一種閥島和設(shè)備，涉及氣體流通設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，閥島包括閥座和閥門，所述閥座內(nèi)設(shè)有腔體和進流道，所述進流道的一端和所述腔體連通，所述進流道的另一端和所述閥門連通；所述腔體呈柱狀，所述進流道的一端和所述腔體的側(cè)壁連接；第一面為所述進流道和所述側(cè)...

本公開實施例提供一種相機脈沖觸發(fā)方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。該方法包括：向機臺發(fā)送第一指示信息，并在機臺滿足第一類判斷條件時，向目標相機發(fā)送脈沖信號，然后在機臺運動至所在螺旋線的半徑滿足第一設(shè)定條件時，向機臺發(fā)送第二指示信息，再在機臺滿...

本申請一實施方式提供一種機械手及機械設(shè)備。機械手包括支撐部件、第一驅(qū)動部件、第二驅(qū)動部件、手臂部件及線纜，第一驅(qū)動部件設(shè)于支撐部件，第二驅(qū)動部件與第一驅(qū)動部件連接，第一驅(qū)動部件用于驅(qū)動第二驅(qū)動部件及手臂部件沿高度方向運動，第二驅(qū)動部件用...

一種清洗組件和半導(dǎo)體設(shè)備，涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。清洗組件包括頂罩、風(fēng)扇和鐘罩；所述頂罩和所述鐘罩圍合形成散熱腔，所述頂罩設(shè)置有進氣孔，所述風(fēng)扇內(nèi)的風(fēng)扇通道和所述進氣孔連通形成進風(fēng)通道，所述進風(fēng)通道和所述散熱腔連通，所述風(fēng)扇工作時驅(qū)...

本申請公開了一種頂針裝置，涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。頂針裝置包括頂針機構(gòu)和升降機構(gòu)；頂針機構(gòu)包括頂針基座和固定于頂針基座上的頂針；升降機構(gòu)中，升降軸固定連接于頂針基座，升降驅(qū)動器的輸出端固定有運動基座，升降軸活動連接于運動基座上，并可...

本申請實施例提供一種磁場調(diào)節(jié)機構(gòu)、反應(yīng)室及等離子體設(shè)備。磁場調(diào)節(jié)機構(gòu)應(yīng)用于等離子體設(shè)備的反應(yīng)室，反應(yīng)室設(shè)有反應(yīng)腔室，磁場調(diào)節(jié)機構(gòu)包括磁性組件和導(dǎo)向組件，磁性組件用于在反應(yīng)腔室內(nèi)產(chǎn)生第一磁場；磁性組件活動連接于導(dǎo)向組件，磁性組件能夠沿導(dǎo)向...

本申請實施方式提供一種輸送系統(tǒng)、前驅(qū)體盒及半導(dǎo)體設(shè)備。輸送系統(tǒng)包括：汽化裝置，用于汽化前驅(qū)體；前驅(qū)體管路，包括前驅(qū)體管、第一前驅(qū)兩通閥、第二前驅(qū)兩通閥、第一三通閥及第二三通閥，所述前驅(qū)體管與所述汽化裝置連接，所述第一前驅(qū)兩通閥、所述第一...

本申請?zhí)峁┮环N功率合成器和射頻電源，功率合成器包括至少兩個功率放大電路和隔離電路，至少兩個功率放大電路的輸出端并聯(lián)到功率合成器的輸出端。功率放大電路中包括功率管和匹配電路，功率管的第一連接端作為功率放大電路的輸入端，功率管的第二連接端通...

管路和設(shè)備，涉及設(shè)備管路清潔技術(shù)領(lǐng)域，管路包括：介質(zhì)管路、清潔管路和第一截止裝置，清潔管路包括第一清潔入管、清潔出管和第二清潔入管，第一清潔入管的一端連接在介質(zhì)出管上，第二清潔入管的一端連接在介質(zhì)入管上，第一清潔入管的另一端和第二清潔入...

本申請?zhí)峁┝艘环N橋式電路以及開關(guān)電源，橋式電路包括至少一個橋臂和至少一個抗串擾電路，橋臂包括串聯(lián)的兩個驅(qū)動開關(guān)管，抗串擾電路包括取反電路和鉗位開關(guān)管，驅(qū)動開關(guān)管的第一端連接控制器以及鉗位開關(guān)管的第一端，驅(qū)動開關(guān)管的第二端連接鉗位開關(guān)管的...

本申請實施例提供了一種工藝腔室和工藝設(shè)備，工藝腔室包括腔體，腔體用于傳輸電磁波；至少一個開口，至少一個開口設(shè)置于腔體；至少一個導(dǎo)電件，至少一個導(dǎo)電件數(shù)量小于等于至少一個開口的數(shù)量，每個導(dǎo)電件設(shè)置于至少一個開口中的一個開口內(nèi)，每個導(dǎo)電件的...

本申請?zhí)峁┝艘环N阻抗匹配器以及阻抗匹配方法，阻抗匹配器包括匹配電路和控制模塊，匹配電路包括至少一個匹配電感和多個可變匹配電容，匹配電路與匹配負載相連，控制模塊獲取多組匹配電感值，并基于任一組匹配電感值、第一目標阻抗、每次迭代匹配前的阻抗...

本申請?zhí)峁┝艘环N蓋合機構(gòu)及工業(yè)設(shè)備，涉及精密制造技術(shù)領(lǐng)域。蓋合機構(gòu)包括蓋體、支撐體、腔體、密封件、第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸。蓋體通過第二轉(zhuǎn)軸與支撐體可旋轉(zhuǎn)地連接，并能夠相對于支撐體繞第二轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。支撐體通過第一轉(zhuǎn)軸與腔體可旋轉(zhuǎn)地連接，支撐體用...

本申請實施例提供了一種預(yù)清洗腔室和預(yù)清洗設(shè)備，預(yù)清洗設(shè)備包括預(yù)清洗腔室，預(yù)清洗腔室包括第一腔壁、進氣件和第二腔壁，進氣件連接于第一腔壁與第二腔壁之間，第一腔壁、進氣件和第二腔壁圍成空腔，進氣件朝向第一腔壁的面與第一腔壁之間形成縫隙，縫隙...

本申請公開一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備噴淋頭，穹頂蓋和勻氣盤相對固定裝配形成勻氣腔，一個或多個導(dǎo)熱柱安裝在勻氣腔之內(nèi)，且導(dǎo)熱柱的兩端分別導(dǎo)熱接觸穹頂蓋和勻氣盤，導(dǎo)熱柱一方面可起到支撐作用，加強穹頂蓋和勻氣盤之間的支撐強度；導(dǎo)熱柱另一方面可起到熱量...

本申請實施例公開了一種信號檢測裝置、信號檢測方法及電子設(shè)備，通過采集單元采集電子設(shè)備中的監(jiān)測點的至少一個射頻監(jiān)測信號，并將采集到的每一個射頻監(jiān)測信號輸出。該每一個射頻監(jiān)測信號包括多個點頻信號，為了得到目標信號，可通過信號對消單元接收采集...

本申請?zhí)峁┮环NX射線熒光光譜儀和量檢測設(shè)備，涉及量檢測技術(shù)領(lǐng)域。X射線熒光光譜儀包括樣品臺、多毛細管、單色鏡以及探測器；樣品臺用于放置樣品，樣品接收X射線、并被X射線激發(fā)出初始熒光，初始熒光包括第一熒光光子和第二熒光光子，第一熒光光子的...

本申請?zhí)峁┝司A缺陷分類方法、設(shè)備、系統(tǒng)、存儲介質(zhì)及程序產(chǎn)品，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括確定待分類晶圓的至少一個缺陷圖像；基于預(yù)設(shè)的晶圓缺陷分類模型對至少一個缺陷圖像進行缺陷分類，以確定待分類晶圓的缺陷類型；預(yù)設(shè)的晶圓缺陷分類模型的訓(xùn)...

本申請實施方式提供一種負載鎖定室及半導(dǎo)體設(shè)備。負載鎖定室包括：腔體，設(shè)有至少一個充氣端口及第一腔室，所述至少一個充氣端口與所述第一腔室相互連通；第一蓋體，第一蓋體蓋合在所述第一腔室上并與所述腔體連接，所述第一蓋體與所述腔體的內(nèi)壁共同形成...

本申請實施例提供了一種工藝腔室和半導(dǎo)體設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備包括工藝腔室，工藝腔室包括腔體、氣泵和控壓閥；腔體的底部中心設(shè)有第一通孔；氣泵設(shè)置于腔體外，與第一通孔連通；控壓閥包括閥板和至少一個驅(qū)動組件，閥板設(shè)置于腔體內(nèi)且正對第一通孔，至少一個...