用于成像式收集第一信號光，...

本申請提供一種承載裝置、半導體處理設備、及利用承載裝置固定工件的方法。承載裝置包括承載件、壓緊組件、及驅動件。承載件包括承載面及設置在承載件的氣路，承載面包括第一區域及環繞第一區域的第二區域，氣路用于抽氣以將工件吸附在第一區域。壓緊組件...

本申請公開了一種晶圓檢測方法、半導體檢測設備、及非易失性計算機可讀存儲介質。晶圓檢測方法包括：掃描晶圓的第一區域，以獲取第一區域內的第一芯片的第一信息；根據第一信息獲取標準芯片；根據第一信息及標準芯片檢測第一芯片；掃描晶圓的第二區域，以...

本申請的檢測系統包括承載裝置和探測裝置。承載裝置用于承載待檢測件，承載裝置設有貫穿孔，待檢測件包括相背的第一待檢面和第二待檢面；探測裝置包括第一檢測單元和第二檢測單元，第一檢測單元和第二檢測單元設置在承載裝置的相背兩側，第一檢測單元與第...

本申請的標定方法包括通過第一傳感器拍攝標定件的第一標定圖像，通過第二傳感器拍攝標定件的第二標定圖像，標定件由運動平臺帶動，標定件包括特征點；依據第一標定圖像計算運動平臺的第一標定坐標，依據第二標定圖像計算運動平臺的第二標定坐標，其中，運...

本申請公開了一種承載裝置，承載裝置包括支撐結構、載物結構和繞線結構，載物結構能夠移動地安裝在支撐結構上；繞線結構安裝在支撐結構上，載物結構引出的連接線能夠繞設在繞線結構上，載物結構相對于支撐結構移動時，連接線能夠在繞線結構上移動及\或發...

本申請提供一種照明系統及掃描設備。照明系統包括第一光學組件及第二光學組件，第一光學組件用于將物側的光線匯聚至工件形成第一光斑，第二光學組件用于改變反射光線的傳輸方向，以使反射光線投射至工件形成第二光斑，反射光線由工件反射第一光斑形成，第...

本申請公開了一種校準機構及檢測系統。校準機構包括本體、第一延伸部及第二延伸部。第一延伸部設置在本體的第一端，第一延伸部包括第一夾持件，第一夾持件用于與承載件的避讓空間匹配。第二延伸部設置在與本體的第一端相背的第二端，第二延伸部的第一端相...

本申請公開了一種載物臺，載物臺包括承載件、第一定位件及第二定位件，承載件用于承載待檢測件，第一定位件與承載件滑動連接，第一定位件能夠相對于承載件沿第一方向滑動；第二定位件滑動安裝在承載件上，第二定位件能夠相對于第一定位件沿第二方向滑動，...

本申請公開了一種定位結構及檢測治具。定位結構包括承載件及定位件。承載件上設置有第一擋壁及第二擋壁。定位件包括定位本體、第一擋塊及第二擋塊，定位本體設置有第一定位面、第二定位面、及定位空間，第一定位面及/或第二定位面用于與位于定位空間內的...

本申請公開了一種檢測方法、檢測系統及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括：獲取工件的待測區的不同位置的高度分布信息，工件放置在承載裝置上；根據高度分布信息獲取驅動件的響應曲線，驅動件用于驅動承載裝置沿高度方向運動；響應曲線上，延伸方...

本申請公開了一種缺陷檢測方法，包括：將待測物的待測區劃分為若干個待測單元；獲取所述待測單元的缺陷信息；根據所述缺陷信息獲取待測單元的第一缺陷值；根據所述第一缺陷值對待測單元中的缺陷進行第一篩選處理，得到復檢缺陷；根據所述復檢缺陷的信息，...

一種檢測方法包括：獲取所述待測物所包括的待復檢的第一缺陷集；根據所述第一缺陷集的位置、復檢探頭的位置和所述待測物的運動方向對第一缺陷集進行篩選處理，獲取第二缺陷集；按照所述待測物的運動方向對所述第二缺陷集進行排序，通過復檢探頭對排序后的...