本申請公開了一種測量平臺及檢測設備，測量平臺包括測量底座、探測裝置以及第一固定架，第一固定架與測量底座連接，探測裝置包括相機，檢測鏡頭以及第二固定架，第二固定架的兩端分別與相機以及檢測鏡頭連接；測量平臺還包括組合位移臺，組合位移臺包括三...

本申請公開了一種承載裝置及檢測設備，所述承載裝置包括承載本體與多個邊緣夾持組件，所述多個邊緣夾持組件設于所述承載本體的周側，所述邊緣夾持組件包括夾持件以及移動裝置，所述移動裝置與所述夾持件連接，用于帶動所述夾持件沿著所述承載裝置本體的徑...

一種整平工裝和檢測設備，整平工裝被配置為對待測物進行平整處理。整平工裝的一端面為首端面，另一端面為尾端面。首端面上開設至少一個氣路接入孔，尾端面上開設多個吹氣孔。整平工裝內部設有多圈緩沖氣道，多圈緩沖氣道沿徑向間隔分布。緩沖氣道的一側和...

本實用新型公開了一種光學設備，該光學設備包括蓋板、氣源設備以及安裝盒等，各隔板用于阻擋限制各吹風口吹出的氣流流向，從而使氣流沿各隔板及底板的表面流動，且各隔板的上端與蓋板的下表面之間存在有間隙，間隙用于導流氣流在各容置區域中流動。由于隔...

本申請涉及一種光學檢測系統，其主要包括位移臺、光源、反射鏡、調節機構和光電探測器。一方面，技術方案利用調節機構可對反射鏡的姿態進行調節，如此能夠對探測圖像進行修正補償，利于解決因位移臺結構形變導致的圖像特征相對位移的問題；另一方面，技術...

一種吸附平臺，包括面板件和基座件，面板件具有多個吸附孔及相背設置的承載面和結合面，吸附孔貫通面板件的承載面和結合面設置；基座件面向面板件的結合面設置，在基座件與面板件之間圍合形成有互不相通的多個真空腔區，每個真空腔區均與位于其輪廓范圍內...

一種供料裝置，包括旋轉件以及與旋轉件同軸設置的的導氣件，旋轉件具有圍繞其旋轉軸線間隔排布的多個導氣口，多個導氣口用于與多個吸盤件一一連通，導氣件具有導氣槽，導氣槽為沿導氣口的旋轉軌跡布置的圓弧槽；旋轉件被配置為可控地相對導氣件旋轉，使吸...

本發明提供一種檢測設備，其中，所述檢測設備包括：發光裝置、收集裝置、空間濾波器和探測組件；發光裝置，用于產生照射待測物的入射光，所述待測物表面具有圖案標記，所述圖案標記包括條紋標記，所述條紋標記包括同一方向重復排列的多個條紋，所述入射光...

本申請公開了一種檢測系統。檢測系統用于檢測工件，檢測系統包括安裝裝置、第一檢測裝置及第二檢測裝置，第一檢測裝置安裝于安裝裝置，第一檢測裝置對工件的待檢測面進行成像以得到二維圖像，并用于檢測待檢測面上的二維缺陷；第二檢測裝置安裝于安裝裝置...

一種光學檢測設備，包括檢測系統和去污系統，檢測系統包括用于向待測物表面出射測量光束的檢測光源組件，去污系統包括用于出射去污光束的去污光源組件和位于去污光束的光路上的光路轉換件；光路轉換件用于使至少部分去污光束入射至待測物，以清除待測物表...

本申請實施例公開了取物調節裝置及檢測裝置，該取物調節裝置包括：相連接的升降組件和旋轉取物組件；升降組件用于，驅動調節旋轉取物組件與目標工件之間的豎直距離；旋轉取物組件用于，在豎直距離達到預設間距時收取目標工件，并將被收取的目標工件繞一豎...

本實用新型公開了一種傳送吸附裝置，用于機械技術領域，包括：吸附平臺、升降組件以及傳送組件；所述升降組件設置于所述吸附平臺的吸附面板下方，且所述傳送組件設置于所述升降組件的升降板上；所述升降組件，用于通過控制所述升降板的升降驅動所述傳送組...

一種檢測裝置以及設備，包括：導向機構、成像機構、檢測機構以及檢測臺。導向機構設在檢測臺上，導向機構被配置為帶動成像機構和檢測機構運動。檢測臺被配置為放置待測件，成像機構被配置為獲取檢測臺上待測件的二維尺寸信息。檢測機構包括第一驅動器和檢...

本實用新型提供一種檢測裝置，所述裝置包括載物臺、照明組件和成像組件；所述載物臺用于承載待檢測物；所述照明組件向所述待檢測物發出照明光束，經所述待檢測物反射或散射后形成檢測光束由所述成像組件采集生成所述待檢測物的圖像信息；其特征在于，所述...

本實用新型公開了一種承載裝置，該承載裝置包括第一承載部、第二承載部、驅動件、支撐組件等，第一承載部具有第一承載區域，第一承載區域上設有第一吸附部，第二承載部具有包圍第一承載區域的第二承載區域，第二承載區域上設有第二吸附部，而且第一吸附部...

本申請提供一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備和非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括獲取預設模板中與待檢圖像對應的第一區域圖像；識別所述待檢圖像的線路區域，以生成第二區域圖像；獲取所述第一區域圖像中與所述第二區域圖像對應的第三區域圖像；...

本申請提供一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備和非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括匹配待測圖像和預設的模板圖像，以獲取第一圖像區域；識別所述第一圖像區域的連通域，以生成連通域圖像；獲取所述待測圖像中與所述連通域圖像對應的第二圖像區域；...

一種多面檢測設備及其系統包括：檢測平臺、安裝支架、第一平移機構、旋轉機構、檢測裝置以及翻面機構。安裝支架、第一平移機構以及翻面機構均設置在檢測平臺上，檢測裝置設置在安裝支架上，旋轉機構設置在第一平移機構的輸送面上，旋轉機構位于檢測裝置與...

本申請的校準設備用于校準待校準件，校準設備包括承載件和多個定位件。待校準件承載在承載件上；定位件可在預定行程內移動，預定行程包括目標位置，當多個定位件均位于對應的目標位置時，多個定位件圍成預定的定位空間，待校準件位于定位空間并與多個定位...

本實用新型實施例公開的一種晶圓夾持裝置和應該所述晶圓夾持裝置的氣浮承載設備。所述晶圓夾持裝置例如包括：基座；轉臺，包括轉臺主體、第一夾持件轉軸和第二夾持件轉軸；所述轉臺主體連接在所述基座上，且；所述第一夾持件轉軸和所述第二夾持件轉軸分別...