一種連接組件及調(diào)裝裝置，其中，連接組件包括連接件以及依次套置于連接件上的第一活動(dòng)件、固定件和第二活動(dòng)件，固定件用于固定裝設(shè)于被調(diào)件，連接件用于螺接預(yù)設(shè)載體，以將被調(diào)件夾緊固定于預(yù)設(shè)載體；固定件具有半球形的球面卡槽，第一活動(dòng)件和第二活動(dòng)件...

本申請(qǐng)公開了一種調(diào)節(jié)裝置，該調(diào)節(jié)裝置包括基座、活動(dòng)組件、待調(diào)元件、第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和第三調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。活動(dòng)組件與基座活動(dòng)連接，待調(diào)元件連接于活動(dòng)組件。第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于基座，且被配置為在第二方向上做直線運(yùn)動(dòng)。第二調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于基座...

一種檢測設(shè)備，包括承載裝置和檢測裝置；其中，承載裝置包括用于帶動(dòng)待檢工件沿第一方向運(yùn)動(dòng)的承載件，沿承載件的運(yùn)動(dòng)軌跡定義有第一工位和第二工位；檢測裝置包括沿第一方向間隔排布的第一檢測件和第二檢測件，第一檢測件沿第二方向布置于承載裝置的一側(cè)...

本實(shí)用新型公開了一種光學(xué)切換調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)及光學(xué)系統(tǒng)，光學(xué)切換調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括能夠安裝于光學(xué)系統(tǒng)上的驅(qū)動(dòng)器組件，用于光學(xué)組件的切換調(diào)節(jié)；驅(qū)動(dòng)器組件上設(shè)置有安裝光學(xué)組件的安裝位，且用于驅(qū)動(dòng)光學(xué)組件沿著第一方向、第二方向及第三方向中的一個(gè)或者多個(gè)方向...

本發(fā)明提供一種檢測方法，包括：分別對(duì)參考區(qū)沿每個(gè)待優(yōu)化方向的尺寸進(jìn)行優(yōu)化操作，所述優(yōu)化操作的步驟包括：獲取關(guān)于所述參考區(qū)沿待優(yōu)化方向的尺寸的判斷函數(shù)，所述判斷函數(shù)與參考區(qū)的檢測信息的信噪比或所述待測目標(biāo)值的魯棒性正相關(guān)或負(fù)相關(guān)；通過所述...

本實(shí)用新型涉及光學(xué)元件的吹氣防塵，具體涉及光學(xué)元件吹氣系統(tǒng)。光學(xué)元件吹氣系統(tǒng)，包括：承載基體，承載基體上設(shè)有至少兩處用于安裝對(duì)應(yīng)的光學(xué)元件的元件承載位；支撐座，固定在承載基體上，支撐座上設(shè)有至少一處吹氣模塊設(shè)置位；以及至少一個(gè)吹氣模塊，...

一種傳輸裝置及檢測設(shè)備，其中，傳輸裝置包括輸送機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及設(shè)置于運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的承載機(jī)構(gòu)，承載機(jī)構(gòu)承接和固定輸送機(jī)構(gòu)輸出的工件；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)使承載機(jī)構(gòu)帶動(dòng)工件，沿輸送機(jī)構(gòu)的傳輸方向作平移運(yùn)動(dòng)和繞承載機(jī)構(gòu)自身的軸線作轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，以使得承載機(jī)...

本申請(qǐng)實(shí)施例公開了翻轉(zhuǎn)裝置及檢測裝置，該翻轉(zhuǎn)裝置包括：升降組件、工件取放組件及工件翻轉(zhuǎn)組件；工件取放組件與升降組件滑動(dòng)連接，工件翻轉(zhuǎn)組件安裝于升降組件；升降組件用于驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)工件取放組件和工件翻轉(zhuǎn)組件沿豎直方向移動(dòng)；工件翻轉(zhuǎn)組件包括用于夾...

本實(shí)用新型提供了一種支撐平臺(tái)，包括承載件以及多個(gè)升降組件等，其中承載件上表面均勻布設(shè)有多個(gè)等高的支撐部，升降組件包括：升降部、固定部與第一驅(qū)動(dòng)部，固定部連接于承載件，待測面板傳運(yùn)至承載件上方后，升降部上升支撐住待測面板，隨后帶動(dòng)待測面板...

本實(shí)用新型提供一種鏡頭校準(zhǔn)裝置，涉及光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，調(diào)節(jié)模塊用于裝調(diào)鏡頭；調(diào)節(jié)模塊能夠相對(duì)于安裝基座進(jìn)行平移運(yùn)動(dòng)和/或偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；安裝基座上沿第一方向設(shè)有第一調(diào)節(jié)頂桿，安裝基座上沿第二方向設(shè)有第二調(diào)節(jié)頂桿，第一方向與第二方向垂直。裝配時(shí)，通...

本申請(qǐng)實(shí)施例公開了檢測設(shè)備，包括：設(shè)置于檢測基座的傳送軌道、檢測機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)裝置；傳送軌道上設(shè)有移載臺(tái)，移載臺(tái)用于承載目標(biāo)工件沿傳送軌道的延伸方向移動(dòng)；檢測機(jī)構(gòu)用于，對(duì)移至傳送軌道檢測工位的目標(biāo)工件的第一面進(jìn)行檢測；翻轉(zhuǎn)裝置用于，將移至傳...

本申請(qǐng)涉及一種光學(xué)檢測系統(tǒng)，主要包括位移臺(tái)、光源、顯微物鏡、光電探測器和偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中的偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)顯微物鏡的偏轉(zhuǎn)角度，顯微物鏡的偏轉(zhuǎn)角度用于改變檢測光的出射角度，通過修正檢測光使探測圖像對(duì)準(zhǔn)于標(biāo)準(zhǔn)圖像。技術(shù)方案利用偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)對(duì)顯微物...

本申請(qǐng)公開了一種定位裝置，該定位裝置包括底座、支撐結(jié)構(gòu)和多個(gè)定位組件。支撐結(jié)構(gòu)的一端連接于底座，多個(gè)定位組件分布于支撐結(jié)構(gòu)的周圍，定位組件包括驅(qū)動(dòng)件和接觸件，驅(qū)動(dòng)件的輸出端與接觸件連接。多個(gè)定位組件的驅(qū)動(dòng)件聯(lián)動(dòng)設(shè)置，以使多個(gè)驅(qū)動(dòng)件可選擇...

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的兼容型片盒載臺(tái)，具體涉及兼容型片盒載臺(tái)的調(diào)平。用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的兼容型片盒載臺(tái)包括片盒承載體，片盒承載體包括至少兩個(gè)相互分離的承載基體，各承載基體上均設(shè)有供片盒定位放置的定位區(qū)域，不同承載基體上的定位區(qū)域的尺...

本實(shí)用新型涉及承載裝置及檢測設(shè)備，具體涉及承載裝置的頂撐結(jié)構(gòu)。承載裝置包括承載盤、頂撐件、驅(qū)動(dòng)座、驅(qū)動(dòng)裝置，承載盤具有支撐面以及貫穿支撐面的避讓通道，頂撐件裝配在承載盤上，收容于避讓通道，頂撐件在其運(yùn)動(dòng)軌跡上具有向第一方向伸出支撐面以頂...

本實(shí)用新型涉及用于芯片制造的片盒的定位，具體涉及用于芯片制造的片盒載臺(tái)及一種設(shè)備前端模塊。用于芯片制造的片盒載臺(tái)包括設(shè)有用于支撐片盒的片盒承載面的承載基體及片盒定位結(jié)構(gòu)，片盒定位結(jié)構(gòu)能夠在第一方向和/或第二方向上對(duì)片盒形成限位；片盒定位...

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種平臺(tái)支腳和一種承載裝置。平臺(tái)支腳例如包括：支撐基座，包括支撐基座第一端，支撐基座第一端沿第一方向設(shè)置有第一通孔；球頭桿，包括相對(duì)的桿端和球頭端，球頭端設(shè)置有第一球頭部，桿端穿設(shè)于第一通孔內(nèi)，球頭端沿第一方向延伸...

本申請(qǐng)公開了一種工件提取裝置，包括底座、提取件以及翻轉(zhuǎn)組件。提取件活動(dòng)連接于底座，提取件用于提取工件，翻轉(zhuǎn)組件連接于底座的周側(cè)，翻轉(zhuǎn)組件與提取件連接。翻轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動(dòng)提取件和提取件所提取的工件從第一姿態(tài)翻轉(zhuǎn)至第二姿態(tài)。本實(shí)用新型提供的工...

本實(shí)用新型實(shí)施例公開的一種固定支架包括：固定部，與一待固定件固定連接；所述固定部上開設(shè)有在第一方向上貫穿的通孔；調(diào)節(jié)墊片，設(shè)置在所述通孔內(nèi)并可繞所述通孔的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；所述調(diào)節(jié)墊片上開設(shè)有在所述第一方向上貫穿的通槽。本實(shí)用新型實(shí)施例公開的調(diào)...

本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種檢測系統(tǒng)，檢測系統(tǒng)包括光源，適于發(fā)出與待測物表面成第一夾角且與所述待測物所在表面內(nèi)縱橫交錯(cuò)排布的切割道成45