本申請公開了一種檢測設備。檢測設備用于檢測待測樣品，檢測設備包括光源裝置、探測裝置及承載裝置。光源裝置包括第一光源與第二光源，第一光源向樣品投射光信號以形成第一光斑，第二光源向樣品投射光信號以形成第二光斑，第一光斑的光功率小于第二光斑的...

本發明公開一種承載裝置及檢測設備，其中，該承載裝置包括承載盤,所述承載盤包括外緣區域和由所述外緣區域包圍的中部區域，所述外緣區域設有支撐臺，所述支撐臺設有高于所述中部區域的上表面的吸附面，所述外緣區域還設有出口位于所述吸附面的吸附孔，所...

本發明公開了一種承載裝置及其使用方法，該裝置包括至少包括第一接合部件、第二接合部件和施力部件，第一接合部件和第二接合部件均包括接合部，用于固定待測物的邊緣部；施力部件用于對第一接合部件施加遠離第二接合部件的力，以帶動第一接合部遠離第二接...

一種檢測裝置及檢測方法，裝置包括：裝載模塊，包括有承載面的裝載臺，承載面上有反射面；光源模塊，包括具有功率設定值的光源，所述光源模塊用于利用所述光源發出的出射光產生投射至所述反射面上的第一入射光，所述反射面使所述第一入射光發生反射形成第...

本申請公開了一種檢測系統。檢測系統包括第一光源、第二光源及至少一個檢測通道；第一光源向待檢測的樣品入射第一光線，第一光線激發樣品發出特定波長范圍的第一信號光，以及經由樣品反射或散射出第二信號光；第二光源向樣品入射第二光線，第二光線經由樣...

本發明實施例提供一種檢測設備和檢測方法，用于進行掃描檢測，所述檢測設備包括：照明光源，用于提供照明光；物鏡，用于使所述照明光投射至檢測面，還用于對檢測面成像，所述物鏡的光軸在所述檢測面的投影為檢測點；聚焦裝置，用于在所述檢測面上確定測量...

本申請提供一種檢測裝置和檢測設備。檢測裝置包括主體、第一探測器、第二探測器、第一旋轉調節機構和平移調節機構，第一探測器和第二探測器均安裝在主體上且第一探測器和第二探測器并排設置。第一旋轉調節機構用于驅動第二探測器相對主體繞第二探測器的光...

本申請提供一種承載裝置和檢測設備。承載裝置包括支架和吸附件。其中，支架上形成有鏤空區域，吸附件連接支架并設置在鏤空區域內；吸附件用于吸附待測物并使待測物的相背兩側均能夠通過鏤空區域露出。本申請的承載裝置中，通過支架的定位及連接支架的吸附...

本發明提供了一種檢測方法和檢測設備，包括：提供檢測光，所述檢測光在待測物表面形成檢測光斑，所述檢測光經所述待測物形成信號光；探測所述待測物表面探測區內的第一信號光，所述探測區與所述檢測光斑至少部分重疊，調整第一信號光的檢測區域的尺寸，其...

本申請公開了一種支架組件。支架組件包括第一支架、第二支架及支撐架；第一支架包括相互連接的第一板及第二板，第一板用于安裝第一待安裝件；第二支架的一端連接在第二板，第二支架用于安裝第二待安裝件；支撐架的兩側分別抵靠第一板與第二支架，以用于保...

本申請公開了一種檢測裝置和檢測方法。檢測裝置包括：照明組件和成像組件；照明組件包括：穹頂組件；成像組件包括：成像鏡頭和探測器；當穹頂組件被點亮時，用于對待測物進行照明。穹頂組件位于成像組件的光軸的一側，且所述穹頂組件朝著背離所述光軸的方...

本申請公開了一種壓緊機構、承載裝置和半導體處理設備。所述壓緊機構用于對待測件進行按壓，所述壓緊機構包括第一壓緊組件和驅動件。所述第一壓緊組件包括第一壓緊面；所述驅動件與所述第一壓緊組件連接，所述驅動件用于驅動所述第一壓緊面朝向所述待測件...

本申請公開了一種承載裝置和半導體處理設備。本申請實施方式的承載裝置應用于半導體處理設備，所述承載裝置包括承載件和照明裝置。所述承載件包括相背的第一面和第二面，所述承載件形成有貫穿所述第一面和第二面的多個貫穿孔，所述第一面用于承載待測件。...

本申請公開了一種檢測裝置及檢測設備，所述檢測裝置包括光源組件、分光鏡、光學鏡組以及圖像采集裝置，所述光源組件包括第一光源以及第二光源，所述光源組件發射的光線透射經過所述分光鏡后傳輸至待測件，所述待測件將光線反射后傳輸至所述分光鏡，并被所...

本申請公開了一種光束穩定系統及檢測設備，光束穩定系統包括激光光源，第一反射鏡、第二反射鏡以及第三反射鏡以及第四反射鏡，光程調節組件、第一探測器、第五反射鏡、第二探測器、第一調節組件以及第二調節組件；激光光源發出的光線依次經過第一反射鏡、...

本申請公開了一種清潔裝置與檢測設備，所述清潔裝置應用于檢測設備，所述檢測設備包括承載裝置與框架，所述清潔裝置包括第一支架與清潔組件，所述清潔組件通過所述第一支架與所述框架連接，所述清潔組件包括管體與第一開口，所述第一開口的開口方向指向所...

一種激光光束優化裝置及激光器，其中，激光光束優化裝置包括用于將基頻光變頻轉換為倍頻光輸出的變頻模塊、用于獲取倍頻光的第一指標信息的第一檢測模塊以及與變頻模塊連接的溫控模塊，變頻模塊能夠可控地在預設平面坐標系中移動，以切換其用以接收基頻光...

一種基于變頻晶體換點的激光調控方法，包括控制所述變頻晶體在預設平面坐標系中移動，以切換所述變頻晶體用以接收基頻光的工作點位；控制基頻光經變頻晶體當前的工作點位進入變頻晶體，以使基頻光轉換為倍頻光輸出；檢測所述變頻晶體輸出的倍頻光的指標信...

本發明涉及一種檢測設備及檢測系統，其中，檢測設備包括運動部，運動部內設有承載裝置和至少一個吹掃裝置，承載裝置用于承載待測對象并帶動待測對象運動；吹掃裝置用于向承載裝置承載的待測對象提供吹掃氣體，所述吹掃裝置用于至少向所述承載裝置的承載面...

本發明公開了一種圖像采集方法、設備、計算機可讀存儲介質及電子設備。本發明的圖像采集方法，應用于半導體缺陷圖像采集設備中，所述設備包括圖像采集組件和用于給所述圖像采集組件提供照明的脈沖光源組件，所述方法包括：所述圖像采集組件開始曝光；所述...