本申請公開了一種檢測系統。檢測系統包括光源、探測器和鏡頭，光源用于產生照射待測件的探測光，鏡頭接收經待測件反射的探測光，探測器用于根據反射的探測光成像，探測器為時間延遲積分相機，鏡頭為物方遠心鏡頭。本申請實施方式的檢測系統中，由于鏡頭為...

一種晶圓檢測裝置，包括驅動件、用于承載晶圓傳送盒的固定臺和用于收發檢測信號的檢測件，固定臺上設有缺口位，檢測件沿前后方向布置在晶圓傳送盒的開口側，驅動件連接檢測件或固定臺，以沿上下方向驅使檢測件與固定臺發生相對運動。利用缺口位與檢測件之...

本申請公開了一種承載裝置及檢測設備，所述承載裝置包括承載臺與吸附件，所述吸附件的周側包括多個支撐件，多個所述支撐件設于所述承載臺上，并且每個所述支撐件與所述吸附件的中心位置的距離相同，所述支撐件的支撐面的高度突出于所述吸附件的吸附面；所...

本發明公開了一種運動平臺的校準方法及裝置，所述運動平臺包括特征圖案，所述校準方法包括：獲取所述特征圖案在標定圖像中的基準位置，其中，標定圖像由所述運動平臺運動至預設坐標位置并采集得到；控制運動平臺運動至預設坐標位置，并獲取特征圖案在測試...

一種調節工具，包括具有沿其軸向相對的第一端和第二端的細長桿以及分別設置在細長桿的第一端與第二端的接合部和握持部；其中，接合部采用外徑≦7mm的柱體結構并具有接合槽孔，接合槽孔被構造成能夠收容待調節件的至少一部分，并阻止待調節件相對所述細...

本發明公開了一種光學檢測系統及檢測設備，所述光學檢測系統包括第一光源和第二光源，所述第一光源具有腔體，所述腔體具有半球形的發光面，所述第一光源的光線穿過所述腔體的內部空間射向待測物，所述腔體的腔壁上設有通孔，所述第二光源的光線穿過所述通...

本申請公開了一種檢測系統、檢測方法以及檢測設備，該檢測系統包括：檢測元件和處理元件，其中，所述檢測元件用于獲取設置在檢測設備的光路中的光學元件對所述光路中的光線進行處理輸出的光信號的性能值；所述處理元件與所述檢測元件通信連接，并且配置為...

本申請公開了一種檢測系統、檢測方法以及檢測設備，該檢測系統應用于半導體檢測設備，所述半導體檢測設備中包括至少一個光學元件，該檢測系統包括檢測裝置和處理裝置，其中，所述檢測裝置用于獲取所述至少一個光學元件對所述半導體檢測設備的光路中的光線...

本申請實施例公開了一種檢測系統、檢測方法以及檢測設備，該檢測系統包括：光學元件、檢測元件和處理元件，其中，所述光學元件設置在所述檢測系統的光路中，用于對所述光路中的光線進行處理，輸出光信號；所述檢測元件用于獲取所述光學元件處理所述光線輸...

本發明提供了一種測量系統和測量方法，包括：光發射模塊，用于產生泵浦光和探測光，泵浦光沿第一光路入射到待測物表面形成第一光斑，并使待測物中形成聲波，探測光沿第二光路入射到待測物表面形成第二光斑，探測光被待測物反射后形成信號光；光調制模塊，...

本發明提供一種檢測方法及檢測系統，其中，方法包括：獲取待測物的圖像，得到待處理圖像，所述待測物表面具有待測目標，所述待處理圖像包括所述待測目標的目標圖像；對待處理圖像進行劃分處理，獲取至少一個感興趣圖像，所述感興趣圖像包括至少部分待測目...

本發明提供一種檢測方法及檢測系統，其中，方法包括：根據所述待處理圖像獲取感興趣圖像，所述感興趣圖像具有第二方向，所述第二方向自所述目標圖像延伸至非目標圖像；根據所述感興趣圖像的像素灰度值，獲取所述第二方向上的像素位置的灰度曲線；對所述感...

一種邊緣檢測方法、裝置以及存儲介質，邊緣檢測方法包括：獲取待測物體的待測表面的至少一個邊緣區域的尺寸；根據第一探測器的探測尺寸以及第二探測器的探測尺寸，將每個邊緣區域沿各自的長度方向劃分多個平行的子檢測區域；控制第一探測器以及第二探測器...

一種邊緣檢測方法、裝置以及存儲介質，邊緣檢測方法，包括：邊緣獲取步驟：獲取待測物體的邊緣區域組的尺寸，待測物體包括至少兩個邊緣區域組；每一個邊緣區域組包括兩個平行的邊緣區域；邊緣掃描步驟：控制第一探測器以及第二探測器對一個邊緣區域組進行...

本發明實施例公開的一種氣浮承載裝置包括：承載層，包括承載面，承載面上設置第一氣孔、第二氣孔、第一支導氣管和第一主導氣管，第一支導氣管連通第二氣孔；間隔層，與承載層形成第一空腔，第一空腔連通第一氣孔和第一主導氣管；間隔層上設置第一主導氣管...

一種光路控制裝置及激光器，其中，光路控制裝置包括可旋轉鏡，可旋轉鏡設有第一鏡部、第二鏡部和第三鏡部，第一鏡部與第三鏡部位于可旋轉鏡的同一側，第一鏡部與第二鏡部位于可旋轉鏡的相對側，當第一鏡部位于光路中時，可旋轉鏡能夠通過第一鏡部反射入射...

本發明提供了一種測量系統和測量方法，包括光發射模塊、調制模塊和探測模塊，光發射模塊用于產生第一泵浦光和探測光；調制模塊包括：第一分光組件，用于將第一泵浦光分成第一光束和第二光束；光開關，用于控制第一光束的光路和/或第二光束的光路的通斷；...

本發明提供了一種測量系統和測量方法，包括：光發射模塊，用于產生泵浦光和探測光，并使泵浦光照射待測物，在待測物中形成聲波，聲波在待測物相對的表面之間傳播；時間延遲器，用于調節探測光和泵浦光之間的延遲時間；干涉模塊包括參考鏡和分束組件，分束...

本申請實施方式的檢測方法包括在待測件的待測部位于檢測設備的視場范圍內的情況下，通過檢測設備進行第一檢測，以獲取來自待測部的第一輻射，并根據第一輻射獲取待測部的第一檢測信息；根據第一檢測信息，確定待測部與目標位置在垂直于檢測設備輻射的中心...

本申請公開了一種圖像識別方法，包括：獲取模板圖像，獲取模板圖像中的特征點，所述特征點為梯度幅值大于第一閾值的像素點；遍歷所述特征點進行篩選，將遍歷到的特征點作為第一目標特征點：在以所述第一目標特征點為中心的第一大小的搜索區域內，沿所述第...