本申請實施方式的調整方法包括對未標注類型的多個第一圖像進行變換處理，以生成與每個第一圖像對應的多個第二圖像；通過預設的特征提取模型提取多個第二圖像的圖像特征；根據每個第二圖像的圖像特征和多個第二圖像中剩余的每個第二圖像的圖像特征，計算任...

本實用新型公開了一種晶圓承載裝置，包括底座、多個第一支撐部以及多個第一夾緊機構；所述底座上設置有第一承載工位，多個所述第一支撐部順沿所述第一承載工位的邊緣布置，每一所述第一支撐部上設置有第一真空吸附孔；所述第一真空吸附孔被配置為吸附放置...

一種檢測設備，包括轉盤機構、用于承載待檢工件的承載機構和用于檢測待檢工件的至少兩個檢測機構；其中，承載機構設置于轉盤機構，并可控地相對轉盤機構繞第一軸線轉動；轉盤機構可控地帶動承載機構繞第二軸線轉動；至少兩個檢測機構沿轉盤機構的周向間隔...

本實用新型公開了一種檢測設備，該檢測設備包括明場照明部件和信息采集組件，所述明場照明部件用于對待測物進行照射，所述信息采集組件用于對所述待測物的反射光進行采集和處理；本實用新型中的信息采集組件用于對待測物的反射光進行采集和處理。信息采集...

一種真空管路控制系統以及晶圓承載系統，真空管路控制系統包括：真空切換模塊以及氣體管路；真空切換模塊包括第一端口、第二端口、第三端口以及開關組件；氣體管路包括第一支路、第二支路、第三支路以及泄壓支路；第一支路的一端用于與晶圓承載盤的氣體通...

一種吸附式承載盤和檢測裝置，吸附式承載盤包括：盤體，具有承載面。多個支撐凸起部，多個支撐凸起部均勻分布在承載面上，多個支撐凸起部形成陣列分布的多個單元圖，單元圖為正三角形或正四邊形，支撐凸起部具有第一支撐面或第一支撐點，第一支撐面和第一...

一種調裝裝置及光學設備，其中，調裝裝置包括基體件、承載件、第一固定件和第一調節件，承載件具有相連接的安裝部和支承部，支承部以可相對基體件轉動的方式裝設于基體件，基體件設有第一引導結構，支承部設有第二引導結構，第一引導結構與第二引導結構活...

一種調節組件、調裝裝置及光學設備，其中，調裝裝置包括用于調整光學元件在第一方向上的位置的第一調節組件和用于調整光學元件在第二方向上的位置的第二調節組件，第一調節組件和第二調節組件均包括定位件和調節件，定位件具有沿第一軸線貫通設置的配合通...

一種自動上下料裝置，包括托舉機構和調節機構，托舉機構包括可控地作直線升降運動的托舉臺，托舉臺用于帶動由多個托盤堆疊而成的托盤組上升移動，以使托盤組中的托盤由上至下逐個到達上料工位；和/或用于承接位于下料工位的托盤并帶動托盤下降移動，以使...

本實用新型公開了一種檢測設備，該檢測設備包括：承載件，所述承載件被配置為承載物料，所述物料具有待測面；檢測光源所述檢測光源與所述承載件間隔設置，當所述承載件上承載有物料時，所述檢測光源被配置為向所述物料的待測面的一側發射檢測光，并形成反...

本實用新型公開了一種傳輸裝置及其檢測裝置，用于自動化設備技術領域。傳輸裝置包括：上料組件、承載組件、第一下料組件、第二下料組件，第一下料組件設置于所述承載組件第二側，第二下料組件與第一下料組件存在對接處，第一下料組件位于第一傳送軌跡，第...

本發明實施例公開了一種平臺支腳，例如包括：支撐基座，包括支撐基座第一端，支撐基座第一端沿第一方向設置有第一通孔；球頭桿，包括相對的桿端和球頭端，球頭端設置有第一球頭部，桿端穿設于第一通孔內，球頭端沿第一方向延伸出第一通孔，且第一球頭部位...

本申請公開了一種定位裝置，該定位裝置包括底座、吸附機構和夾持機構。吸附機構連接于底座，吸附機構用于吸附工件。夾持機構包括至少兩個夾持件和驅動組件，夾持件分布于吸附機構的周側，驅動組件與夾持件連接，驅動組件用于驅動夾持件選擇性地靠近和遠離...

一種承載裝置，包括承載組件和牽引帶組件；其中，承載組件用于承載目標載體，和用于引導目標載體運動至承載組件的預設位置；牽引帶組件的一端固定于承載組件、另一端與目標載體連接，牽引帶組件用于承載與目標載體連接的物理線纜，以帶動物理線纜隨目標載...

一種承載裝置、承載盤以及檢測設備，承載裝置，包括底座、承載盤、第一升降組件、第二升降組件以及驅動部件；承載盤設置在底座上且設置有吸盤，吸盤用于吸附待測件；第一升降組件相對于第二升降組件靠近承載盤的中心，第一升降組件被配置為通過上升頂起第...

一種檢測方法及其系統，用于對待檢測工件的線輪廓度進行檢測，方法包括：在待檢測工件上選取實際點，獲取實際點與理想輪廓處于同一坐標系下的測量點，通過在理想輪廓上獲取相鄰的第一基準點和第二基準點，第一基準點和第二基準點中至少一者為與測量點距離...

一種承載裝置、承載盤以及檢測設備，承載裝置，包括：底座、承載盤、定位組件以及壓緊部件；承載盤設置在底座上，用于承載待測件；承載盤具有居中設置的第一凹槽；定位組件設置在承載盤的邊緣部位，定位組件被配置為在待測件被承載盤承托后，通過與待測件...

一種物鏡以及光學系統，所述物鏡包括鏡組，所述鏡組用于使不同波長的平行光束匯聚于一個焦點，和/或，所述鏡組用于使來自鏡組焦點的光束平行出射，所述鏡組包括反射鏡組，所述反射鏡組具有至少一個第一反射面；至少一個衍射面，用于對所述光束進行散射并...

本申請實施例公開了一種光學設備的裝調方法以及裝調系統，該裝調方法包括：提供第一測試光源，將第一測試光源安裝于探測器位置；將第一光學元件安裝于第一光學元件位置；通過第一測試光源向第一光學元件發射第一測試光信號，基于第一測試光信號的傳輸光路...

本申請實施例公開了一種照明裝置以及檢測設備，用于減少目標光束產生的散斑，包括：光源、散光元件以及勻光元件；所述光源用于發出初始光束；所述散光元件用于分散所述散光元件接收的所述初始光束，得到漫射光束；所述勻光元件用于減小所述勻光元件接收的...