本申請(qǐng)公開(kāi)了一種光束穩(wěn)定系統(tǒng)及檢測(cè)設(shè)備，激光光源發(fā)出的光線(xiàn)依次經(jīng)過(guò)第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡、第四反射鏡后傳出光束穩(wěn)定系統(tǒng)；光線(xiàn)經(jīng)過(guò)第二反射鏡后，部分光線(xiàn)透射經(jīng)過(guò)第二反射鏡，并傳輸至第一探測(cè)器；光線(xiàn)經(jīng)過(guò)第四反射鏡后，部分光線(xiàn)透射...

一種載片臺(tái)平整度的調(diào)節(jié)方法及裝置，載片臺(tái)包括多個(gè)支撐柱，支撐柱用于承載待承載物，調(diào)平方法包括：根據(jù)第一區(qū)域，能夠快速有針對(duì)性的鎖定待承載物的操作區(qū)，通過(guò)預(yù)調(diào)節(jié)處理，改變目標(biāo)支撐柱和圖像獲取裝置之間的距離，使得待承載物表面處在圖像獲取裝置...

一種待測(cè)物的聚焦方法及聚焦系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，聚焦方法包括：獲取待測(cè)物在不同聚焦高度下的標(biāo)定圖像；根據(jù)標(biāo)定圖像獲取每層標(biāo)定圖形的第一聚焦度參數(shù)與聚焦高度的分布關(guān)系，分布關(guān)系為高斯分布；分別對(duì)多層標(biāo)定圖形的分布關(guān)系求對(duì)數(shù)后進(jìn)行加權(quán)處理，...

本申請(qǐng)公開(kāi)了激光發(fā)生裝置及激光器，所述激光發(fā)生裝置包括光源組件、多個(gè)倍頻晶體以及多個(gè)加熱裝置，所述倍頻晶體與所述加熱裝置一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述加熱裝置用于其對(duì)應(yīng)的所述倍頻晶體進(jìn)行加熱。通過(guò)在所述激光發(fā)生裝置中設(shè)置多個(gè)倍頻晶體以及多個(gè)加熱裝置...

一種裝夾組件以及檢測(cè)設(shè)備，裝夾組件包括底座、承托組件以及至少一個(gè)壓緊組件；承托組件以及壓緊組件均設(shè)在底座上；承托組件用于承托和定位待測(cè)工件；壓緊組件用于在待測(cè)工件被承托組件承托后，施加預(yù)設(shè)壓力于待測(cè)工件的待測(cè)面的可接觸部位上，使待測(cè)工件...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多工位檢測(cè)設(shè)備，該多工位檢測(cè)設(shè)備，包括多個(gè)工裝組件、檢測(cè)組件、多個(gè)第一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)以及第二運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等，開(kāi)始檢測(cè)時(shí)各第一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上帶動(dòng)待測(cè)件運(yùn)動(dòng)從第一端部向第二端部移動(dòng)，由于第一檢測(cè)系統(tǒng)比第二檢測(cè)系統(tǒng)更加靠近第一端部，因此...

一種檢測(cè)方法和檢測(cè)系統(tǒng)，檢測(cè)方法包括：通過(guò)照明模塊產(chǎn)生入射光，入射光經(jīng)待測(cè)物后形成信號(hào)光；利用第一鏡組收集信號(hào)光，并使信號(hào)光到達(dá)成像模塊；利用成像模塊的探測(cè)器根據(jù)信號(hào)光對(duì)第一鏡組的監(jiān)測(cè)面進(jìn)行成像，獲取監(jiān)測(cè)面的第一圖像，其中，監(jiān)測(cè)面為第一...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置、檢測(cè)設(shè)備及非易失性計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。檢測(cè)方法包括：控制傳動(dòng)件帶動(dòng)掃描件在第一原點(diǎn)位置和第二原點(diǎn)位置之間移動(dòng)，以?huà)呙璐郎y(cè)件。本申請(qǐng)檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置、檢測(cè)設(shè)備及非易失性計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，傳動(dòng)件可帶...

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N處理設(shè)備及工件的處理方法。該處理設(shè)備包括加熱氣路系統(tǒng)。該加熱氣路系統(tǒng)用于對(duì)工件的待清潔區(qū)吹掃加熱氣體，所述加熱氣體用于對(duì)待清潔區(qū)進(jìn)行加熱，并通過(guò)吹掃去除待清潔區(qū)的污染層。本申請(qǐng)的處理設(shè)備及工件的處理方法中，加熱氣路系統(tǒng)能夠...

本發(fā)明提供一種檢測(cè)設(shè)備，其中，所述檢測(cè)設(shè)備包括：發(fā)光裝置，用于產(chǎn)生照射待測(cè)物的入射光，所述入射光用于在所述圖案標(biāo)記表面形成圖案光斑，所述待測(cè)物表面具有圖案標(biāo)記，所述圖案光斑用于與所述圖案標(biāo)記形成莫爾條紋，所述圖案光斑包括多個(gè)條紋光斑，所...

本發(fā)明提供一種檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法，其中，所述檢測(cè)設(shè)備包括：發(fā)光裝置，用于產(chǎn)生照射待測(cè)物的入射光，所述入射光用于在所述圖案標(biāo)記表面形成圖案光斑，所述待測(cè)物表面具有圖案標(biāo)記，所述圖案光斑用于與所述圖案標(biāo)記形成莫爾條紋，所述圖案光斑包括多個(gè)條...

本發(fā)明提供一種檢測(cè)設(shè)備，其中，所述檢測(cè)設(shè)備包括：發(fā)光裝置，用于產(chǎn)生照射待測(cè)物的入射光，所述待測(cè)物表面具有圖案標(biāo)記，所述圖案標(biāo)記包括條紋標(biāo)記，所述入射光用于在所述圖案標(biāo)記表面形成圖案光斑，所述圖案光斑包括條紋光斑，所述條紋光斑用于與所述條...

一種載片臺(tái)平整度的調(diào)節(jié)方法及其裝置，載片臺(tái)包括多個(gè)支撐柱，支撐柱用于承載待承載物，方法包括：獲得待承載物的圖像信息；根據(jù)圖像信息及預(yù)設(shè)參數(shù)獲取第一區(qū)域；確定第一區(qū)域?qū)?yīng)的至少一個(gè)目標(biāo)支撐柱；對(duì)目標(biāo)支撐柱進(jìn)行調(diào)節(jié)處理。本發(fā)明實(shí)施例，原始圖...

一種載片臺(tái)平整度的調(diào)節(jié)方法及裝置，載片臺(tái)包括多個(gè)支撐柱，支撐柱用于承載待承載物，方法包括：獲取待承載物的異常區(qū)域及與異常區(qū)域?qū)?yīng)的異常支撐柱；獲得異常支撐柱對(duì)待承載物的作用區(qū)域；獲得異常區(qū)域與作用區(qū)域的交疊面積；根據(jù)交疊面積獲取異常支撐...

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種挖孔屏幕缺陷檢測(cè)方法，該方法包括：首先獲取屏幕檢測(cè)圖像，其中，屏幕檢測(cè)圖像包括檢測(cè)區(qū)和挖孔區(qū)，檢測(cè)區(qū)和挖孔區(qū)為共心的中心對(duì)稱(chēng)圖形，挖孔區(qū)位于檢測(cè)區(qū)內(nèi)部。再在屏幕檢測(cè)圖像上獲取檢測(cè)區(qū)的中心點(diǎn)的位置信息，以沿檢測(cè)區(qū)的中心點(diǎn)對(duì)...

本發(fā)明公開(kāi)了一種光源組件及具有該光源組件的檢測(cè)裝置，所述光源組件包括發(fā)光件、通光窗口以及半反半透鏡，所述通光窗口具有處于同一軸線(xiàn)上的第一出光口和第二出光口，所述半反半透鏡與所述第一出光口和所述第二出光口的軸線(xiàn)呈45度夾角設(shè)置；所述發(fā)光件...

本申請(qǐng)的檢測(cè)方法包括根據(jù)預(yù)設(shè)模板確定待測(cè)件的圖像上的待測(cè)區(qū)域；以小波變換的方式處理所述待測(cè)區(qū)域，以得到待測(cè)圖像；及依據(jù)所述待測(cè)圖像的信息，獲取所述待測(cè)件的缺陷信息。本申請(qǐng)的檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置、檢測(cè)設(shè)備和非易失性計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，通過(guò)預(yù)...

一種聚焦方法及系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，聚焦方法包括：在第一預(yù)設(shè)拍攝高度區(qū)域內(nèi)，以第一預(yù)設(shè)步長(zhǎng)對(duì)待測(cè)物在不同的第一拍攝高度位置處進(jìn)行拍攝，獲取多張第一圖像；根據(jù)多張第一圖像獲取多個(gè)與第一拍攝高度一一對(duì)應(yīng)的聚焦度參數(shù)，用于表征第一圖像的聚焦質(zhì)...

本實(shí)用新型公開(kāi)一種固定裝置，所述固定裝置包括吸盤(pán)和泄氣通道；所述吸盤(pán)設(shè)有氣腔，所述氣腔通過(guò)所述泄氣通道泄氣；所述吸盤(pán)設(shè)有與所述氣腔相通的檢壓孔，所述檢壓孔連通檢壓設(shè)備，通過(guò)檢壓設(shè)備檢測(cè)所述氣腔內(nèi)部的壓力；所述吸盤(pán)設(shè)有與所述氣腔相通的注氣...

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N檢測(cè)裝置和檢測(cè)設(shè)備。檢測(cè)裝置包括光源、明場(chǎng)照明光纖、暗場(chǎng)照明光纖和切換模塊。明場(chǎng)照明光纖用于將光源發(fā)出的光線(xiàn)引導(dǎo)射向待測(cè)物以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行明場(chǎng)照明，暗場(chǎng)照明光纖用于將光源發(fā)出的光線(xiàn)引導(dǎo)射向待測(cè)物以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行暗場(chǎng)照明。切換模...