本實用新型公開一種位置監測裝置及檢測設備，所述監測裝置包括可轉動的承載盤和至少一個隨所述承載盤同步轉動的傳感器，所述承載盤包括承載面，所述承載面用于承載待測物，所述至少一個傳感器用于檢測待測物是否存在于所述承載面和/或檢測待測物與所述承...

一種檢測裝置，包括：照明模塊，包括沿光路傳輸方向依次設置的光源組件、第一狹縫元件和第一鏡組，所述光源組件用于產生光束，所述第一狹縫元件用于使所述光束透過產生入射光，所述第一鏡組對第一狹縫元件進行成像以在待測物表面形成第一狹縫元件的縮小的...

本實用新型提供了一種物鏡及成像系統，該物鏡包括了第一鏡組和第二鏡組。第一鏡組用于減少物鏡的色差，第二鏡組用于減少物鏡的場曲，第一鏡組又包括了第一子鏡組和第二子鏡組，第一子鏡組用于增加物鏡的數值孔徑，第二子鏡組用于減小物鏡的色差。該物鏡中...

本實用新型公開了一種照明裝置及檢測系統，包括：光源組件和切光模組，切光模組包括：第一光闌組件和第二光闌組件，第一光闌組件包括第一透光區和位于第一透光區外圍的第一遮光區，第一透光區的尺寸可調；第二光闌組件包括第二透光區和位于第二透光區外圍...

本實用新型公開一種調節裝置及光學設備，其中調節裝置包括基座和調節件；所述基座設置有限位結構；所述調節件包括安裝部、調節部和彈性部；所述安裝部位于所述基座的頂部；所述調節部位于基座內；所述安裝部設置有弧形結構，所述限位結構位于所述弧形結構...

本實用新型提出一種調節機構，包括第一支架、第二支架以及壓緊結構，所述第一支架用于固定光束的輸入端和輸出端的其中之一；所述第二支架用于固定光束的輸入端和輸出端的其中之另一，至少部分所述第二支架設置于所述壓緊結構與所述第一支架之間，所述壓緊...

本發明提供一種光學檢測裝置，包括：所述處理器用于對所述掃描相機拍攝的圖像進行特征檢測，得到缺陷位置分布；所述光學檢測裝置還包括第一支架以及設置在所述第一支架上的第一復檢相機、第二支架以及設置在所述第二支架上的第二復檢相機；所述處理器用于...

本實用新型實施例公開的一種承載設備例如包括：基板；承載裝置，設置在所述基板上、且具有承載面；升降組件，設置在所述基板上、且位于所述承載裝置的外圍；以及多個定位件，分別設置在所述升降組件遠離所述基板的一側上，所述多個定位件用于在所述升降組...

本申請涉及一種模型訓練方法、圖像檢測方法及計算機裝置，其中模型訓練方法包括：獲取待測件的M個標注圖像，逐次生成隨機數并將每次生成的隨機數與預設的閾值進行數值比較；當得到第一比較結果時，從M個標注圖像中隨機選取N個標注圖像，并根據預設的第...

本實用新型實施例公開的一種承載裝置，包括：承載層，設置多個第一安裝孔；間隔層，連接在承載層一側、設置多個第二安裝孔，多個第一安裝孔與多個第二安裝孔的第一部分第二安裝孔相對應；氣路連接層，連接在間隔層遠離承載層一側、且與承載層、間隔層形成...

本實用新型實施例公開的一種承載設備，包括：氣浮承載裝置，包括承載層、間隔層和氣路連接層，所述間隔層連接在所述承載層的一側，所述氣路連接層連接在所述間隔層遠離所述承載層的一側，所述承載層、所述間隔層和所述氣路連接層之間形成有第一氣壓通道和...

本實用新型公開了一種變距機械手及搬運裝置，變距機械手包括支架、驅動機構和多個變距組件，所述驅動機構包括可直線往復運動的輸出件，每一所述變距組件包括連桿、滑塊和與所述滑塊連接的抓取機構，所述連桿的兩端分別與所述輸出件和所述滑塊可轉動地連接...

本實用新型公開一種承載裝置、承載臺和檢測設備，其中，所述承載裝置包括承載本體與至少兩個拼接單元，兩所述拼接單元連接并均與所述承載本體連接，所述拼接單元包括：安裝板，所述安裝板設有多個讓位口；第一連接板，所述第一連接板折彎連接于所述安裝板...

本申請公開了一種調節裝置、鏡頭組件及檢測設備，調節裝置包括第一基座臺以及第一調節件，第一調節件與第一基座臺連接，第一調節件包括至少一個第一調節螺絲；第一基座臺上設有第一轉動部，第一調節螺絲與第一轉動部設于第一基座臺相對的兩側，調節裝置還...

本申請公開了一種承載組件及檢測設備，所述承載組件包括承載本體以及載臺，所述承載本體與所述載臺固定連接，所述載臺設有凹槽，所述承載本體設于所述凹槽內，并與所述凹槽的底部或側壁連接；所述承載組件還包括移動裝置，所述移動裝置與所述載臺連接，所...

本申請公開了一種測量平臺與檢測設備，測量平臺包括測量底座，測量支架以及至少一個探測裝置，測量支架與測量底座垂直設置，測量平臺還包括第一支架，第一支架具有通孔；探測裝置包括鏡頭、固定架以及探測器，固定架的一端與鏡頭連接，另一端與探測器連接...

本申請公開了一種位移裝置、鏡頭組件及檢測設備，所述位移裝置通過所述第一推桿推動所述內框框架，能夠帶動所述內框框架沿著所述第一導向框的內側壁的延伸方向進行移動，從而通過所述第一導向框限制所述內框框架的移動方向，并且在所述內框框架移動過程中...

本申請實施例公開了一種筒鏡以及光學設備，該筒鏡包括：從物方側到像方側依次設置的第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡，其中，所述第一透鏡的物側面為凸面，像側面均為凸面，所述第二透鏡的物側面為凹面，像側面為平面，所述第三透鏡的物側面為凸面，像側面為...

本發明實施例公開的缺陷檢測方法例如包括：獲取包含待測晶圓的第一待測晶粒在內的待測晶粒圖像；獲取第一、第二和第三灰階參考圖像，其中，第一、第二和第三灰階參考圖像中對應位置的灰度值依次對應為第一、第二和第三灰度值，且第一灰度值不大于第二灰度...

本實用新型公開了一種吸盤機構和檢測裝置，吸盤機構包括：承載件、檢測孔、檢測光源、旋轉基座、吸附件以及運動組件，吸盤作為承載待背檢平臺，承載面被劃分為外圈的第二承載區域以及被第二承載區域包圍于內圈的第一承載區域，以及包圍于第二承載區域外的...