一種載盤分盤及回收裝置，包括用于將堆疊的載盤由下至上逐個分出的分盤機構、用于將分盤機構分出的載盤自第一工位平移運送至第二工位的一個送盤機構、用于自第二工位承接載盤并將載盤向下運送至第三工位的轉移機構、用于自第三工位承接載盤并將載盤平移運...

本發明實施例公開的一種夾持裝置和應用所述夾持裝置的承載設備。所述夾持裝置例如包括：基座，用于連接所述承載裝置，所述承載裝置用于承載待測件；夾持組件，連接在所述基座上，用以夾持所述待測件；彈性元件，連接在所述基座上、且位于在所述基座和所述...

本申請公開了一種消光件、激光發生裝置及檢測設備，所述消光件包括消光結構與散熱組件，所述消光結構包括套筒與擴束件，所述套筒具有向所述擴束件一側的開口，所述套筒中空形成腔體，所述擴束件收容于所述腔體內；所述套筒包括進光口。在所述消光件工作過...

本申請公開了一種檢測平臺及檢測設備，檢測平臺應用于檢測設備，檢測平臺包括測量底座、第一支架以及至少一個探測裝置，所述第一支架與所述測量底座連接；探測裝置包括鏡頭、固定架以及探測器；測量平臺還包括第二支架以及組合位移臺，第二支架與組合位移...

一種自動檢測裝置，包括傳輸設備、邊緣檢測設備以及表面檢測設備；傳輸設備包括裝載裝置、機械手裝置以及校準裝置，裝載裝置用于盛放待測物體，機械手裝置用于將待測物體傳輸至校準裝置，校準裝置用于確定待測物體的中心以及預設標記的方向；邊緣檢測設備...

本實用新型公開一種檢測設備，包括機架、機械臂組件和固定件，機械臂組件包括固定臺與機械臂本體，固定臺安裝于機架，機械臂本體與固定臺連接，固定件安裝于機架，固定件包括安裝部和限位部，限位部與安裝部固定連接，限位部與固定臺的側壁相接觸，以對機...

本實用新型公開一種承載裝置，所述承載裝置用于承載晶圓，承載裝置包括承載主體和定位件，定位件安裝于承載主體，承載主體設有吸附通道和吸附孔，吸附通道貫穿承載主體內部設置并與吸附孔相通，述承載主體表面設有保護膜層。本實用新型技術方案通過抽取吸...

一種檢測方法及系統、設備和存儲介質，包括：進行學習訓練，獲得用于識別缺陷類別的學習模型；提供多個待測圖像數據；選取部分待測圖像數據并使被選取的待測圖像數據包含的缺陷具有不同的已知類別；從被選取的待測圖像數據中提取每種目標類別的缺陷的若干...

本實用新型實施例公開的一種承載設備包括：氣浮承載裝置，設置有正、負氣壓通道，氣浮承載裝置包括承載面，承載面中部設置有安裝孔，氣浮承載裝置設置有與安裝孔連通的定位孔；翹曲矯正結構，包括：矯正盤，固定在安裝孔內且設置有第一矯正氣壓通道；導氣...

一種邊緣檢測設備以及設備前端模塊，邊緣檢測設備包括：轉動系統，被配置為驅動待測物體沿預設軸線轉動；轉動系統還被配置為檢測待測物體的轉速，在待測物體的轉速為勻速的情況下，輸出第一控制信號；邊檢探測系統，與轉動系統間隔設置，邊檢探測系統包括...

本申請實施例提供了發光裝置及檢測設備，用于連續調整出射光部分波段的光強，具體包括：光源、濾光元件和驅動裝置；所述光源用于發出初始光束；所述濾光元件用于濾除所述濾光元件接收的初始光束中的部分波段，得到出射光；所述濾光元件設置于所述驅動裝置...

本申請公開了一種調整裝置和檢測設備。調整裝置包括承載件和調節部。承載件包括第一承載部、第二承載部和第三承載部，第二承載部包括相對設置的第一端和第二端，第一端連接于第一承載部，第二端連接于第三承載部，第一承載部、第二承載部和第三承載部之間...

本申請提供一種承載裝置、半導體處理設備及承載裝置的使用方法。該承載裝置包括承載件及調整件。承載件設有凹槽，凹槽的側壁包括承載面，承載面設有第一吸附單元，第一吸附單元用于將工件的第一區吸附于承載面，凹槽與工件的第二區對應，凹槽的底壁與工件...

本申請公開了一種檢測系統及檢測方法。檢測系統包括用于承載工件的承載裝置、多條送檢通道、第一檢測組件及第二檢測組件。每條送檢通道裝設有承載裝置并設有第一工位及第二工位，承載裝置能夠在送檢通道上沿第一方向運動，以經過第一工位及第二工位。第一...

一種固定裝置及旋轉裝置，其中，固定裝置包括定位聯接機構、用于固定探頭本體的第一固定機構和用于固定探頭線束的第二固定機構，定位聯接機構在軸向上的一端連接第一固定機構、另一端連接第二固定機構，以使得第一固定機構與第二固定機構沿軸向間隔相對并...

本申請公開了一種光闌及檢測設備，所述光闌包括第一子光闌與第二子光闌，第一子光闌與第二子光闌連接，第一子光闌包括第一轉軸與第一葉片，第二子光闌包括第二轉軸與第二葉片，第一轉軸與第一葉片轉動連接，用于帶動所述第一葉片轉動，第二轉軸與第二葉片...

本發明實施例公開的一種氣浮承載設備例如包括：承載層；間隔層，連接在承載層的一側；氣路連接層，連接在間隔層遠離承載層的一側；承載層、間隔層和氣路連接層之間形成有用于氣浮承載待測件的第一氣壓通道和第二氣壓通道；第一氣壓通道和第二氣壓通道分別...

本申請公開了一種鏡頭裝置及檢測設備，鏡頭裝置包括第一鏡頭組件、第一固定架以及第二固定架，第一固定架與第二固定架連接并共同形成腔體，第一鏡頭組件收容于腔體內；第一固定架設有第一凹槽，第二固定架設有第二凹槽；第一凹槽與第二凹槽共同形成一環形...

一種承載裝置及檢測設備，其中，承載裝置包括被配置為固定工件的第一部位的第一載具、被配置為固定工件的第二部位的第二載具以及動力端分別耦合至第一載具和第二載具的驅動組件，驅動組件被配置為驅使第一載具和第二載具在第一位置與第二位置之間運動；當...

一種固定裝置，可用于將半導體檢測設備中的多軸精密運動平臺以懸掛的方式固定于設備型材外框架內，包括具有支承部和承載部的限位件、裝設于支承部的第一固定件和裝設于承載部的第二固定件；第一固定件用于與多軸精密運動平臺的懸掛孔位配合，以將支承部固...