本申請涉及半導體輔助設備技術領域，公開了一種用于FAB車間的扶手載車，應用于晶圓運載，包括：車身主體以及設于車身主體上的扶手組件；扶手組件包括第一扶手桿、第二扶手桿以及連接第二扶手桿的握持橫桿，第一扶手桿對稱設于車身主體的一端，第二扶手...

本申請實施例提供的輔助安裝鐘擺閥密封環的工具中，包括定位板、托把主體以及調整部；其中，托把主體位于定位板的中部，托把主體和定位板滑動連接，調整部位于定位板一側，且調整部穿過定位板與托把主體連接，調整部移動帶動托把主體移動。需要說明的是，...

在本申請實施例提供的上電極安裝工具中，上電極安裝工具包括主體部和設于主體部上的支撐部，支撐部和主體部均為環形結構，且支撐部上開設有多個定位孔。其中，在本申請實施例提供的上電極安裝工具安裝上電極時，先將電極放置水平，再將冷卻氣體分配盤從左...

本申請提供一種晶圓夾持裝置，與機械臂連接，晶圓夾持裝置包括支撐板和多個夾持部，每一夾持部均與支撐板連接，每一夾持部用于夾持一晶圓，夾持部的數量與前開放式晶圓盒內的載板的數量相匹配，載板用于承載放置于前開放式晶圓盒內的晶圓，每兩相鄰的夾持...

本實用新型實施例提供一種半導體光刻機臺管路，該半導體光刻機臺管路包括第一腔體、第二腔體以及噴頭，第二腔體與噴頭均與第一腔體的一端連接，第一腔體、第二腔體以及噴頭之間相互連通，第二腔體內設置可活動的金屬球，金屬球用于根據機臺管路中的大氣壓...

本申請提供一種前開放式晶圓盒，包括攝像結構、絕緣部、側壁、底壁以及頂壁，側壁分別與頂壁以及底壁連接形成盒體，攝像結構設置于盒體內且靠近盒體的進出口，攝像結構位于底壁和頂壁中的至少一者，絕緣部覆蓋攝像結構，絕緣部采用透明材質，攝像結構用于...

本申請公開一種涂膠顯影設備及其NMA保護蓋板，屬于涂膠顯影技術領域。該NMA保護蓋板包括蓋板主體和自動刮水板，蓋板主體固設在鏡頭的前方，且蓋板主體遠離鏡頭的一側安設有自動刮水板，以在蓋板主體遠離鏡頭的一側表面被水霧污染時，對蓋板主體進行...

本實用新型提供一種高壓MOS器件，所述高壓MOS器件包括襯底、柵極、第一淺溝槽、第二淺溝槽、源極及漏極；所述柵極位于襯底上表面或位于襯底內，所述第一淺溝槽、第二淺溝槽、源極和漏極均位于襯底內，且源極和漏極對稱分布于柵極的兩側，第一淺溝槽...

本申請實施例提供的無線AP吊頂安裝裝置中，包括無線AP主體、無線AP支架、吊頂面板以及第二固定件。需要說明的是，第二固定件經吊頂面板、第一固定件以及無線AP支架與無線AP主體固定連接，因此通過將第二固定件嵌入至天花板中，可以吸取無線AP...

本申請涉及半導體技術領域，公開了一種晶圓工作臺夾取裝置，包括一側設有工作面的夾取框架以及設于所述夾取框架上的夾取件，所述夾取件包括穿設于所述夾取框架的拉桿、與所述夾取框架轉動連接的夾桿以及分別連接所述拉桿與所述夾桿的連接梁，所述拉桿沿所...

本申請提供一種取O型圈的裝置，包括把持件以及與把持件連接的凸起件，凸起件向把持件的外側凸出，在凸起件朝向把持件的方向上，凸起件的投影形狀為弧形，凸起件遠離把持件的一端為弧面，凸起件用于取O型圈，以提高取O型圈的效率。的效率。的效率。

本申請涉及一種夾取裝置。該夾取裝置包括主體、夾持件和操作件。所述夾持件安裝于所述主體的一端，且具有夾持狀態和松開狀態。操作件沿所述主體的延伸方向可移動地安裝于所述主體，且與所述夾持件連接。所述操作件在移動地過程中，驅動所述夾持件在所述松...

本申請公開了一種光刻膠溶劑噴吐量稱量裝置，該光刻膠溶劑噴吐量稱量裝置包括噴嘴組件、收集組件和稱量組件，所述噴嘴組件包括至少一個噴嘴；所述收集組件包括至少一個溶劑收集管，所述溶劑收集管與所述噴嘴相對設置；所述稱量組件包括至少一個稱量工具，...

本實用新型提供一種內六角扳手，包括內六角頭、旋桿、第一套筒及第二套筒，內六角頭包括固定連接的驅動部及第一嚙合部，驅動部的一端為六棱柱以旋轉內六角緊固件；旋桿包括固定連接的桿部及第二嚙合部，第二嚙合部與第一嚙合部之間嚙合連接，當桿部在外力...

本申請提供一種夾持裝置，用于抓取晶圓，夾持裝置包括機械臂以及與機械臂連接的夾持件，機械臂包括驅動臂、第一夾持臂、第二夾持臂和旋轉圓盤，驅動臂、第一夾持臂以及第二夾持臂均與旋轉圓盤連接，第一夾持臂與第二夾持臂間隔設置，第一夾持臂以及第二夾...

本公開涉及一種了控片回收方法及硅片，包括：提供控片，控片包括裸硅片及位于裸硅片的正面的犧牲保護層及氮摻雜碳化硅膜層，犧牲保護層位于裸硅片與氮摻雜碳化硅膜層之間；利用目標刻蝕氣體對氮摻雜碳化硅膜層進行等離子體干法刻蝕，目標刻蝕氣體中的目標...

本實用新型提供一種晶圓運輸車，包括基礎框架、擱置臺及移動車輪組件，基礎框架包括矩形橫向框架與豎向框架，矩形橫向框架包括在X

本申請提出了一種輔助拆裝工具，包括定位套筒，用于環繞套設于被拆裝件的柱體外；所述定位套筒的筒壁設有通孔，用于暴露所述被拆裝件的柱體上的拆裝位，以及允許螺絲刀穿過所述筒壁并對所述被拆裝件進行拆裝操作。本申請可以固定適配器柱體在y軸和x軸的...

本申請公開一種掩膜板數據檢測方法和系統，掩膜板數據檢測方法包括獲取用于設計掩膜板的坐標文書；根據所述坐標文書確定掩膜板坐標；根據所述掩膜板坐標獲取所述掩膜板對應的各個檢測圖形的圖形位置；根據各個所述圖形位置獲取各個所述檢測圖形的截圖；根...

本發明提供一種電可擦可編程只讀存儲器及其制造方法，電可擦可編程只讀存儲器包括半導體襯底、位于半導體襯底中的至少兩個有源區、位于半導體襯底上的至少兩個控制柵結構以及位于控制柵結構兩側的有源區上的至少兩個接觸結構；控制柵結構的截面形狀呈波浪...