一種懸浮支撐裝置以及檢測(cè)設(shè)備，懸浮支撐裝置包括：用于帶動(dòng)承載機(jī)構(gòu)移動(dòng)的移動(dòng)平臺(tái)、用于給移動(dòng)平臺(tái)提供移動(dòng)平臺(tái)空間的檢測(cè)平臺(tái)以及支撐機(jī)構(gòu)。支撐機(jī)構(gòu)包括安裝板、至少一個(gè)氣浮件以及多組磁性組件。安裝板位于移動(dòng)平臺(tái)和檢測(cè)平臺(tái)之間，安裝板固定在移動(dòng)...

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種固定裝置和檢測(cè)設(shè)備，所述固定裝置包括：第一固定臺(tái)、第二固定臺(tái)和鎖定機(jī)構(gòu)；所述第一固定臺(tái)的一側(cè)延伸形成有相對(duì)且間隔設(shè)置的第一延伸部和第二延伸部，所述第二固定臺(tái)的一側(cè)延伸形成有相對(duì)且間隔設(shè)置的第三延伸部和第四延伸部...

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種晶圓檢測(cè)平臺(tái)例如包括：檢測(cè)臺(tái)架；激光產(chǎn)生組件，設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)架上；快門組件，包括普克爾斯盒和偏振片，所述普克爾斯盒和所述偏振片分別設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)架上；擴(kuò)束組件，設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)架上；起偏器，設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)...

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種檢測(cè)設(shè)備、方法及系統(tǒng)，所述檢測(cè)設(shè)備包括：光源模組、成像模組和分析模組；所述光源模組用于向待測(cè)物出射檢測(cè)光；所述成像模組用于接收經(jīng)過所述待測(cè)物表面反射的反射光，并進(jìn)行成像，以獲取所述待測(cè)物表面的成像數(shù)據(jù)；所述分析模組...

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種成像系統(tǒng)和成像方法、檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法，成像系統(tǒng)包括：光源組件，用于向待測(cè)目標(biāo)出射檢測(cè)光，檢測(cè)光經(jīng)待測(cè)目標(biāo)形成信號(hào)光；探測(cè)組件，探測(cè)組件至少包括探測(cè)器件和第一處理器件；探測(cè)器件的探測(cè)面上具有N個(gè)光學(xué)采集模塊；N個(gè)光...

一種檢測(cè)方法和檢測(cè)系統(tǒng)，所述檢測(cè)方法在執(zhí)行第一掃描檢測(cè)時(shí)，根據(jù)所獲取所述待測(cè)物表面的第一檢測(cè)信息確定待測(cè)物表面所具有的第一目標(biāo)缺陷的信息；在執(zhí)行第二檢測(cè)掃描時(shí)，根據(jù)所述第二探測(cè)光斑與所述第一目標(biāo)缺陷之間的位置關(guān)系，控制第二探測(cè)光束以使照...

本發(fā)明提供一種檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，所述檢測(cè)方法包括：獲取樣品和第一檢測(cè)模塊，所述樣品包括至少一個(gè)參考點(diǎn)，所述第一檢測(cè)模塊用于對(duì)樣品進(jìn)行檢測(cè)并輸出檢測(cè)信息；通過第一檢測(cè)模塊對(duì)樣品的每個(gè)參考點(diǎn)分別進(jìn)行檢測(cè)處理，獲取初始位...

本申請(qǐng)公開了一種光束切換裝置、探測(cè)裝置及檢測(cè)設(shè)備，光束切換裝置應(yīng)用于探測(cè)裝置，探測(cè)裝置包括相機(jī)以及檢測(cè)鏡頭，光束切換裝置設(shè)于相機(jī)的接收光線的一側(cè)；光束切換裝置包括第一移動(dòng)裝置以及第一載臺(tái)，第一移動(dòng)裝置與第一載臺(tái)，第一移動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)第一...

本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，用于提升獲取待側(cè)點(diǎn)測(cè)量位置的便捷性。本申請(qǐng)實(shí)施例中的檢測(cè)方法包括：獲取樣品和第一檢測(cè)模塊，樣品包括多個(gè)參考點(diǎn)，通過第一檢測(cè)模塊對(duì)樣品的每個(gè)參考點(diǎn)分別進(jìn)行檢測(cè)處理，獲取初始位置...

一種隔振裝置及光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其中，隔振裝置包括承載組件、固定組件和減振組件；承載組件用于連接預(yù)設(shè)載體，固定組件用于將振源模塊固定于承載組件；減振組件設(shè)置于固定組件、振源模塊、承載組件和預(yù)設(shè)載體中一者或多者的連接位置，用于隔離振源模塊產(chǎn)生...

本實(shí)用新型提供一種光學(xué)設(shè)備，包括：濾波器，用于對(duì)照射至濾波器表面的入射光進(jìn)行濾波，所述入射光經(jīng)濾波器濾波后形成到達(dá)樣品的檢測(cè)光或者所述濾波器用于對(duì)來自樣品的入射光進(jìn)行濾波后形成檢測(cè)光；其中，所述濾波器包括多個(gè)子受光面，所述濾波器具有基準(zhǔn)...

一種檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，方法包括：獲取具有多個(gè)像素點(diǎn)的待處理圖像；對(duì)待處理圖像進(jìn)行第一識(shí)別處理，獲取待處理圖像中滿足第一閾值條件的像素點(diǎn)作為初始異常點(diǎn)；根據(jù)所述初始異常點(diǎn)獲取異常點(diǎn)；選取一個(gè)或多個(gè)與異常點(diǎn)相鄰的像素點(diǎn)作為...

本申請(qǐng)公開了一種檢測(cè)方法。檢測(cè)方法用于檢測(cè)樣品，樣品包括多個(gè)局部區(qū)域，檢測(cè)方法包括：提供局部圖像，局部圖像為樣品的一個(gè)局部區(qū)域的圖像；分別對(duì)樣品的每一個(gè)局部區(qū)域執(zhí)行待處理圖像獲取操作以生成待處理圖像；待處理圖像獲取操作包括：將局部圖像作...

本申請(qǐng)實(shí)施例公開了照明裝置以及檢測(cè)設(shè)備，用于提升對(duì)照明光的控制精度，包括：光源組件、光放大組件以及光闌組件；所述光源組件用于發(fā)射照明光；所述光闌組件和光放大組件均位于所述光源組件至樣品之間的光路上；所述光放大組件用于使所述光源組件的出光...

一種光纖調(diào)節(jié)裝置，包括：接頭組件以及第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；接頭組件用于安裝光纖；第一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一移動(dòng)組件、第一調(diào)節(jié)組件以及第二調(diào)節(jié)組件，第一調(diào)節(jié)組件以及第二調(diào)節(jié)組件分別裝設(shè)于預(yù)設(shè)組件上，第一調(diào)節(jié)組件用于驅(qū)動(dòng)第一移動(dòng)組件相對(duì)于預(yù)設(shè)組件在第一方...

一種檢測(cè)系統(tǒng)，包括：照明模塊，包括照明組件和第一鏡組，照明組件用于產(chǎn)生入射光；第一鏡組用于收集入射光、并將入射光照射至待測(cè)物，還用于收集入射光經(jīng)過待測(cè)物反射形成的信號(hào)光；成像模塊，包括成像組件，成像組件包括圖像采集器，圖像采集器用于根據(jù)...

一種承載裝置以及檢測(cè)設(shè)備，承載裝置包括：用于固定待載工件的吸盤。位于吸盤下方的連接層，連接層和吸盤可拆卸連接。固定在連接層上的旋轉(zhuǎn)接頭，旋轉(zhuǎn)接頭的一端用于和吸盤上的氣孔連通，另一端用于和氣源連通。以及轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)位于連接層下方，轉(zhuǎn)臺(tái)包括轉(zhuǎn)...

本申請(qǐng)公開了一種檢測(cè)設(shè)備，包括輸送組件、與所述輸送組件連接的安裝支架、以及設(shè)置于所述安裝支架上的視覺檢測(cè)器和光學(xué)檢測(cè)組件；所述視覺檢測(cè)器用于對(duì)待測(cè)工件進(jìn)行拍照檢測(cè)，所述光學(xué)檢測(cè)組件包括對(duì)射且間隔分布的第一檢測(cè)探頭和第二檢測(cè)探頭，所述第一...

一種上下料料倉裝置，包括料倉機(jī)構(gòu)，料倉機(jī)構(gòu)包括多個(gè)料倉組件，多個(gè)料倉組件沿第一水平方向和第二水平方向兩兩相對(duì)布置，相對(duì)布置的兩個(gè)料倉組件被配置成可控地相互靠近和遠(yuǎn)離，以在多個(gè)料倉組件之間形成沿豎直方向延伸分布的料倉空間，料倉空間用于容納...

本申請(qǐng)公開了一種切換裝置。切換裝置包括第一光學(xué)部、第二光學(xué)部、第一驅(qū)動(dòng)部及第二驅(qū)動(dòng)部。第一光學(xué)部包括多組第一光學(xué)元件。第二光學(xué)部包括多組第二光學(xué)元件。第一光學(xué)部連接于第一驅(qū)動(dòng)部，第一驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)第一光學(xué)部沿直線運(yùn)動(dòng)，以擇一地切換一組第...