本申請提供一種光源裝置及顯微系統。光源裝置包括發光件及與發光件耦合的導光柱。發光件用于發射光線；導光柱用于導引發光件的光線至預設的照明位置，發光件發射光線的一端與導光柱靠近發光件的一端對應，發光件發射的光線的中心線與導光柱的中心線重合，...

一種物鏡以及檢測裝置，物鏡包括：第一正透鏡組件，用于接收光源發出的出射光，并使出射光匯聚產生第一折射光；負透鏡組件，用于接收第一折射光，并使第一折射光發散產生第二折射光；第二正透鏡組件，用于接收第二折射光，并使第二折射光匯聚產生第三折射...

一種承載裝置及檢測設備，承載裝置包括基板件、支撐件和承載件；基板件設有用于供承載件運動通過的定位通孔；支撐件與基板件運動連接，用于在向靠近定位通孔的方向運動時，將待載工件支撐在定位通孔的上方；承載件用于經由定位通孔靠近待載工件，實現對待...

一種預定位承載裝置，包括承載件、校正件和定位件；校正件可拆卸連接承載件，且校正件設有用于匹配承載件的收納位；承載件可控地沿第一方向運動，以在被收納于收納位內時，使承載件的中心與校正件的中心重合；定位件至少三個并且圍繞第一方向分布，定位件...

本申請公開了一種檢測系統，檢測系統包括檢測光路、泵浦光路、光纖及光纖調節器，檢測光沿所述檢測光路傳輸至待檢測件；泵浦光沿所述泵浦光路傳輸至所述待檢測件；所述檢測光路與所述泵浦光路中的至少一個設置有所述光纖；及所述光纖調節器與所述光纖連接...

本申請公開了一種翹曲校正裝置及檢測設備。翹曲校正裝置包括基板及多個按壓組件。基板包括相背的第一面及第二面，基板還包括中心區域及環繞中心區域的邊緣區域。中心區域及邊緣區域均分布有按壓組件，每個按壓組件均設置于第一面并朝遠離第二面的方向延伸...

本申請公開了一種檢測系統，檢測系統包括檢測光路、泵浦光路和光檢測器，檢測光沿檢測光路傳輸至待檢測件；泵浦光沿泵浦光路傳輸至待檢測件；光檢測器同時位于檢測光路及泵浦光路，光檢測器用于接收至少部分檢測光及泵浦光，并檢測接收到的檢測光及/或泵...

本申請提供一種轉運裝置及檢測設備。轉運裝置包括導軌、主體及機械手。主體安裝于導軌，并能夠在導軌的延伸范圍內沿導軌的延伸方向運動；多個機械手連接于主體，每個機械手均用于獨立地抓取工件以轉運工件至不同工位，至少最外側的機械手能夠抓取位于導軌...

本申請提供一種半導體處理設備。該半導體處理設備包括殼體、阻隔結構及進風裝置。殼體設有第一腔及第二腔。阻隔結構設置在第一腔與第二腔之間，阻隔結構包括第一隔板及第二隔板，第一隔板及第二隔板間隔以形成氣流通道，氣流通道用于阻擋第二腔內的熱量進...

本實用新型公開了一種晶圓校準工裝及晶圓校準裝置，所述晶圓校準工裝包括底座與相對設置的第一定位件與第二定位件，所述第一定位件與所述第二定位件相對設置并設于所述底座的兩側；所述第一定位件上設有第一定位凹槽，所述第二定位件上設有第二定位凹槽，...

本發明提供了一種光學檢測系統和光學檢測方法，包括：照明組件，被配置為向待測對象發射檢測光束，檢測光束經待測對象表面散射、反射形成信號光；檢測組件用于收集信號光，并形成第一信號光和第二信號光，形成第一信號光的信號光傳播方向與形成第二信號光...

本申請公開了一種檢測方法。檢測方法包括第一采集步驟：向工件投射第一照明光，且采集工件的第一子圖像；第二采集步驟：向工件投射第一照明光及第二照明光，且采集工件的第二子圖像；及檢測步驟：依據第一子圖像檢測工件的第一區域，及依據第二子圖像檢測...

本申請公開了一種檢測設備。檢測設備用于檢測工件，工件包括第一區域及第二區域，第一區域的反射率大于第二區域的反射率。檢測設備包括第一探測裝置及第二探測裝置。第一探測裝置用于以第一照明光投射至第一區域，并采集包括第一區域的第一圖像。第二探測...

本申請公開了一種檢測系統。檢測系統包括用于承載工件的承載裝置、多條送檢通道、第一檢測組件及第二檢測組件。每條送檢通道裝有承載裝置并設有第一工位及第二工位，承載裝置能在送檢通道上沿第一方向運動，以經過第一工位及第二工位，多條送檢通道沿第二...

本申請提供一種調節機構、鏡頭模組及檢測設備。調節機構用于固定被調節件，調節機構包括安裝件、固定件及緩沖件。安裝件設有收容腔，收容腔用于收容被調節件；固定件能夠活動地安裝于安裝件的側壁；緩沖件收容在安裝件的側壁內，緩沖件的兩端分別與固定件...

本申請提供一種抓取裝置及轉運系統。抓取裝置包括載臺及多個抓取件。載臺用于抓取工件。每個抓取件的一端可調節地連接于載臺，另一端凸出于載臺，多個抓取件分別用于抓取不同狀態的工件的電路板，電路板凸出于工件。本申請的抓取裝置及轉運系統中，多個抓...

本申請公開了一種承載裝置及半導體處理設備。承載裝置包括本體、凸臺及多個限位件。本體包括第一面及與第一面相接的側面。凸臺設置在第一面的邊緣，并與本體共同圍成腔體。凸臺包括遠離第一面的吸附面，吸附面設置有吸附單元，吸附單元用于吸附工件的第一...

本實用新型公開了一種光學組件的自動聚焦設備和光學系統，光學組件包括鏡頭和相機，自動聚焦設備包括壓電驅動器、連接組件以及直線導軌副，連接組件連接壓電驅動器與整個光學組件，壓電驅動器能夠驅動整個光學組件沿其光軸移動，直線導軌副與光學組件的光...

本申請公開了一種反遠攝鏡頭、反遠攝系統、及掃描設備。沿著光軸從物側至像側，反遠攝鏡頭依次包括第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡及第五透鏡；反遠攝鏡頭的反遠攝比的取值范圍為[7.40，7.80]。本申請實施方式的反遠攝鏡頭具有較大的反...

本申請公開了一種半導體檢測設備。半導體檢測設備包括箱體、傳輸裝置及校準裝置。其中，箱體包括相互間隔的校準區及翻轉區。傳輸裝置位于箱體內的校準區及翻轉區之外，傳輸裝置用于獲取并傳輸工件。校準裝置位于箱體內的校準區，并用于校準工件的狀態，傳...