本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括反應(yīng)腔室

本申請公開一種改善分立器件翹曲度的方法，其中改善分立器件翹曲度的方法包括：在半導(dǎo)體器件最頂層沉積

本申請涉及一種監(jiān)控清洗試劑有效刻蝕的方法，包括：配置不同含水量的清洗液，清洗液包括三乙醇胺

本申請公開一種摻雜區(qū)域檢測方法，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，方法包括：在第一樣品的摻雜區(qū)域上方沉積保護(hù)層，將摻雜區(qū)域與對應(yīng)保護(hù)層從第一樣品上切割下來作為第二樣品，將第二樣品粘接在耐酸材質(zhì)的樣品載網(wǎng)上；通過聚焦離子束對第二樣品進(jìn)行減薄加工，對...

本發(fā)明提供一種

本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓的光阻涂布方法

本申請實(shí)施例涉及一種晶圓背面工藝的監(jiān)測方法以及監(jiān)測晶圓的制備方法，包括：提供待處理的監(jiān)測晶圓；對待處理的監(jiān)測晶圓執(zhí)行背面工藝，以得到監(jiān)測晶圓；背面工藝包括形成背面金屬層，背面金屬層與待處理的監(jiān)測晶圓的接觸處形成有刺入待處理的監(jiān)測晶圓的突...

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種具有防脫落功能的萬用表，該具有防脫落功能的萬用表包括殼體以及表筆，殼體上設(shè)置有插孔，殼體的內(nèi)部設(shè)置復(fù)位機(jī)構(gòu)，復(fù)位機(jī)構(gòu)包括彈出按鈕以及限位塊，彈出按鈕的一端伸出殼體外，限位塊的一端伸入到插孔中，彈出按鈕用于控制限位...

本實(shí)用新型提供一種扳手結(jié)構(gòu)，包括：扳手頭部

本申請?zhí)峁┮环N隔離結(jié)構(gòu)及其制作方法，該隔離結(jié)構(gòu)包括襯底

本申請實(shí)施例提供了一種圖形化工藝質(zhì)量檢測方法

本發(fā)明提供一種介電層及其制作方法，該介電層的制作方法包括以下步驟：提供至少一晶圓，將晶圓固定于靜電吸附盤上，靜電吸附盤上設(shè)有獨(dú)立氦氣冷卻模塊，依次執(zhí)行沉積前的設(shè)備啟動(dòng)操作及加熱工作；將獨(dú)立氦氣冷卻模塊的壓力值設(shè)為第一預(yù)設(shè)值并穩(wěn)定膜層沉積...

本申請實(shí)施例公開了一種半導(dǎo)體器件及其制造方法，該半導(dǎo)體器件包括半導(dǎo)體襯底

本申請公開了一種光刻膠涂布裝置，該光刻膠涂布裝置包括冷卻模組

本實(shí)用新型提供了一種烘烤治具及烘烤設(shè)備，該烘烤治具包括固定座，間隔設(shè)置有兩個(gè)；支撐組件，兩端分別與兩個(gè)固定座連接；支撐組件包括：至少一個(gè)支撐部，用于支撐石英配件，支撐部的兩端分別與兩個(gè)固定座連接；若干第一插接部，沿支撐部的長度方向間隔設(shè)...

本實(shí)用新型提供了一種輔助定位卡尺，輔助定位卡尺包括兩種卡尺和若干定位孔，兩種卡尺分別是固定卡尺和移動(dòng)卡尺，固定卡尺具有若干刻度線，移動(dòng)卡尺垂直連接固定卡尺，并可沿固定卡尺移動(dòng)；固定卡尺的兩端

本發(fā)明提供一種肖特基勢壘二極管器件結(jié)構(gòu)及其制造方法，通過在襯底中形成具有第一導(dǎo)電類型的第一埋層，以及在第一漂移區(qū)中形成第一導(dǎo)電類型的第二漂移區(qū)，并結(jié)合部分第二漂移區(qū)及部分第一漂移區(qū)上的場板，使得場板

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件及其制造方法，通過在

本申請公開了一種掩膜關(guān)鍵尺寸的確定方法

本申請實(shí)施例公開了一種離子注入機(jī)臺(tái)的溫控能力檢測方法及裝置