本發(fā)明提供一種半導體結構及其形成方法，所述方法包括：提供襯底，所述襯底內(nèi)形成有高壓阱區(qū)和低壓阱區(qū)；執(zhí)行第一工藝步驟，所述第一工藝步驟包括：在所述高壓阱區(qū)的所述襯底上形成依次堆疊的第一柵極氧化層和浮柵層；至少刻蝕去除在執(zhí)行所述第一藝步驟時...

本申請實施例提供的便攜式拆裝套環(huán)螺絲工具中，該套環(huán)螺絲拆卸專用工具包括承力桿和卡接件；其中，卡接件位于承力桿的一端，且卡接件遠離承力桿的一端設有施力口。由于承力桿為細長的桿，且用于拆卸套環(huán)螺絲的卡接件僅位于承力桿的一端，因此在通過本申請...

本申請實施例提供的石英蓋板安裝工具中，包括第一夾持架和第二夾持架。其中，第一夾持架包括沿不同方向設置的第一夾持部和第二夾持部。第二夾持架包括沿不同方向設置的第三夾持部和第四夾持部。由于石英蓋板有四個手抓的凹槽，通過將第一夾持部、第二夾持...

本實用新型提供一種防擋濺環(huán)平整度的檢測裝置，所述檢測裝置包括工作臺、夾具以及連接桿，將拆裝或清洗后的防擋濺環(huán)放置在工作臺上從而利用多個限位柱進行固定，并結合氣泡水平儀以及豎直設置在工作臺的底部的高度可調(diào)的支撐腳杯進行水平調(diào)準，對設置于夾...

本申請涉及一種氣體分布盤、電極板和半導體蝕刻系統(tǒng)，該氣體分布盤，應用于半導體蝕刻系統(tǒng)，包括盤體，盤體上設置有均勻分布的進氣孔，各個進氣孔一一對應位于呈蜂窩狀陣列分布的各個六邊形區(qū)域上，在氣體在通過該氣體分布盤時能夠使得氣體均勻通過，從而...

本申請涉及一種鑷子。本申請?zhí)岢龅蔫囎影ㄖ黧w部分、夾持部分及鎖定件。夾持部分包括沿第一方向并行延伸設置的兩個夾臂，兩個夾臂與主體部分分別連接，且兩個夾臂具有相互抵接的夾持狀態(tài)。鎖定件可旋轉地安裝于夾持部分，以在鎖定件旋轉至鎖定位置時，將...

本實用新型涉及一種靜電卡盤的拆裝工具，當需要對靜電卡盤上的定位螺絲進行拆除時，使插入部伸入到安裝孔內(nèi)部，插入部的兩個凸塊分別與位于安裝孔內(nèi)部的定位螺絲端面上的兩個操作孔對位，并分別插入到兩個操作孔中，然后施力于主體，旋鈕定位螺絲，便能實...

本申請實施例提供的超聲波流量計夾具中，包括第一夾持件、第二夾持件以及連接板，其中，第一夾持件和第二夾持件的內(nèi)部均呈中空狀，且第一夾持件和第二夾持件上均設有固定螺栓。在本申請實施例中，其一，采用連接板連接用于夾持管道的第一夾持件和第二夾持...

本實用新型提供一種晶圓夾具拆解工作臺，包括第一托盤、第二托盤、夾具上部和夾具下部；第一托盤用于放置夾具上部，第二托盤用于放置夾具下部。本實用新型通過設置第一托盤和第二托盤分別放置夾具上部和夾具下部，避免晶圓夾具在拆解過程中零件刮傷或跌落...

本申請?zhí)岢隽艘环N光罩盒，本申請將上盒體的邊框設計為相互分離的第一框體和第二框體，卡扣和彈性件設置于第二框體上，該第二框體與收容槽的邊緣可拆卸連接。在上盒體與下盒體通過卡扣鎖止的狀態(tài)下，彈性件持續(xù)作用于第二框體，第二框體的應力可以通過鄰近...

本申請涉及半導體設備技術領域，公開了一種半導體檢測機臺的承載盤輔助工具，包括承載盤和機臺手臂，其特征在于：所述承載盤通過調(diào)節(jié)組件與所述機臺手臂可拆卸連接，所述承載盤上開設有用于適配所述機臺手臂的承載槽，所述調(diào)節(jié)組件包括適配主體、對稱設于...

本申請公開了一種機械臂固定裝置，該機械臂固定裝置包括第一固定部、第二固定部和連接部，所述第一固定部和所述第二固定部分別連接于所述連接部的兩端，所述第一固定部上設置有第一固定螺絲和第一定位銷，所述第一固定螺絲由上至下貫穿所述第一固定部，所...

本申請?zhí)岢隽艘环N便攜式螺絲刀收納工具，包括主體部和多個隔斷部，多個隔斷部依次設置于主體部的第一表面，在相鄰兩個隔斷部之間，主體部設置有用于插置并收納螺絲刀的收容孔；各個相鄰隔斷部之間的收容孔的孔徑不同，用于插置并收納對應類型的螺絲刀，從...

本申請涉及貼膜校正系統(tǒng)，該貼膜校正系統(tǒng)包括：動力裝置、液體輸送泵、電磁換向閥、液壓缸本體和往復式活塞；液體輸送泵與動力裝置同軸連接且自身的輸入端口連接有第一管路，液體輸送泵的輸出端口連接有第二管路；電磁換向閥，設置有四個端口，電磁換向閥...

本申請實施例提供的清潔腔體涂層的工具中，該清潔腔體涂層的工具包括T形刀柄和刮刀，刀柄和刮刀過盈配合；其中，刮刀設于T形刀柄的一端，且T形刀柄和刮刀平行設置。需要說明的是，其一，本申請實施例采用刮刀可以將沉積雜質(zhì)轉換為粉末狀，然后通過水布...

本申請涉及半導體設備技術領域，公開了一種晶圓卡盤清潔裝置，CP探針測試機臺上設有卡盤和橋架，所述橋架位于所述卡盤上方且與所述CP探針測試機臺滑動連接，所述橋架的一端可拆卸連接有氮氣輸入管，所述橋架內(nèi)開設有與所述氮氣輸入管連接并連通的分流...

本實用新型提供一種機械手目標位置校準輔助工具。所述機械手目標位置校準輔助工具包括透明圓盤，所述透明圓盤的尺寸與待校準設備的轉盤尺寸相匹配，所述透明圓盤的上下表面設置有多個上下垂直對應，且均以所述透明圓盤的圓心為中心的非透明圓形刻線，至少...

本實用新型提供一種晶圓輔助抓取裝置以及裝配組件，其中，晶圓輔助抓取裝置包括：握把和抓取單元；握把的一端為自由端，另一端與抓取單元連接；抓取單元包括沿第一方向延伸的伸出部，第一方向與握把的軸向成角度地設置，伸出部用于沿第一方向伸入卡盤的凹...

本實用新型提供一種用于氣體混合腔安裝的輔助工具，所述用于氣體混合腔安裝的輔助工具包括第一支撐結構和第二支撐結構，所述第一支撐結構的高度限定所述氣體混合腔的安裝高度，所述第二支撐結構的高度限定與所述氣體混合腔連接的氣體管線的安裝高度。通過...

本發(fā)明提供了一種摻雜多晶硅薄膜的形成方法及其表面缺陷去除方法，應用于半導體技術領域。其首先將形成摻雜多晶硅薄膜的總時間劃分成多組時間段，而每組時間段均由第一時長和第二時長組成，然后，讓半導體襯底在低壓爐管內(nèi)循環(huán)執(zhí)行預設次數(shù)次所述第一時長...