本發明提供一種NOR Flash的版圖及制備方法，NOR Flash的版圖包括有源區圖形、浮柵圖形和控制柵圖形，浮柵圖形與有源區圖形垂直相交設置，且在每個相交點上均具有一個所述浮柵圖形，浮柵圖形位于控制柵圖形內，使得采用NOR Flas...

本發明提供了一種去除光刻膠殘留物的方法，包括：提供晶圓，在晶圓上形成第一圖案化光刻膠層，此時第一圖案化光刻膠層所暴露的區域存在光刻膠殘留物；對晶圓進行等離子體預處理，以去除光刻膠殘留物，等離子體預處理的工藝氣體至少包含O2。本發明提供的...

本申請涉及氣體偵測設備技術領域，公開了一種可移動手持式氣體偵測裝置，包括主體座和可拆卸連接在主體座上的氣體偵測器，主體座面向氣體偵測器的一端開設有安裝槽，氣體偵測器設于安裝槽內并與安裝槽相匹配，主體座內設有蓄電池，蓄電池與氣體偵測器電性...

本發明提供一種半導體器件的制備方法，包括步驟：提供一襯底；在襯底正面及背面形成不同深度的正面溝槽和背面溝槽，所述背面溝槽的位置和延伸方向與所述正面溝槽的位置和延伸方向對應；于所述襯底正面、正面溝槽的頂部、側壁和底部，所述襯底背面、背面溝...

本發明提供一種晶圓熱應力仿真模型的建模方法，建模方法包括：建立幾何模型，模型包括襯底以及設置于襯底正面的多個溝槽，于襯底正面、溝槽的頂部、側壁和底部以及襯底背面設置氧化硅薄膜，幾何模型中的襯底正面、溝槽的頂部、側壁和底部以及襯底背面的氧...

本申請公開一種墊具，墊具用于輔助氣相沉積設備的圓盤噴頭水平放置，墊具包括支撐部和設置于支撐部一側的限位部，支撐部遠離限位部的表面用于放置圓盤噴頭，限位部用于阻擋圓盤噴頭移動。在本申請中，通過設置支撐部，使得支撐部可以輔助圓盤噴頭水平放置...

本發明提供一種有機硅彈性體及其制備方法、柔性傳感器及其制備方法。有機硅彈性體以有機硅氧烷作為柔性鏈段，二異氰酸酯類原料為剛性鏈段，引入擴鏈劑，預聚物反應體與金屬鹽發生絡合反應引入金屬配位鍵，通過擴鏈反應和絡合反應獲得基于金屬配位鍵和氫鍵...

本發明提供一種晶圓控片的重復使用方法，通過在晶圓控片上預先生長保護膜層來保護晶圓控片，使得后續進行CVD制程監控時，在等離子體化學氣相沉積工藝膜層的過程中，不會因為使用等離子體而對晶圓控片造成結構損傷，不會出現晶圓控片缺陷數值過高的情況...

本實用新型提供一種裝藥輔助工具，包括接口、固定桿、裝藥管及活塞，其中，接口包括固定部和接觸部，接觸部的前端與固定部密封連接；固定桿活動安裝在固定部，用于固定伸入所述接口的藥瓶口或藥管口；裝藥管的前端與接觸部的后端密封連接，裝藥管的內部與...

本申請涉及一種壓力檢測電路、裝置及化學機械研磨設備，壓力檢測電路包括：壓力檢測模塊，與化學機械研磨機臺連接，用于實時檢測并顯示所述機臺進行化學機械研磨時的壓力值；以及在所述壓力值位于預設壓力范圍內時，輸出第一目標電壓，反之，輸出第二目標...

本申請涉及一種高壓斷路器小車的操作手柄以及高壓斷路器小車，包括：轉動臂；所述轉動臂的一端連接有開啟部；呈U形的轉動桿，所述轉動桿的開口兩側分別具有第一連接端以及第二連接端，所述第一連接端與所述轉動臂的另一端連接；以及握把，與所述第二連接...

本實用新型提供一種防干擾保護裝置及PVD設備，涉及集成電路制造技術領域。所述防干擾保護裝置包括屏蔽罩和地線，所述屏蔽罩用于罩設氣體測量儀器，所述屏蔽罩與所述氣體測量儀器之間留有間隙，所述屏蔽罩通過地線與機臺殼體連接。本實用新型可降低PV...

本實用新型提供了一種石英配件運輸裝置，包括：車廂，所述車廂包含相互未連通的第一空腔、第二空腔和第三空腔，所述第二空腔和所述第三空腔設置于所述第一空腔的同一側，所述第二空腔設置于所述第三空腔上；車輪，所述車輪可轉動地設置于所述車廂的下方，...

本發明提供一種改善晶圓翹曲的方法，在待改善的晶圓的背面形成與晶圓的應力類型相同的輔助薄膜，以抵消掉晶圓的應力，從而改善晶圓的翹曲度，降低因晶圓的翹曲造成的如報警、裂紋、破片等風險，以提高生產效率及生產良率。以提高生產效率及生產良率。以提...

本實用新型提供一種晶舟結構，用于承載晶圓，所述晶舟結構包括自下而上依次設置的多個承載單元，每個所述承載單元包括至少兩個承載結構，至少兩個所述承載結構呈圓周均勻分布形成一承載面；各所述承載結構沿所屬的所述承載面的徑向延伸，具有相對的第一端...